示例.0082(1.0) j!4{+&Laq ]^ R':YE 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;+~5XLk
s[8. l35| 1. 描述 E+\?ptw ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 i)x0]XF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 f\2IKpF2 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 27!FB@k-
$M}"u[Qq 2. 系统 BHr ,jC 33~MP; 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
X7$]qE K 3. 透镜系统组件编辑 pB:XNkxL
$9YQ aN%
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 rn-bfzoDS
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CQ2vFg3+o
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "AagTFs(i
■ 包括序列光学表面和光学介质。 5|rBb[
5len}){ !Q>xVlPVu 4. 光线追迹系统分析器-选项 toA}0MI(: FxlH;'+Q A}lxJ5h0
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |"}rdOV)
■ 可以选择选取光线的方法: ,NGHv?.N
— 在x-y-网格 Ae7FtJO
— 六边形 tl_3 %$s
— 自由选取 DzR,ou
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 e(s0mbJE s",Ea* 5. 系统的3维视图 Un]wP` Ovx
*
JL,Y9G*]s 6. 其他系统参数 yhKH}
kR ■ 系统由单色平面波照明 6)1PDlB ■ 照明波长266.08nm !SK`!/7c? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &MH8~LSb — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bpc1>? — 一个虚拟屏位于焦平面 ;Ci:d* — 光束尺寸探测器置于焦平面 dy+A$)gY< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5$ik|e^:y $ 5" WD%(RC"Q >12jU m) O[ z0+Q?6Z 7. 光线追迹系统分析器的结果 y^H5iB[SPL ! \s}A7 光线经过整个光学系统的三维视图
!Q"L)%)'A 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
f:M^q ; JLm3qIC \HB
fM& :Fhk$?/r ^1 ){
@( &vmk!wAs 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 fuj9x;8X0 5=V"tQ&d9U %ap]\o$^4
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,<Cl^ ^a,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #[bosb!R
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 N&G'i.w/
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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~2>A dp 9. 焦平面上的结果 o1#3A
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 '|gsmO
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 bYLYJ`hH<R
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm \SmsS^z(]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mW]dhY 3X
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 KAZ<w~55c l1]N&jN{ 10. 总结 ;R6f9tu2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 q5r7KYH{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FV9{u[3m ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "<|KR{/+ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +FNGRL