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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 4&;.>{ :;  
    wP3_RA]z  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 R[ p. )F7  
     iaBy/!i  
    1. 描述 B MU@J  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D(xgadr  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dO.?S89L  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Qx CZ<|  
     ;K38I}  
    2. 系统 ]z`Y'wSxd  
    ^p(t*%LM  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    T5_z^ 7d  
    3. 透镜系统组件编辑 2xRb$QF  
    $,"{g<*k;  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 SvC|"-[mJ  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Q# xeu  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ,\Gn  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Ao)hb4ex  
     <y5V],-U  
    ?6.vd]oNO  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 -e7|DXj  
    k+S+ : 5  
    '8>h4s4  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 'Ht$LqG  
    ■ 可以选择选取光线的方法： l!e8=QlJ  
    — 在x-y-网格 |sz`w^#  
    — 六边形 kb1{ ;c:  
    — 自由选取 q]q(zUtU  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     Z'dY,<@  
    \W;~[-"#  
    5. 系统的3维视图 ElAJR4'{*i  
    J411bIxD+q  
    Z y@35;r  
    6. 其他系统参数 ,pir,Eozg  
    ■ 系统由单色平面波照明 E } |g3  
    ■ 照明波长266.08nm "{;]T  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： EAo7(d@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ie^:PcU  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )xCpQ=nS  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 'dM &~L SQ  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ==(9P`\  
    Q_/{TE/sO5  
    _dppUUm  
    pr>Qu:  
    < 'op  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &Th/Qv}[  
    &w:"e'FG`  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,^O**k9F  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    R?1;'pvpa[  
    UV)[a%/SB&  
    jEklf0Z  
    }aXc,;Ps  
    wM(!9Ws3  
    @Qd6a:-6  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #QZg{  
    U/,`xA;v>  
    h0 Acpd2  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 /7|u2!#Ui  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /MsXw/],  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @z$V(}(O^  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 bjPI:j*XU  
     N:0/8jmmO  
    9. 焦平面上的结果 B;N40d*W  
    U/yYQZ\)  
    =r+u!~%@''  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p}uL%:Vr  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ~zRUJ2hD!  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z|}Anc[\  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 :~:(49l  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     s ZkQJ->  
    [[JwHM8H&  
    10. 总结 dSsMa3X[n  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -{pcb7.xuv  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 h\C  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o&rejj#  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 H h$D:ZO  
     
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