示例.0082(1.0) oQ]FyV ==?wG!v2 h 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &2 Yo
N*Q*>q 1. 描述 >g!$H}\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 OXM=@B<" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Pzzzv^+ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b*h:e.q
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&&J@: 2. 系统 >Vq07R |khFQ( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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|WE29U 3. 透镜系统组件编辑 OCdX'HN5Y
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 x'}zNEXI
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }o!b3*#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vqT)=ZC1
■ 包括序列光学表面和光学介质。 <ndY6n3
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Z apJXRH` 4. 光线追迹系统分析器-选项 W7|nc,i0\ j07A>G-= 3+'vNc
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ehr\lcS<
■ 可以选择选取光线的方法: ] rqx><!
— 在x-y-网格 zp9l u B
— 六边形 ~5|R`%
— 自由选取 Ew.6y=Ba
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Fg
p|gw4 ImB5F'HI$ 5. 系统的3维视图 MX#LtCG#V VgbT/v
wGs'qL"z 6. 其他系统参数 PyI"B96gz ■ 系统由单色平面波照明 imM#zy ■ 照明波长266.08nm W^HE1Dt] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x76;wQ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 EY)?hJS, — 一个虚拟屏位于焦平面 e:MbMj6` — 光束尺寸探测器置于焦平面 c]k+ Sx&} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 mBye)q$ fS'` 9 W+GBSl %b_0l<+
S/eplz; 7. 光线追迹系统分析器的结果 } @3q;u ) G,WLca[ 光线经过整个光学系统的三维视图
*@@dO_%6 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
mg._ c ,V5fvHPH)8 t}}Ti$$> ~S~+'V,d T%"wz3~ }3WP:Et 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Dh}d-m_5 >*B59+1P hDg"?{
■ VirtualLab可用于计算点列图。 'bH~KK5
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c*<BU6y
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 C
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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^g2Vz4u 9. 焦平面上的结果 -+2A@kmEJ
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 M.qv'zV`xG
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 NTK9`#SA
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm }{PG^ Fc<P
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Wzffp}V
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %<O~eXY ]M "U 'Z 10. 总结 5mL4Zq" ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 rOYYZ)Qw ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 C*RPSk ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 F4V) 0)G ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2*gB ~Jn4