摘要 V{ |[oIp q:]Q% IC^ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
$8g42LR' !iJipe5 简介 ^{[[Z.&R?
"V}qf3qU yWY|]Pp 步骤 1
2y%R:Mu - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
niz 'b]] + 步骤 2
7n&yv9" - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
:)4*^a/lC 步骤 3
Z&Pu8zG
/m - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
sLhDO'kM 步骤 4
Y.-S=Y - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
no&-YktP} 步骤 5
iRve) - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
?1w"IjUS 步骤 6
u"Y]P*[k - 将导入的数据阵列加载到采样界面
"
"%#cDR "dtlME{Bx 步骤 7 .
t!qwxX*$T - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
ArXl=s';s4 -Qb0:]sV# 步骤 8
^P$7A]! - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
zPE$ }-nU3{1 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 B9#;- QO d.r Y-k qqvF-mDN 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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i 文件信息 I$j|Rq xS+rHC