示例.0082(1.0) Br#]FB|tD Fg#*rzA 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _9n.ir5YX
SF_kap%JM 1. 描述 )>\Ne~% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S}Mxm2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 AZl=w`;/O% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7%7_i%6wP
|:!0`p{R 2. 系统 &OI=rvDmo z[t$[Qg 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4D58cR} 3. 透镜系统组件编辑 qk_
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uaU!V4-
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 $%1[<}<
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6bb=;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ke3=s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 8:s3Q`O
k(^zhET 1GEE ^Eu 4. 光线追迹系统分析器-选项 W;KHLHp- y~-? tOspDPSXX
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 v0$6@K;M4G
■ 可以选择选取光线的方法: ).ugMuk
— 在x-y-网格 v11mu2
— 六边形 PI{sO |
— 自由选取 o.Cj+`0} 5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 sS-5W-&P{T <CA
lJ 5. 系统的3维视图 u8?ceM^r l>qCT
l,v:[N 6. 其他系统参数 Szg<;._J ■ 系统由单色平面波照明 W1:o2 C7 ■ 照明波长266.08nm >Mvt;'c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {Or|] 0 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 dvL '>'g — 一个虚拟屏位于焦平面 pg>P]a{ — 光束尺寸探测器置于焦平面 CiMy_`H ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iOJgZuP
Tl=vgs1 B]Zsn`n |Zt=8}di XD|&{/O 7. 光线追迹系统分析器的结果 C&5T;=<jKO f ~Fus 光线经过整个光学系统的三维视图
;<MaCtDt 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
u*9C(je BR0bf5T/ |Pj _L`G (+^1'?C8 F8=6!Qj G)e 20Mst 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |/<iydP Wc]Fg9E 3aDma/
■ VirtualLab可用于计算点列图。 .4^Paxz
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |RjjP 7
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 { j/w3
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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u 9. 焦平面上的结果 +'KM~c?]
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B[$SA-ZHi
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qb9%Y/xy
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm o3W5FHFAv
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 'PO1{&M
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 R-h7c!ko K^>qn,]H' 10. 总结 'rF TtT
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L`Ic0}|lzy ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 A5/h*`Q\\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Kp&d9e{
Yc ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X:e'@]Z)?