示例.0082(1.0) ];OvV ,* e@Lxduq 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m$fEk,d
lPZ(c%P 1. 描述 TI4Hu,rc ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 UX@%1W!8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 OT%E|) 6' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ?T/]w-q>
z3jkxWAZ 2. 系统 P.'.KZJ:WD STp9Gh- 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
V4n~Z+k 3. 透镜系统组件编辑 C9!t&<\}
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 USVDDqZ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5To@d|{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eQuu\/z*H
■ 包括序列光学表面和光学介质。 @-
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*nCA6i 7k(}U_v 4. 光线追迹系统分析器-选项 Vr1}Zv3K' cb|+6m~ 0%ul6LvM
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 EtKq.<SJ
■ 可以选择选取光线的方法: RbAl_xKI
— 在x-y-网格 a!9'yc
— 六边形 fg^AEn1i
— 自由选取 Alxf;[s
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2:*15RH3 Mu\V3`j 5. 系统的3维视图 yQ$irS? S&_03
i]v3CY|3AI 6. 其他系统参数 ] pn
U" ■ 系统由单色平面波照明 *;fTiL ■ 照明波长266.08nm sbW+vc ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: r#sg5aS7O| — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^kKLi — 一个虚拟屏位于焦平面 ;@wa\H[3v2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 79T_9}M ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 1l,fK)z rNP;53FtZl EYT^*1,E* j&8YE7 #a e@VedM 7. 光线追迹系统分析器的结果 T}&A-V$ .U!EA0B 光线经过整个光学系统的三维视图
16iTE-J_ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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}iJsF Kxsd@^E aTvyzr1 )Te\6qM <Wn~s= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N[_T3( |! 9~ S7+>Mk
■ VirtualLab可用于计算点列图。 :Awwt0
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ht-'O"d:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 xWxHi6U(
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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.jWz.c 9. 焦平面上的结果 T9yI%;D
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XJ7B?Zg
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 OxJHhF
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm >WZ.Dj0n
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 &lzY"Y*hA0
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 GgpE"M? D$FTnY 10. 总结 *). ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 u>'0Xo9R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 4Wl`hF ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 -RP{viGWK ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Z\0wQ;}