示例.0082(1.0) MP}-7UA#K ac\aH#J_nC 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 a5Vlfx
!Gnm<|. 1. 描述 Pz*BuL< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Yt*NIwWr ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 41/civX>V ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V=fu[#<@Ig
E
uO:}[ 2. 系统 ^XeJZkLEB {8mJ<b>VA 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
()j)}F#Z` 3. 透镜系统组件编辑 ts&\JbL
&LI q?
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \>4>sCC
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (]sm9PO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =P,mix|
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (XR}U6^v]
/V0Put =mQY%l 4. 光线追迹系统分析器-选项 DEu0Z ?r=`Kl zEQQ4)mA
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 auIW>0?}
■ 可以选择选取光线的方法: _"F=4`lJ
— 在x-y-网格 ~i?Jg/qcxN
— 六边形 t{UWb~"
— 自由选取 ZuWhgnp
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mx1Bk9h%Xe uFmpc7 5. 系统的3维视图 E_30)"] JoB-&r}\V*
B^M
L}$ 6. 其他系统参数 nzxHd7NIZ ■ 系统由单色平面波照明 ,h%n5R$: ■ 照明波长266.08nm ?mV2|; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y&M {7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?r]0 %W^ — 一个虚拟屏位于焦平面 aiX4;'$x! — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~Gc@#Msj ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zI"&g]TV5 Yrf?|, UCmJQJc RKMF?: .0>bnw 7. 光线追迹系统分析器的结果 3bLOT#t [$$R>ELYQ 光线经过整个光学系统的三维视图
MS2/<LD3d 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
]ml 'd /QlzWson ?3LV$S)U
j AoI`J i+Ne.h ^eoW+OxH 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .2P3 !KCL tOF8v8Hd l YdATM(h
■ VirtualLab可用于计算点列图。 i5WO)9Us
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 x5#Kk.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 |J-tU)|1vl
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
V LeYO5'L
bQ?Vh@j(M 9. 焦平面上的结果 d]_].D$
u,@ac[!vP
),o=~,v:
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {R7RBX
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "FE%k>aV@v
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm A[Ce3m
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 H93ug1,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 K)Ya%%6[U# _=[pW2p 10. 总结 SoCN.J30 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 I_Gm2Dd ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 J1r\Cp+h0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 <g&GIFE, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 KI\
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