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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) k/f_@8  
    iO#xIl<  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m3ZOq B-  
    < 2r#vmM  
    1. 描述 2FtEt+A+'  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TuPxyB  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fN/KXdAy&  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %JU23c*  
    +mel0ZStS  
    2. 系统 zL=I-fVq  
    Xrs~ove1V  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    {twf7.eY  
    3. 透镜系统组件编辑 8TM=AV  
    iONql7S @  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 B#lj8I^|  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。    r3K:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w9}IM149  
    包括序列光学表面和光学介质。 t$Ji{t-  
    Q9 ",  
    U*l>8  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Y'":OW#oN  
    MO+0]uh:  
    6@36 1f[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !I  P*  
    可以选择选取光线的方法: DEuW'.o>  
    — 在x-y-网格 Vi~+C@96  
    — 六边形 rkXSy g b  
    — 自由选取 JG$J,!.\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    l$@lk?dc  
    b .@dUuKz-  
    5. 系统的3维视图 cM Kh+r  
    mSp7H!  
    }e|]G,NZO  
    6. 其他系统参数 z<XS"4l?W  
    系统由单色平面波照明 $^GnY7$!>  
    照明波长266.08nm J?DyTs3 Z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o*8 pM`uw  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ZmF32 Ir  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 yx4c+(J^8  
    光束尺寸探测器置于焦平面 XS@6jbLE  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -': tpJk  
    Cl=ExpX/O  
    :a`m9s 4  
    ^4i3#}  
    *8+YR  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ->UrWW^  
    Dbd5d]]n3  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    tcZ~T  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    l"Q8`  
     }P#gXG  
    L x&ZWF$  
    /PlsF  
    4v7RX  
    X88Zd M'  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,GlK_-6>  
    1lM0pl6M  
    VdgPb (  
    VirtualLab可用于计算点列图。 N4 pA3~P  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,\ i q'}i  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z^ 3Risi  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7Fx8&Z  
    pOXEM1"2A  
    9. 焦平面上的结果 L.'N'-BV  
    &}ow-u9c3  
    N C& 1l]  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {iRNnh   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P'+*d#*S  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Fei$94 a  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 N Jf''e3  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    D {mu2'q  
    cVMTT]cj1  
    10. 总结 Ic*Q(X  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K(?7E6\vO  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 S/4k fsN  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2WoB;=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 R *U>T$  
     
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