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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) U[b $VZ}  
    IZV D.1  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4$oX,Q`#  
    a~_5N&~pi  
    1. 描述 JR1/\F<}  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Wv]NFHe#  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {%K(O$H#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3sf+ uoV  
    )/u?_)b4"  
    2. 系统 u:Q_XXT5  
    .r/6BDE"  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %Bo/vB'  
    3. 透镜系统组件编辑 C~.7m-YW  
    G9.+N~GZ.  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M4rOnIJ  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?\ C7.of  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^h z4IZ^  
    包括序列光学表面和光学介质。 MX-(;H  
    d`U{-?N>  
    >W= 0N (  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 <6=kwV6  
    smLXNO  
    L=u>}?!,Fj  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *%^Vq  
    可以选择选取光线的方法: SbmakNWJ}  
    — 在x-y-网格 51Yq>'8  
    — 六边形 }5Yd:%u5  
    — 自由选取 Nb2]}; O  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    8}FZ1h2 4  
    6>! ;g'k  
    5. 系统的3维视图 >z*2Og#1  
    %Y"@VcN  
    1/>#L6VAZ  
    6. 其他系统参数 ] 8sVXZ  
    系统由单色平面波照明 x?0ZzB),  
    照明波长266.08nm \e%H5W x  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >y%*HC!G  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )x1LOMe  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ;6g&_6  
    光束尺寸探测器置于焦平面 +~Ni7Dp]  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &h.E B  
    "wi=aV9j  
    1s4+a^ &  
    >r] bfN,  
    f S50  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 m&xyw9a  
    U$R+&@;  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    7@R;lOzL3  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    .80^c  
    ;0Yeo"-  
    .!T]sX_P  
    ?ic7M  
    0;,4.hsh  
    DN)Ehd.  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ek~bXy{O`  
    T&6W>VQ|[>  
    'ojI_%9<  
    VirtualLab可用于计算点列图。 V_JM@VN}Kk  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LyM"  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^a~^$PUqI  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 n5i#GvO^  
    OHixOI$O  
    9. 焦平面上的结果 A+d&aE }3V  
    H~1&hF"d  
    J_A+)_  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 iOI8'`mk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Gp.+&\vi  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm :hYV\8 $  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 s^Lg*t 3I  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Ie(vTP1Cj  
     FVOR~z  
    10. 总结 }ie\-V  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N:Yjz^Jt  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 GaMiu! |,  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yrO \\No#H  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 '1]Iu@?  
     
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