示例.0082(1.0) >zFe) tU>wRw=d 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A9Q!V01_
*j?tcxq 1. 描述 P\tP0+at ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5:Pp62 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]U!vZY@\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |o6
h:g
8s/gjEwA 2. 系统 ^rfY9qMJr8 [pUw(KV2m 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D!h8NZ;El 3. 透镜系统组件编辑 -ZlBg~E
am{f<v,EI
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 OKNA36cU'
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c$rkbbf~V
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S 3Tp__
■ 包括序列光学表面和光学介质。 UQ:H3
Gi~p-OS, 5DK>4H: 4. 光线追迹系统分析器-选项 +(x^5~QX a*$to/^r 7*^-3Tt83
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 jGl8y!aM
■ 可以选择选取光线的方法: _7'9omq@
— 在x-y-网格 n .ZLR=P4
— 六边形 4*}[h9J}\
— 自由选取 uMh[Ht^.
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =@AWw:!:, svCD&~|K# 5. 系统的3维视图 K 4QJDC8 rdhK&5x*
<+o-{{E[ 6. 其他系统参数 ?:vp3f# ■ 系统由单色平面波照明 K#rfQ0QK/! ■ 照明波长266.08nm dF:@BEo ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: B8UtD — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ehi)n)HhG" — 一个虚拟屏位于焦平面 XAwo~E — 光束尺寸探测器置于焦平面 bXF>{%(}E ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /x,gdZPX N+ZDQa[ AD#]PSB C93BK)$} {e\Pd!D?| 7. 光线追迹系统分析器的结果 gKeqf-UWKJ 8]skAh 光线经过整个光学系统的三维视图
u?5d%]* 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$}V<Um T]-yTsto zs
e<b/G1G }IO<Dq=[ dU1w)Y W^npzgDCo 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :,gnOfV= c[\ :^w^I6 7 4Xk^8
■ VirtualLab可用于计算点列图。 v,y nz'>)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 uPKq<hBI
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Rt:k4Q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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pd{W(M78g 9. 焦平面上的结果 6r!
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J ^gtSn^
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 qX{"R.d
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s7.2EkGl=
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm VN[C%C
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 (;v)0&h
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 A<P3X/i _a1 =? 10. 总结 1{l18B` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6(awO2{BP ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 /WlK*8C ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 0zm)MSg ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 .w2QiJ