示例.0082(1.0) e;\g[^U PXof-W 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 9oKRnc
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|0!] 1. 描述 9`yG[OA ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?W-J2tgss{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 C8>zr6)1
■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L\|p8jJ
<yz)iCU? 2. 系统 7Gd)=Q{uur c-.t8X,5(~ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ES p)% 3. 透镜系统组件编辑 0Po",\^
KSU?Tg&JR
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S G|``}OA
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 R L7OFfMe
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z?
u\
■ 包括序列光学表面和光学介质。 zim]3%b*A;
S^'?sfq Jy?s'tc 4. 光线追迹系统分析器-选项 ikf!7-, pv*u[ffi $o"Szy
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OBaG'lrZy
■ 可以选择选取光线的方法: ;M}'\.
— 在x-y-网格 %tEjf
3
— 六边形 roT$dL
P)w
— 自由选取 ]4wyuP,up
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &^$dHr6v rlTCVmE8[ 5. 系统的3维视图 ,4wVQ(,?cd T;K,.a8bU
}mQ7N&cC 6. 其他系统参数 Qfx(+=| ■ 系统由单色平面波照明 E/z^~;KA ■ 照明波长266.08nm d1VNTB ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +ptVAg+ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #s'9Ydd — 一个虚拟屏位于焦平面 YSERQo — 光束尺寸探测器置于焦平面
T[*1*303 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k4r;t: O ^ 5W_u|z+/g "\M16N 8?#4<4Ql8 aHx(~&hRcL 7. 光线追迹系统分析器的结果 YCZl1ry:V= 6p`AdDV 光线经过整个光学系统的三维视图
4#Wczk-b 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Lt>"R! "x 0Y[LzLn (8DJf"} 8sb<$M$c ,>% 2`Z) ?oF+?l 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;v%Fw!b032 'F>eieO DZo7T!
■ VirtualLab可用于计算点列图。 <>JN3?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _)s<E9t2N
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 AuIb>@a
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
P__JN\{9
QCB2&lN\&L 9. 焦平面上的结果 L1=+x^WQ
?HwW~aO
x<^+nTzN
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _h|rH
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 l_tr,3_w
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm wGdnv}#
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 A;~lG3j4
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?blF6Kl$ wG;#L7% 10. 总结 V5w00s5?% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K%AbM#o< ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7PQ03dtfg ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 'z$ BgXh\ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (IdXJvKU!