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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) &c ~)z\$  
    . L%@/(r  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 d/QM   
    *heQ@ww  
    1. 描述 7)wq9];w  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5R G5uH/-<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =B%e0M  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 hG3Lj7)UH  
    ~,7R*71  
    2. 系统 r26Wysi~%  
    ~Nh7C b _  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    v]S8!wU  
    3. 透镜系统组件编辑 - & r{%7  
    SVz.d/3Y  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 @eU/g![u  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !Ve3:OZ.nO  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <9ph c  
    包括序列光学表面和光学介质。 a,9GSKXo1  
    Xq^{P2\w1  
    vLS6Gb't  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }epN<DL  
    p4_uY7^6  
    :\RB ^3;  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?&_\$L[  
    可以选择选取光线的方法: #JM*QVzv  
    — 在x-y-网格 1Xc%%j  
    — 六边形 j pV  
    — 自由选取 U++UG5c  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    nJC}wh2d#  
    xbA2R4|  
    5. 系统的3维视图 D~>P/b)v{j  
    =p$Wo  
    +N:%`9}2V  
    6. 其他系统参数 IQ8AsV&'C  
    系统由单色平面波照明 5o #8DIal  
    照明波长266.08nm inrL'z   
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: nfB9M1Svn  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u1<kdTxA N  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 U"Oq85vY  
    光束尺寸探测器置于焦平面 S0yT%V  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 eD0@n :  
    H\vO0 <X  
    XwMC/]lK<  
    |{Q,,<C  
    ^;bkU|(`6  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Jsl,r+'H  
    RR|Eqm3)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    e#^by(1@}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    oY:>pxSz<@  
    zFIKB9NUn  
    ,5:86'p  
    H++rwVwj#h  
    50A_+f.7%  
    B%/Pn 2  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $'Z!Y;Ue  
    M#m7g4*L!  
    :1Cc~+]w(u  
    VirtualLab可用于计算点列图。 P@#6.Bb#V  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G <q@K-  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 sM K/l @7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pV8,b   
    j? A +qk  
    9. 焦平面上的结果 }{"\"Bn_  
    MRc^lYj{  
    D~}4N1  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *(rE<  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 j06DP _9M  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm A 3l1$t#w  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 I$&/?ns@O  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -~g3?!+Hb  
    Yu=^`I  
    10. 总结 >vhyKq|g<  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ?W(f%/B#  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Gmb57z&:  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jWz-7BO  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 yY+2;`CH  
     
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