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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) `SGI Qrb  
    5u3SP?.&  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ( [m[<  
    M<"H1>q@  
    1. 描述 =h se2f  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 |37y ="  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]iL>Zxex  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Msea kF  
    MY `V0  
    2. 系统 yJ!x`RD),w  
    )RE~=*?d  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :k*3?*'K  
    3. 透镜系统组件编辑 &XE eJ  
    zBd)E21H  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ZyQ+}rO  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1}"PLq(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pJpTOq\h  
    包括序列光学表面和光学介质。 W n43TSs-  
    "P_PqM  
    C-6m[W8S  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 .*>pD/  
    ELWm>'Q#9  
    V0!.>sX9  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :0)nL  
    可以选择选取光线的方法: d|c> Y(  
    — 在x-y-网格 =u^{Jvl[  
    — 六边形 d/4kF  
    — 自由选取 oykqCN  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    jJfV_#'N'  
    e//q`?ys  
    5. 系统的3维视图 MH8Selnv  
    _x ;fTW0  
    b=-LQkcZhK  
    6. 其他系统参数 qIIl,!&}A  
    系统由单色平面波照明 hz8Z)xjJ V  
    照明波长266.08nm HECZZnM  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9/nS?>11  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 cA8"Ft{P)  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Q|`sYm'.  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ~>]/1JFz  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z$'483<  
    k}o*=s>M  
    d].(x)|st  
    u(`,7 o "  
    T)QT_ST.9  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 }N6r/ VtOQ  
    (Z72 3)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    F;&a=R!.  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    `?PpzDV7Y  
    1*>lYd8 _  
    Pd[&&!+gV  
    QNzx(IV@  
    <&$:$_ah  
    D`G ;kp  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ayb fBC  
    1ukCH\YgU  
    IO4 8sV }  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ct3^V M&/  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9W[ ~c"Ku  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ;1&7v  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 du:%{4  
    #el i_Cxe  
    9. 焦平面上的结果 vV?=r5j  
    B[I a8t  
    xqua>!mqS  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 BP7&w d  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !VfP#B6.  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm iB:](Md'r  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Ao:<aX,=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?oc#$fcQ~  
    nDh D"rc  
    10. 总结 fs=W(~"  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 H#LlxD)q  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q i27:oJ  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^j1WF[GiSO  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 cTR@ :sm  
     
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