示例.0082(1.0) $w)!3c4
#bUXgn> 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Lx\8Z=
p2ogn}` 1. 描述 T ?$:'XJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Gr7=:+0n|P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [BWNRC1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 O[I\A[*
\#f<!R4 2. 系统 0+?7EL~ k[bD\' 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+fC=UAZ 3. 透镜系统组件编辑 w1hPc!I
Tu$f?
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Sm)Ha:[4
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 iI\oz&!vH
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @Fluc,Il
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Zo|.1pN
kqM045W7 9`1O"R/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 [h^2Y&Au5 GR
+[UG isQ[ Gc!8
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 TV<'8L
■ 可以选择选取光线的方法: W~zbm]
— 在x-y-网格 3?c3<`TW
— 六边形 ,24p%KJ*X
— 自由选取 7Nk!1s:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u -;_y='m uEktQ_u[ 5. 系统的3维视图 ,5|&A [#l*_0
<L"GqNuRQ 6. 其他系统参数 vK9E ■ 系统由单色平面波照明 b:Wm8pp? ■ 照明波长266.08nm spdvZU=} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ]!I7Y.w6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 pnjXf.g"O — 一个虚拟屏位于焦平面 T?x[C4wf+ — 光束尺寸探测器置于焦平面 +_; l|uhT; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 bL'aB{s zbk q V#XppYU K%a%a6k` y`F3Hr c 7. 光线追迹系统分析器的结果 F@mQQ ,quoRan 光线经过整个光学系统的三维视图
_I)U%?V+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
L\@I*QP eM$s v9? +Af"f' ) z2g3FUTX)b eO?p*"p" F U^Q:Y}^ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o=50>$5jlS #
WAZ9,t 2nSSFx r
■ VirtualLab可用于计算点列图。 H,DM1Z9rz
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Fh`~`eog
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ZZHDp&lh}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Z[Y
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%>~sJ0 9. 焦平面上的结果 |C!ox hu<
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MUTj-1 H6)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `(YxI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm I1pWaQ0
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 l:j4Ft 8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 d8[J@M53|T K_RjX>q%N 10. 总结 =p*]Az ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :-/M?,Q" ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 t5y;CxL ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .?R!DYC` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \.-}adKg