示例.0082(1.0) `SGI
Qrb 5u3SP?.& 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ( [m[<
M<"H1>q@ 1. 描述 =hse2f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 |37y =" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]iL>Zxex ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Msea kF
MY `V0 2. 系统 yJ!x`RD),w )RE~=*?d 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:k*3?*'K 3. 透镜系统组件编辑 &XE eJ
zBd)E21H
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ZyQ+}rO
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1}"PLq(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pJpTOq\h
■ 包括序列光学表面和光学介质。 W
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"P_PqM C-6m[W8S 4. 光线追迹系统分析器-选项 .*>pD/ ELWm>'Q#9 V0!.>sX9
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :0)nL
■ 可以选择选取光线的方法: d|c>Y(
— 在x-y-网格 =u^{Jvl[
— 六边形 d/4k F
— 自由选取 oykqCN
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 jJfV_#'N' e//q`?ys 5. 系统的3维视图 MH8 Selnv _x ;fTW0
b=-LQkcZhK 6. 其他系统参数 qIIl,!&}A ■ 系统由单色平面波照明 hz8Z)xjJ V ■ 照明波长266.08nm HECZZnM ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9/nS?>11 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 cA8"Ft{P) — 一个虚拟屏位于焦平面 Q|`sYm'. — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~>]/1JFz ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z$'483< k}o*=s>M d].(x)|st u(`,7 o " T)QT_ST.9 7. 光线追迹系统分析器的结果 }N6r/
VtOQ (Z72 3) 光线经过整个光学系统的三维视图
F;&a=R!. 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
`?PpzDV7Y 1*>lYd8_ Pd[&&!+gV QNzx(IV@ <&$:$_ah D`G ;kp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 aybfBC 1ukCH\YgU IO4 8sV }
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ct3^V M&/
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9W[ ~c"Ku
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ;1&7v
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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#el i_Cxe 9. 焦平面上的结果 vV?=r5j
B[I
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xqua>!mqS
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 BP7&wd
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !VfP#B6.
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm iB:](Md'r
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Ao:<aX,=
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?oc#$fcQ~ nDhD"rc 10. 总结 fs=W(~" ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 H#LlxD)q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q
i27:oJ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^j1WF[GiSO ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 cTR@
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