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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Z~3u:[x";  
    2q %K)h  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 lIuXo3  
     -3mgza  
    1. 描述 <pOl[5v]  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 WOO%YU =  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 cw+g z!!  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 a{_ KSg  
     e~Hr(O+;e6  
    2. 系统 n(jjvLf  
    ck$2Ue2`@w  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ZPF7m{S  
    3. 透镜系统组件编辑 `{G?>z Fp  
    S+FQa7k  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 C|6{fd4?  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 pGGV\zD^  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 y[:q"BB3  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 *mV&K\_  
     {NeWdC  
    a`38db(z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 6_U |(f  
    zKJ. Tj W  
    nx;$dxx_Ws  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 01nsdZ-  
    ■ 可以选择选取光线的方法： qG^_c;l6a  
    — 在x-y-网格 k2OM="Ei}  
    — 六边形 ja75c~RUw  
    — 自由选取 }Z-I2 =]  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     0IFlEe[>#  
    H56 ^n<tg  
    5. 系统的3维视图 O!] ;_q/  
    9>{t}I d  
    b8cVnP  
    6. 其他系统参数 )]A9~H  
    ■ 系统由单色平面波照明 N<"`ShCNM  
    ■ 照明波长266.08nm o4'Wr  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： qwP$~Bj  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1$OVe4H1  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 jnDQ{D  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 _-6e0srZ  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `A"Q3sf%  
    fD(7F N8  
    #|ddyCg2  
    -? Tz.y&  
    C1D ! V:  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Oh-Fp-v87  
    e2Ww0IK!E  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    CfY7<o1>  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    @9<S*  
     s<d!+<  
    N Z)b:~a  
    Me<du& T  
    mb~./.5F  
    4$F:NW,v:)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .c:)Qli  
    >"bnpYSe  
    ($:y\,5(9I  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 -^R b7 g-  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 n_u`B|^Pj  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'jN/~I  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^ePsIl1E  
     hMz&JJ&B  
    9. 焦平面上的结果 rWqkdi1  
    srsK:%`  
    :;q>31:h  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bSY;[{Kl  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 v8>!Gft  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm @Mzz2&(d U  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Vj/fAHR`>'  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     90?,-6  
    erXy>H[;  
    10. 总结 :cEd[Jm9  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (lieiye^  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ^t`f1rGR  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 z;U LQ  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 -`Da`ml  
     
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