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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) |&RX>UW$W  
    <<zz*;RJJ  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )E~\H+FP6  
    : )"jh`  
    1. 描述 V45Udwp ^  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5<BV\'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,, #rv-*  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 lGHu@(n<  
    V #\ZS{'J  
    2. 系统 [W\atmd"  
    RqjDMN:  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ,Yprk%JT  
    3. 透镜系统组件编辑 otH[?c?BT  
    Sq8Q *  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G@<lwnvD*J  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7 8inh%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a;owG/\p  
    包括序列光学表面和光学介质。 +P)[|y +e  
    $JSC+o(q3#  
    `iayh  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 'xXqEwi4  
    Bsk2&17z  
    RT A=|q  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 x|i3e& D  
    可以选择选取光线的方法: xI\s9_"Qy  
    — 在x-y-网格 TvG:T{jwy  
    — 六边形 '\E{qlI  
    — 自由选取 QV7c9)<]'}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    >A( C9_\  
    12' (MAP  
    5. 系统的3维视图 +|)#yE$aMh  
    ^PR,TR.  
    BW-P%:B1!R  
    6. 其他系统参数 ot<o&  
    系统由单色平面波照明 JG4*B|3  
    照明波长266.08nm gN'i+mQcu  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: HV7(6VSJ+  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^JVP2L>o*  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $$f$$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 +9F#~{v`4a  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +4nR&1z$  
    n:."ZBtY*  
    j3-6WUO  
    vFC=qLz:  
    17]31  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 YaT+BRh?  
    (Tb0PzA  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Jl4XE%0  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    "g1;TT:1~  
    !!O{ ppM  
    I>o; %}  
    CvWEXY_P2  
    pyJOEL]1F  
    FS+^r\)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 vK7,O%!S  
    LVl0:!>~  
    z n8ig/C  
    VirtualLab可用于计算点列图。 .FRF<_`^  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Zw\V}uXI?  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >Io7h#[u  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .ehvhMuG|  
    =>%%]0  
    9. 焦平面上的结果 cP=mJ1  
    LK/V]YG  
    )stWr r&  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 8'Bl=C|0X  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lj*913aFh  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm <OfzE5  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 BXw,Rz }  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    )K3 vzX  
    <qY>d,+E'  
    10. 总结 #%tL8/K*  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o`! :Q!+  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 L([>yQZ  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 pAmI ](  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 rL3Vogw'e  
     
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