摘要 Hx
%$X CISO<z0 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
s+,&|;Q aMTFW_w 简介 ]^K;goQv
q[d)e6
PKf:O 步骤 1
uWjU OJEe - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
oM,- VUr 步骤 2
oNM?y:O - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
_1|$P|$P. 步骤 3
aV6#t*\J - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
cp6WMHLj 步骤 4
+E5=$` - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
?6P.b6m}0 步骤 5
>xg5z - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
<7)Fh*W@ 步骤 6
WVX`< - 将导入的数据阵列加载到采样界面
s_ bR]G ,9of(T(~ 步骤 7 .
3`F) AWzdr - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
mfom=-q3k )TJS4? 步骤 8
Rc[ 0aj: - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
WE6\dhJ< W5pb;74| 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 t'1Y@e {fDTSr?/ 6f)2 F<
7 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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