示例.0082(1.0) j{-7Pf8A =2)$|KC 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qg:I+"u
-/2$P 1. 描述 HYnq x>L ~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ollv _o3 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 XaS_3d ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ]S aH/$
!vp!\Zj7o 2. 系统 ^(JbJ@m/ (BQ3M- 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
K2K6 3. 透镜系统组件编辑 n)!_HNc9
,fJ(.KI0
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 D2cIVx3:(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 VEKITBs
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &u\z
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 %FFm[[nxI
Ngc+< d;:&3r|X 4. 光线追迹系统分析器-选项 w}q@VVB% X0QS/S-+ 24/~gft
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +p<R'/
■ 可以选择选取光线的方法: "Am0.c/
— 在x-y-网格 `0sk2fn
— 六边形 W2Z]?l;vQQ
— 自由选取 <OfzE5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )qXe`3d5 O t<%gj;^ 5. 系统的3维视图 lA
0_I"b2Y pAmI ](
^O*hs%eO% 6. 其他系统参数 "FvlZRfXj ■ 系统由单色平面波照明 ',7Z1O ■ 照明波长266.08nm <r3n?w8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y!$z7K
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }0),b ?*e — 一个虚拟屏位于焦平面 j&GKp t — 光束尺寸探测器置于焦平面 4aKy]zPoE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &\[J P"@^'yR5WK tTp`e0L*m C YKGf1;If V@-GQP1 7. 光线追迹系统分析器的结果 f L?~1i = ^IkMRlJh% 光线经过整个光学系统的三维视图
h9n CSj 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
7z&u92dJI i.4[]f[/h KrH;o)| j,jUg}b '|R|7nQAj YO+d+5 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 75i)$}_1B 0X w?} 6V/mR~F1r
■ VirtualLab可用于计算点列图。 v8N1fuP}
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 rE~O}2a#H
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9x<
8(]\
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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ccAEN 9. 焦平面上的结果 6m&I_icM
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #D8)rs.9
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %# #
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm nor`w,2VF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~Tolz H!
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 o?=u#= seim?LK 10. 总结 ruVm8BO ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y&?]t ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +dRTHz ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?(N(8)G1 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Sw~<W%! ?