示例.0082(1.0) :6\qpex X}\:_/ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~R92cH>L
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lUgg 1. 描述 !Q0w\j h ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Npy:! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W:L
AP
R ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ?<'}r7D
E=!\z%4 2. 系统 9mTJ|sN:e V33T+P~j 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Z>5b;8 3. 透镜系统组件编辑 B,epzI
ut7zVp<"
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^3L0w}#
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 x+@rg];m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4@#
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 W v+?TEP
v #j$; JrRH\+4K 4. 光线追迹系统分析器-选项 wEvVL 8c^TT& a HR"n|7{
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :^B1~p(?sK
■ 可以选择选取光线的方法: RdRp.pb8
— 在x-y-网格 ;@Y;g(bw:
— 六边形 5taT5?n2
— 自由选取 _^%,x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '@k+4y9q? ZRU{[4 5. 系统的3维视图 VQ9/Gxdeo lp%pbx43s
C1 GKLl~ 6. 其他系统参数 6zuTQ^pz ■ 系统由单色平面波照明 t=W}SH ■ 照明波长266.08nm 57']#j#"hj ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -fW*vE: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hy"\RW — 一个虚拟屏位于焦平面 9Y_HyOZ*GX — 光束尺寸探测器置于焦平面 pYmk1!]/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :(*V?WI )cMh0SGcM1
&powy7rR XYOC_.f1 68C%B9.b' 7. 光线追迹系统分析器的结果 30T)!y _H7x9
y= 光线经过整个光学系统的三维视图
PmEsN&YP] 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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g Xn mLLDE;7|} j/c&xv7= eF-."1 O:{~urV hH8oyIC 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 =wV<hg)C Pw`8Wj 6HWE~`ok6
■ VirtualLab可用于计算点列图。 h_,i&d@(
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 wc^tgE
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 '/p/8V.O.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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tGE$z]1c@ 9. 焦平面上的结果 aP@N)"
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h_3E)jc
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 paE[rS\
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Ee%%d
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 z3m85F%dR
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 :g=qz~2Xk cO+qs[
BQ 10. 总结 2,b(,3{`4: ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 '9Xu
p ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 /cQueUME` ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =M[bnq*\ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +YKi,