摘要 B]l)++~ Kh_Lp$'0uM 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
AQwdw>I-FX rQ qW_t% 简介 ilqy/fL#
*vwbgJG! * e\:+uVzz 步骤 1
\}|o1Xh2 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
{fjdr 步骤 2
ZNvEW - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
mUikA9u5= 步骤 3
V:
TM] - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
0a XPPnuX 步骤 4
cHk)i - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
)`(p9@,V 步骤 5
tu66'z - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
d\gJ$ ~^K 步骤 6
$arK( - 将导入的数据阵列加载到采样界面
m()RU"WY !*B'?|a<\ 步骤 7 .
wG-HF'0L - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
#ZrHsfP lUMS;H( 步骤 8
4?q<e*W - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
KJaXg;,H 4p,EBn9( 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Evg_q> %/zbgS` %_%Q8,W 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
7 *`h/ 0?:} P 文件信息 WGZ9B^A IS &ZqE(`e