示例.0082(1.0) k/f_@8 iO#xIl< 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m3ZOq
B-
< 2r#vmM 1. 描述 2FtEt+A+' ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TuPxyB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fN/KXdAy& ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %JU23c*
+mel0ZStS 2. 系统 zL=I-f Vq Xrs~ove1V 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{twf7.eY 3. 透镜系统组件编辑 8TM=AV
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w9}IM149
■ 包括序列光学表面和光学介质。 t$Ji{t-
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", U*l>8 4. 光线追迹系统分析器-选项 Y'":OW#oN
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !I
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■ 可以选择选取光线的方法: DEuW' .o>
— 在x-y-网格 Vi~+C@96
— 六边形 rkXSygb
— 自由选取 JG$J,!.\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 l$@lk?dc b .@dUuKz- 5. 系统的3维视图 cMKh+r mSp7H!
}e|]G,NZO 6. 其他系统参数 z<XS"4l?W ■ 系统由单色平面波照明 $^GnY7$!> ■ 照明波长266.08nm J?DyTs3Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o*8 pM`uw — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ZmF32Ir — 一个虚拟屏位于焦平面 yx4c+(J^8 — 光束尺寸探测器置于焦平面 XS@6jbLE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -': tpJk Cl=ExpX/O :a`m9s 4 ^4i3 #} *8+YR 7. 光线追迹系统分析器的结果 ->UrWW^ Dbd5d]]n3 光线经过整个光学系统的三维视图
tc Z~T 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
l"Q8` }P#gXG L x&ZWF$ /PlsF 4v7RX X88ZdM' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,GlK_-6> 1lM0pl6M VdgPb (
■ VirtualLab可用于计算点列图。 N4pA3~P
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,\ i q'}i
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z^3Risi
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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pOXEM1"2A 9. 焦平面上的结果 L.'N'-BV
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {iRNnh
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P'+*d#*S
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Fei$94a
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 N
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 D{mu2'q cVMTT]cj1 10. 总结 Ic*Q(X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K(?7E6\vO ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 S/4kfsN ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2WoB ;= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 R*U>T$