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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Br#]FB|tD  
    Fg#*rzA  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _9n.ir5YX  
    SF_kap%JM  
    1. 描述 )>\Ne~%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S}Mxm 2  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 AZl=w`;/O%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7%7_i%6wP  
    |:!0`p{R  
    2. 系统 &OI=r vDmo  
    z[t$[Q g  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4D58cR}  
    3. 透镜系统组件编辑 qk_ s"}sS  
    uaU!V4-  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 $%1[<}<  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6bb=;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ke3=s  
    包括序列光学表面和光学介质。 8: s3Q`O  
    k(^zhET  
    1GEE^Eu  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 W;KHLHp-  
    y~- ?   
    tOspDPSXX  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 v0$6@K;M4G  
    可以选择选取光线的方法: ).ugMuk  
    — 在x-y-网格 v11mu2  
    — 六边形 PI{sO |  
    — 自由选取 o.Cj+`0}5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    sS-5W-&P{T  
    <CA lJ  
    5. 系统的3维视图 u8?ceM^r  
    l>qCT  
    l,v:[N  
    6. 其他系统参数 Szg<;._J  
    系统由单色平面波照明 W1: o2 C7  
    照明波长266.08nm >Mvt;'c  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {Or|] 0  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 dvL'>'g  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 pg>P]a{  
    光束尺寸探测器置于焦平面 CiMy_`H  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iOJgZuP  
    Tl=vgs1  
    B]Zsn`n  
    |Zt=8}di  
    XD|&{/O  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 C&5T;=<jKO  
    f ~Fus  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;<MaCtDt  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    u*9C(je  
    BR0bf5T/  
    |Pj _L`G  
    (+^1'?C8  
    F8=6!Qj  
    G)e 20Mst  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |/<iydP  
    Wc]Fg9E  
    3aDma/  
    VirtualLab可用于计算点列图。 .4^Paxz  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |RjjP 7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 { j/w3  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ZR#UoYjupb  
    sP+S86 u  
    9. 焦平面上的结果 +'KM~c?]  
    ~z aV.3#  
    I 9u=RI s  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B[$SA-ZHi  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qb9%Y/xy  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm o3W5FHFAv  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 'PO1{&M  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    R -h7c!ko  
    K^> qn,]H'  
    10. 总结 'rF TtT  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L`Ic0}|lzy  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 A5/h*`Q\\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Kp&d9e{ Yc  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X:e'@]Z)?  
     
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