示例.0082(1.0) BjHp3-A' D~TlG@Pq 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^F-2tc
[!Djs![O 1. 描述 F&C< = l\X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 '+GY6Ecg ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t0za%q!fK< ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7+Nl)d:CJ
=BbXSwv'( 2. 系统 4sfq,shRq >[~`rOU*|Y 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8Q0/kG 3. 透镜系统组件编辑 *^XMf
6G(K8Q{>
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 F6\4[B
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 i2-]Xl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q(R-8"
■ 包括序列光学表面和光学介质。 :fUNc^\2
/7ShE-.5# ;iQw2XhT 4. 光线追迹系统分析器-选项 !|
q19$ 4q?R 3\e; Zqv
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n0t+xvNDF_
■ 可以选择选取光线的方法: LoSrXK~0~J
— 在x-y-网格 \^!<Y\\
— 六边形 7UqDPEXU]`
— 自由选取 &i6JBZ#~,
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eT?vZH[N ^)'D
eP/ 5. 系统的3维视图 &x4*YMh :G=ol2Q
) r"7" i 6. 其他系统参数 n?S)H= ■ 系统由单色平面波照明 *g9VI;X ■ 照明波长266.08nm A+}O~,mxP8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 'R#MH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @RCZ![XYWg — 一个虚拟屏位于焦平面 MlLM
$Y-@ — 光束尺寸探测器置于焦平面 Dc 84^>l ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =B`=f,,#3 y'<5P~W!a FTzc,6 K;`W4:, 2_Zn?#G8dl 7. 光线追迹系统分析器的结果 Zrew}0 &g=6K&a$a 光线经过整个光学系统的三维视图
%WqUZ+yy 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
~wcp&D kX*.BZI}C mi@uX@ # =AF;3 WopA7J, }h|HT 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8M]QDgd.
8hMy$ %6&c3,?U\n
■ VirtualLab可用于计算点列图。 W@+ge]9m&
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q9\(<<f|
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H2+V1J=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%/}d'WJR
1M?Sl?+j 9. 焦平面上的结果 MRHRa
zQB1C
T?1e&H%USV
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 d_&~^*>
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |-%dN }O
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 1C/Vwf:@
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 4KW_#d`t
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _Om5wp=: R$"> 10. 总结 \SWuylE ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 '
R= O eH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [L
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D+h`Z]"| ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,0?3k