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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) e;\g[^U  
    PXof-W  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 9oKRn c  
    jU |0!]  
    1. 描述 9`yG[OA  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?W-J2tgss{  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 C8>zr6)1  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L\|p8jJ  
    <yz)iCU?  
    2. 系统 7Gd)=Q{uur  
    c-.t8X,5(~  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ESp)%  
    3. 透镜系统组件编辑 0 Po",\^  
    KSU?Tg&JR  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S G|``}OA  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 RL7OFfMe  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z? u\  
    包括序列光学表面和光学介质。 zim]3%b*A;  
    S^'?s fq  
    Jy?s'tc  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ikf!7-,  
    pv*u[ffi  
    $o"S zy  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OBaG'lrZy  
    可以选择选取光线的方法: ;M}'\.  
    — 在x-y-网格 %tEjf 3  
    — 六边形 roT$dL P)w  
    — 自由选取 ]4wyuP,up  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &^$dHr6v  
    rlTCVmE8[  
    5. 系统的3维视图 ,4wVQ(,?cd  
    T;K,.a8bU  
    }mQ7N&cC  
    6. 其他系统参数 Qfx(+=|  
    系统由单色平面波照明 E/z^~;KA  
    照明波长266.08nm d 1VNTB  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +ptVAg+  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #s'9Ydd  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 YSERQo  
    光束尺寸探测器置于焦平面 T[*1*303  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k4r;t: O^  
    5W_u|z+/g  
    "\M16N  
    8?#4<4Ql8  
    aHx(~&hRcL  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 YCZl1ry:V=  
    6p`AdDV  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    4#Wczk-b  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Lt>"R! "x  
    0 Y[LzLn  
    (8DJf"}  
    8sb<$M$c  
    ,>%2`Z)  
    ?oF+?l  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;v%Fw!b032  
    'F>eieO  
    DZo7T!  
    VirtualLab可用于计算点列图。 <>JN&#3?  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _)s<E9t2N  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Au Ib>@a  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 P__JN\{9  
    QCB2&lN\&L  
    9. 焦平面上的结果 L1=+x^WQ  
    ?HwW~aO  
    x<^+nTzN  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _h|rH   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 l_tr,3_w  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm wGdnv}#  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 A;~lG3j4  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?blF6Kl$  
    wG;#L7%  
    10. 总结 V5w00s5?%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K%AbM#o<  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7PQ03dtfg  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 'z$BgXh\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (IdXJvKU!  
     
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