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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0)  >zFe)  
    tU >wRw=d  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A9Q!V01_  
    *j?tcxq  
    1. 描述 P \tP0+at  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5:Pp62  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]U!vZY@\  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |o6 h:g  
    8s/gjEwA  
    2. 系统 ^rfY9qMJr8  
    [pUw(KV2m  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    D!h8NZ;El  
    3. 透镜系统组件编辑 -ZlBg~E  
    am{f<v,EI  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 OKNA36cU'  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c$rkbbf~V  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S 3Tp__  
    包括序列光学表面和光学介质。 UQ:H3  
    Gi~p-OS,  
    5DK>4H:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 +(x^5~QX  
    a*$to/^r  
    7*^-3Tt83  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 jGl8y!aM  
    可以选择选取光线的方法: _7'9omq@  
    — 在x-y-网格 n.ZLR=P4  
    — 六边形 4*}[h9J}\  
    — 自由选取 uM h[Ht^.  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    =@AWw:!:,  
    svCD&~|K#  
    5. 系统的3维视图 K 4QJDC8  
    rdhK&5x*  
    <+o-{{E[  
    6. 其他系统参数 ?:vp3f#  
    系统由单色平面波照明 K#rfQ0QK/!  
    照明波长266.08nm dF:@BEo  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: B8UtD  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ehi)n)HhG"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 XAwo ~E  
    光束尺寸探测器置于焦平面 bXF>{%(}E  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /x,gdZPX  
    N+ZDQa[  
    AD#]PSB  
    C93BK)$}  
    {e\Pd!D?|  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 gKeqf-UWKJ  
    8] skAh  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    u?5 d%]*  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $}V<U m  
    T]-yTsto  
    zs e<b/G1G  
    }IO<Dq=[  
    dU1w)Y  
    W^npzgDCo  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :,g nOfV=  
    c[\ :^w^I6  
    74Xk^  8  
    VirtualLab可用于计算点列图。 v,y nz'>)  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 uPKq<hBI  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Rt:k4Q   
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 r8g4NsRVtv  
    pd{W(M78g  
    9. 焦平面上的结果 6r! Y ~\@  
    J ^gtSn^  
    =+5z;3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 qX{"R.d  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s7.2EkGl=  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm VN[C%C  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 (;v)0&h  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    A<P3X/i  
    _a1 =?  
    10. 总结 1{l18B`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6(awO2{BP  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 /WlK*8C  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 0 zm)MSg  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 .w2QiJ  
     
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