示例.0082(1.0) `xc^_781\ -\y-qHgb/ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V=X:=
TP}h~8 /; 1. 描述 8:o<ry ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Maqf[
Vky ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Yyfq ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1N\D5g3
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-+ 2. 系统 r,]#b[:.s| ?hR7<02 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
p:OPw D+ 3. 透镜系统组件编辑 {0@&OO:w
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?+t1ME|
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ph}j[Co
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;ml
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 X>I)~z}9#
`' 153M] W{5:'9, 4. 光线追迹系统分析器-选项 bpkwn<7- yfDAk46->6 ycJg%]F*5
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ai'4_
■ 可以选择选取光线的方法: Z Dhx5SL&
— 在x-y-网格 Fa epDjY8
— 六边形 ;c-3g]
— 自由选取 R|P_GN6>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q*YYTmZ g2R@`./S 5. 系统的3维视图 5 #]4YI; T'#!~GpB
P(SZ68 6. 其他系统参数 fIocq ■ 系统由单色平面波照明 `T2 <<< ■ 照明波长266.08nm
Q2p)7G ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: D%7kBfCb — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }K(o9$V ^! — 一个虚拟屏位于焦平面 7dX/bzUVz8 — 光束尺寸探测器置于焦平面 #g5^SR|qE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m9md|yS C*I(|.i@ q+a.G2S kL S(w??T e#/kNHl 7. 光线追迹系统分析器的结果 _}mK!_` 8z<r.joxC 光线经过整个光学系统的三维视图
3_`szl- 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}E}8_8T6 -Z^4L S)A'Y]2X M]HgIL@9# *]x*B@RF >?YNW 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &kQ!KA28 Ra3ukYG[ 8@M'[jT
■ VirtualLab可用于计算点列图。 :&J8.G^
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 C2<CWPn<
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @("}]/O
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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)~rB}>^Z 9. 焦平面上的结果 `BnP[jF
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A t:m
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XNH4==4
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P` '$
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm kA7(CqUW
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 {*/dD`
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _a+ICqR >&H~nGP. 10. 总结 4?/7
bc ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %HSl)zEo>C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {@r*+~C3 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "]t>ZT:OJ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 agd)ag4"[u