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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) oQ]FyV  
    ==?wG!v2h  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &2  Yo  
    N*Q*>q  
    1. 描述 >g!$H}\  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 OXM=@B<"  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Pzzzv^+  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b*h:e.q  
    {= &&J@:  
    2. 系统 >Vq07R  
    |khFQ(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :* |WE29U  
    3. 透镜系统组件编辑 OCdX'HN5Y  
    "6%{#TZ  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 x'}z NEXI  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }o!b3*#  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vqT) =ZC1  
    包括序列光学表面和光学介质。 <ndY6n3  
    \ky oA Z  
    apJXRH`  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 W7|nc,i0\  
    j07A>G-=  
    3 +'vNc  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ehr\lcS<  
    可以选择选取光线的方法: ] rqx><!  
    — 在x-y-网格 zp9lu B  
    — 六边形 ~5|R`%  
    — 自由选取 Ew.6y=Ba  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Fg p|gw4  
    ImB5F'HI$  
    5. 系统的3维视图 MX#LtCG#V  
    VgbT/v  
    wG s'qL"z  
    6. 其他系统参数 PyI"B96gz  
    系统由单色平面波照明 imM#zy  
    照明波长266.08nm W^HE1Dt]  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x76;wQ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 EY)?hJS,  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 e:MbMj6`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 c]k+ Sx&}  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 mBye)q$  
    fS'` 9  
    W +GBSl  
    %b_0l<+  
    S/eplz;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 } @3q;u)  
    G,WLca[  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    *@@dO_%6  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    mg._c  
    ,V5fvHPH)8  
    t}}Ti$$>  
    ~S~+'V,d  
    T%"wz3~  
    }3WP:Et  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Dh}d-m_5  
    >*B59+1P  
    hDg"?{  
    VirtualLab可用于计算点列图。 'bH~KK5  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c*<BU6y  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 C %j%>X`  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !w/fw Oo  
    ^g2Vz4u  
    9. 焦平面上的结果 -+2A@kmEJ  
    Z"Q9^;0%  
    Mg}/gO% o  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 M.qv'zV`xG  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 NTK9`#SA  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm }{PG^Fc<P  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Wzff p}V  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    %<O~eXY  
    ]M"U 'Z  
    10. 总结 5mL4Zq"  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 rOYYZ)Qw  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 C*RPSk  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 F4V) 0)G  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2*gB~Jn4  
     
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