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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ">z3i`#C'  
    /}m*|cG/  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 p\ ;|Z+0=  
    SnmUh~`L~  
    1. 描述 o?hr>b  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 iI";m0Ny  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]{\ttb%GX  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Gb\PubJ  
    poxF`a6e+  
    2. 系统 ;s/<wx-C  
    uoI7' :Nv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    3>@VPMi  
    3. 透镜系统组件编辑 0zB[seyE  
    </`\3t  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A+0-pF2D  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 kt978qfk  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3^+D,)#D^  
    包括序列光学表面和光学介质。 4v hz`1  
    /GC&@y0yi  
    V>`ANZ4  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 N8dxgh!,  
    yQ N{)rv  
    KddCR&  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1d<Uwb>  
    可以选择选取光线的方法: =,#--1R7g  
    — 在x-y-网格 g=56|G7n  
    — 六边形 LD}~]  
    — 自由选取 nm,LKS7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    "a8E0b  
    j fY7ich  
    5. 系统的3维视图 W-n4w Ij"  
    ^ U*y*l$  
    4?'vP'  
    6. 其他系统参数 Z)#UCoK!c  
    系统由单色平面波照明 5FoZ$I  
    照明波长266.08nm WK>|IgK  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: zl|z4j'Irc  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 GT&}Burl/n  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \:WWrY8&  
    光束尺寸探测器置于焦平面 a4__1N^Qj  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 67II9\/  
    o[Jzx2A<  
    ,KW Q 6  
    @i1e0;\  
    bx8](cT_  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 tNi>TkC}`  
    tX{yR'Qhu  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    <h7cQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ecghY=%  
    FvxM  
    "d_wu#fO)  
    _qxI9Q}<"  
    20;9XJmjl  
    @Nek;xJ  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 FPDTw8" B;  
    *|fF;-#v  
    z~ cW,  
    VirtualLab可用于计算点列图。 f~`=I NrU  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Wh)D_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h+FM?ct6}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 AG N/kx  
    6l]X{A.  
    9. 焦平面上的结果 :aesG7=O  
    -zR<m  
    Hc)z:x;Sj  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 NBYJ'nA%;f  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 K3yQ0k |  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm r7m~.M+W"  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 \#{PV\x:Nn  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    L8VOiK=,  
    fjh|V9H  
    10. 总结 nI\6a G?`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 oN7SmP_  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 h: ' |)O  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 z0[XI7KK  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~dYCY_a  
     
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