示例.0082(1.0) 0@v2*\D# yDuq6`R* 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 f| =# q
F-tFet
1. 描述 RxMoD.kx ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %HVD^. V ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 sL8>GtVo ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 l_ b_-p
h[,XemwX 2. 系统 #@q1Ko!NZ <K,[sy&Qy 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
AbG &9=Ks 3. 透镜系统组件编辑 ~.H~XKw
T,Fm"U6[(
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 90(UgK&Y
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 w-M7opkq
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F#KF6)P
■ 包括序列光学表面和光学介质。 GqMB^Ad
18rp;
l{ yH+c#w 4. 光线追迹系统分析器-选项 L,
#Byao %2,/jhHL P]-#wz=S
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :^5>wDu{
■ 可以选择选取光线的方法: Qqh^E_O
— 在x-y-网格 g kn)V~ij
— 六边形 n@_)fFD%
— 自由选取 xlk5Gob*
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]An_5J
x?gQ\0S< 5. 系统的3维视图 :k\}Ik f:&)"
eq{
[?/ 6. 其他系统参数 lj
Y ■ 系统由单色平面波照明 ,k\/]9 ■ 照明波长266.08nm Zq^^|[)bA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: vv!Bo~L1, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A^t"MYX@ — 一个虚拟屏位于焦平面 @??u})^EL — 光束尺寸探测器置于焦平面 Agz=8=S% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 vLr&ay!w hj+p`e S C!hXEtK [Zh2DNp ps"9;4P 7. 光线追迹系统分析器的结果 fH; |Rm x!>d
6lgej 光线经过整个光学系统的三维视图
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Um 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
2nJYS2mT7 uRFNfX(* X:DMT>5k KoFv0~8Q M *v^N]>"G }tu4z+T2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 s
*K:IgJ/ .a5X*M] 3mybG%39
■ VirtualLab可用于计算点列图。 G}Gb|sD
Zq
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 KLON;
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 QP'qG@j[:
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
x4@MO|C
O0->sR 9. 焦平面上的结果 3Nc'3NPQ'
58 kv#;j
I.UjST
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 EkDws`@
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,#=eu85'
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm g~eJ
YS,
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 pz.Y=V\t
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 w' .'Yu6 Sb^a dd0dT 10. 总结 PKl]GegP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 /nwxuy ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 .V7Y2!4TE ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 !,I7 ?O ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 xP XoJN