示例.0082(1.0) U[b$VZ} IZV D.1 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4$oX,Q`#
a~_5N&~pi 1. 描述 JR1/\F<} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Wv]NFHe# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {%K(O$H# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3sf+u oV
)/u?_)b4" 2. 系统 u:Q_XXT5 .r/6BDE" 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%Bo/vB' 3. 透镜系统组件编辑 C~.7m-YW
G9.+N~GZ.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M4rOnIJ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?\C7.of
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^h
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 MX-(;H
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0N( 4. 光线追迹系统分析器-选项 <6=kwV6 smLXNO L=u>}?!,Fj
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *%^Vq
■ 可以选择选取光线的方法: SbmakNWJ}
— 在x-y-网格 51Yq>'8
— 六边形 }5Yd:%u5
— 自由选取 Nb2]}; O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8}FZ1h2
4 6>! ;g'k 5. 系统的3维视图 >z*2Og#1 %Y"@VcN
1/>#L6VAZ 6. 其他系统参数 ] 8sVXZ ■ 系统由单色平面波照明 x?0ZzB), ■ 照明波长266.08nm \e%H5Wx ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >y%*HC!G — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )x1LOMe — 一个虚拟屏位于焦平面 ;6g &_6 — 光束尺寸探测器置于焦平面 +~Ni7Dp] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &h.E
B "wi=aV9j 1s4+a^& >r] bfN, fS50 7. 光线追迹系统分析器的结果 m&xyw9a U$R+&@; 光线经过整个光学系统的三维视图
7@R;lOzL3 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
.80^c ;0Yeo"- .!T]sX_P ?ic 7M 0;,4.hsh DN)Ehd. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ek~bXy{O` T&6W>VQ|[> 'ojI_%9<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 V_JM@VN}Kk
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LyM"
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^a~^$PUqI
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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OHixOI$O 9. 焦平面上的结果 A+d&aE}3V
H~1&hF"d
J_A+)_
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 iOI8'`mk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Gp.+&\vi
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :hYV\8$
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 s^Lg*t3I
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Ie(vTP1Cj FVOR~z 10. 总结 }ie\-V ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N:Yjz^Jt ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 GaMiu!|, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yrO\\No#H ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 '1]Iu@?