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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ];OvV ,*  
    e@Lxduq  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m$fEk,d  
    lPZ(c%P  
    1. 描述 TI4Hu,rc  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 U X@%1W!8  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 OT%E|) 6'  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ?T/]w-q>  
    z3jk xWAZ  
    2. 系统 P.'.KZJ:WD  
    STp9Gh-  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    V4n~Z+k  
    3. 透镜系统组件编辑 C9!t&<\ }  
    kAQ(8xV  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  USV DDqZ  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5To@d|{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eQuu\/z*H  
    包括序列光学表面和光学介质。 @- STo/  
    *nCA6i  
    7k( }U_v  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Vr1}Zv3K'  
    cb|+6m~  
    0%ul6LvM  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 EtKq.<SJ  
    可以选择选取光线的方法: RbAl_xKI  
    — 在x-y-网格 a!9'yc  
    — 六边形 fg^AEn1i  
    — 自由选取 Alxf;[s  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    2:*15RH3  
    Mu\V3`j  
    5. 系统的3维视图 yQ$irS?  
    S&_03  
    i]v3CY|3AI  
    6. 其他系统参数 ]pn U"  
    系统由单色平面波照明 *;fTiL  
    照明波长266.08nm sbW+vc  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: r#sg5aS7O|  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^kKLi  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ;@wa\H[3v2  
    光束尺寸探测器置于焦平面 79T_9}M  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 1 l,fK)z  
    rNP;53FtZl  
    EYT^*1,E*  
    j&8YE7  
    #a e@VedM  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 T}&A-V$  
    .U!EA0B  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    16iTE-J_  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    4uXGp sL  
    $*C }iJsF  
    Kxsd@^E  
    aTvyz r1  
    )Te\6qM  
    <Wn~s=  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N[_T3(  
    |! 9~  
    S7+>Mk  
    VirtualLab可用于计算点列图。 :Awwt0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ht -'O"d:  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 xWxHi6U(  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 '.v;/[0  
    | .jWz.c  
    9. 焦平面上的结果 T9yI%;D  
    {sw|bLo|+  
    ygz2bHpD~  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XJ7B?Z g  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 OxJ HhF  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm >WZ.Dj0n  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 &lzY"Y*hA0  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    GgpE"M?  
    D$FTnY  
    10. 总结 *).  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 u>'0Xo9R  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 4Wl`hF  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 -RP{viG WK  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Z\0wQ;}  
     
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