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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) BjHp3-A'  
    D~TlG@Pq  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^F- 2tc  
    [!Djs![O  
    1. 描述 F&C< = l\X  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 '+GY6Ecg  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t0za%q!fK<  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7+Nl)d:C J  
    =BbXSwv'(  
    2. 系统 4sfq,shRq  
    >[~`rOU*|Y  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8Q0/kG  
    3. 透镜系统组件编辑 *^XMf  
    6G(K8Q{>  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 F6\4[B  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 i2-]Xl  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q(R -8"  
    包括序列光学表面和光学介质。 :fUNc^\2  
    /7ShE-.5#  
    ;iQw2XhT  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !| q19$  
    4q?R3 \e;  
    Zqv  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n0t+xvNDF_  
    可以选择选取光线的方法: LoSrXK~0~J  
    — 在x-y-网格 \^!<Y\\  
    — 六边形 7UqDPEXU]`  
    — 自由选取 &i6JBZ#~,  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    eT?vZH[N  
    ^)'D eP/  
    5. 系统的3维视图 &x4*YM h  
    :G=ol2Q  
    ) r"7"i  
    6. 其他系统参数 n?S)H=  
    系统由单色平面波照明 *g9VI;X  
    照明波长266.08nm A+}O~,mxP8  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 'R#MH  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @RCZ![XYWg  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 MlLM $Y-@  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Dc 84^>l  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =B`=f,,#3  
    y'<5P~W!a  
    FTzc,6  
    K;`W4:,  
    2_Zn?#G8dl  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Zrew}0  
    &g=6K&a$a  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    %WqUZ+yy  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ~wcp&D  
    kX*.BZI}C  
    mi@uX@ #  
    =AF;3  
    WopA7J,  
    }h|HT  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8M]QDgd.  
    8hMy$  
    %6&c3,?U\n  
    VirtualLab可用于计算点列图。 W@+ge]9m&  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q9\(<<f|  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H2+V1J=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 %/}d'WJR  
    1M?Sl?+j  
    9. 焦平面上的结果 MRHRa  
    zQB1C  
    T?1e&H%USV  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 d_ &~^*>  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |-%dN }O  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 1C/Vwf:@  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 4KW_#d`t  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _Om5w p=:  
    R$">  
    10. 总结 \SWuylE  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ' R= OeH  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。   [ L  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D+h`Z]"|  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,0?3k  
     
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