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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) MP}-7UA#K  
    ac\aH#J_nC  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 a5Vlfx  
    !Gnm<|.  
    1. 描述 Pz*BuL <  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Yt*NIwWr  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 41/civX>V  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V=fu[#<@Ig  
    E uO:}[  
    2. 系统 ^XeJZkLEB  
    {8mJ<b>VA  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ()j)}F#Z`  
    3. 透镜系统组件编辑 ts&\JbL  
    &LI q?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \>4>sCC  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (]sm9PO  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =P,mix|  
    包括序列光学表面和光学介质。 (XR}U6^v]  
    /V0Put  
    = mQY%l  
    4. 光线追迹系统分析器-选项  DEu0Z  
    ?r =`Kl  
    zEQQ4)mA  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 auIW>0?}  
    可以选择选取光线的方法: _"F=4`lJ  
    — 在x-y-网格 ~i?Jg/qcxN  
    — 六边形 t{UWb~"  
    — 自由选取 ZuWh gnp  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    mx1Bk9h%Xe  
    uFmpc7  
    5. 系统的3维视图 E_ 30)"]  
    JoB-&r}\V*  
    B^M L}$  
    6. 其他系统参数 nzxHd7NIZ  
    系统由单色平面波照明 ,h%n5R$:  
    照明波长266.08nm ?mV2|;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y&M{7  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?r]0%W^  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 aiX4;'$x!  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ~Gc@#Msj  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zI"&g]TV5  
    Yrf?|,  
    UCmJQJc  
    RKMF?:  
    .0>bnw  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 3bLOT#t  
    [$$R>ELYQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    MS2/<LD3d  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ]ml'd  
    /QlzWson  
    ?3LV$S)U  
     j AoI`J  
    i+Ne.h  
    ^eoW+OxH  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .2P3 !KCL  
    tOF8v8Hd  
    l YdATM(h  
    VirtualLab可用于计算点列图。 i5WO)9Us  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 x5#Kk.  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 |J-tU)|1vl  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 V LeYO5'L  
    bQ?Vh@j(M  
    9. 焦平面上的结果 d]_].D$  
    u,@ac[!vP  
    ),o=~,v:  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {R7RBX  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "FE%k>aV@v  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm A[Ce3m  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 H93ug1,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    K)Ya%%6[U#  
    _=[pW2p  
    10. 总结 SoCN.J30  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 I_Gm2 Dd  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 J1r\Cp+h0  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 <g&GIFE,  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。  KI\ 9)  
     
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