示例.0082(1.0) ">z3i`#C' /}m*|cG/ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 p\ ;|Z+0=
SnmUh~`L~ 1. 描述 o?hr>b ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 iI";m0Ny ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]{\ttb%GX ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Gb\PubJ
poxF`a6e+ 2. 系统 ; s/<wx-C uoI7'
:Nv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3>@VPMi 3. 透镜系统组件编辑 0zB[seyE
</`\3t
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A+0-pF2D
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 kt978qfk
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3^+D,)#D^
■ 包括序列光学表面和光学介质。 4v hz`1
/GC&@y0yi V>`ANZ4 4. 光线追迹系统分析器-选项 N8dxgh!, yQN{)rv KddCR&
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1d<Uwb>
■ 可以选择选取光线的方法: =,#--1R7g
— 在x-y-网格 g=56|G7n
— 六边形 LD}~]
— 自由选取 nm,LKS7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "a8E0b jfY7ich 5. 系统的3维视图 W-n4wIj" ^U*y*l$
4?'vP ' 6. 其他系统参数 Z)#UCoK!c ■ 系统由单色平面波照明 5FoZ$I ■ 照明波长266.08nm WK>|IgK ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: zl|z4j'Irc — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 GT&}Burl/n — 一个虚拟屏位于焦平面 \:WWrY8& — 光束尺寸探测器置于焦平面 a4__1N^Qj ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 67II9\/ o[Jzx2A< ,KW
Q
6 @i1e0;\ bx8](cT_ 7. 光线追迹系统分析器的结果 tNi>TkC}` tX{yR'Qhu 光线经过整个光学系统的三维视图
<h7cQ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ecghY=% FvxM "d_wu#fO) _qxI9Q}<" 20;9XJmjl @Nek;xJ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 FPDTw8" B; *|fF;-#v z~
cW,
■ VirtualLab可用于计算点列图。 f~`=I NrU
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Wh)D_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h+FM?ct6}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
AG N/kx
6l]X{ A. 9. 焦平面上的结果 :aesG7=O
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Hc)z:x;Sj
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 NBYJ'nA%;f
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 K3yQ0k
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r7m~.M+W"
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 \#{PV\x:Nn
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 L8VOiK=, fjh|V9H 10. 总结 nI\6aG?` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 oN7SmP_ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 h:
' |)O ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 z0[XI 7KK ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~dYCY_a