摘要 QFgKEUNgl }d5~w[ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
P'*Fd3B#A= H?V
b 简介 Vjd>j; H
>5D;uTy
u ,R-aO= % 步骤 1
_~S[ - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
@Y}G,i 步骤 2
jvo^I$|2h - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
JY~CMR5#.O 步骤 3
KleiX7 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
#Jr4LQ@A9 步骤 4
6&
6|R3 - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
6qWWfm/6 步骤 5
QGE0pWL-a - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
g${k8.TV 步骤 6
p%K(dA - 将导入的数据阵列加载到采样界面
O=^/58(m g}L>k}I?!W 步骤 7 .
cmU>A721 - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
aK
3'u ;mPX8bT 步骤 8
3Vak
C - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
0Q)YZ2 _KkP{g,Y 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 )ybF@emc :T<5Tq*+x RaP,dR+P 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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