摘要 [ h7nOUL! D2x-Wa 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
L~fxVdUz UCzIOxp} 简介 *"#62U6
omQaN#!, 1t{h)fwi 步骤 1
9u";%5 4 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
zSMNk AM 步骤 2
U-(2;F) - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
]Ga }+^ 步骤 3
gZ6]\l]J{ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
e,/b&j*4th 步骤 4
v5U\E`)s - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
[r%WVf.#d 步骤 5
0,*clvH\; - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
D. !m*oq 步骤 6
kxU<?0 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
-miWXEe@l 7)sEW#d! 步骤 7 .
"HTp1 - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
Fl\X&6k t?H.M 步骤 8
iL f:an*vH - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
NBzyP)2) 1SoKnfz{6 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 [|PVq#( /Y:1zLs% v2R41*z, 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
%O-RhB4q &RQQVki3 文件信息 'j>+eA> u*u>F@C8