示例.0082(1.0) )n.peZ G;e}z&6<k 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 D)5wGp
7u zN/LAF 1. 描述 U:Y?2$# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 nB.p}k ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 U&6f}=vC ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rhrlEf@
<\5{R@A*6 2. 系统 157X0&EX hXCDlCO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Z]tz<YSkG 3. 透镜系统组件编辑 P.o W#Je
L|<Mtw
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 %9j]N$.V
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 STI8[e7{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %^S1 fUwT
■ 包括序列光学表面和光学介质。 M-NR!? 9
f =Nm2(e 2,+H;Ypi! 4. 光线追迹系统分析器-选项 (~jOtUyT Z1Wra-g d^7<l_u~ !
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N$?q Aek
■ 可以选择选取光线的方法: ZM" t.
— 在x-y-网格 i|t$sBIh
— 六边形 [lf[J&}X
— 自由选取 m*1=-"P
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VD4( ]?^mb n 5. 系统的3维视图 ^#nAS2w7U 0:XmReO+k
QZX+E 6. 其他系统参数 b{A#P? ■ 系统由单色平面波照明 J? C"be= ■ 照明波长266.08nm d/MMPge3 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2n\EZ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O?@AnkOhn — 一个虚拟屏位于焦平面 j9%=^ZoQj — 光束尺寸探测器置于焦平面 u!O)\m- ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8O]$)E r;-\z(h }q^CR(h (R IMj{n.y4 h T<v8 7. 光线追迹系统分析器的结果 i9d.Ls 0VPa=AW 光线经过整个光学系统的三维视图
N)QW$iw9 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
zJPzI{-w| !^y'G0
4XRVluD%W. z;T?2~g! L~\Ir 0ZO!_3m$r 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4oJ0,u &Mol8=V) _f/6bpv
■ VirtualLab可用于计算点列图。 &T{+B:*v
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LVX.s tN#p
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 -{^Gzui
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Au9Rr3n
u-D%: lz85 9. 焦平面上的结果 {Wt=NI?Ow
o]@?QAu
BPW2WSm@<
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
4h-tR
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 l2i[wc"9
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Z<`QDBN"4
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 |Gz(q4
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 )KG.:BO< q.*k
J/L 10. 总结 eGjEO&$ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 J%{>I ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :U=*@p4? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 g/eE^o~; ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^I7iEv