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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) )n.peZ  
    G;e}z&6<k  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 D)5wGp  
    7u zN/LAF  
    1. 描述 U:Y?2$#  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 nB.p}k  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 U&6f}=v C  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rhrlEf@  
    <\5{R@A*6  
    2. 系统 157X0&EX  
    hXCDlCO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Z]tz<YSkG  
    3. 透镜系统组件编辑 P.o W#Je  
    L|<Mtw  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 %9j]N$.V  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 STI8[e7{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %^S1 fUwT  
    包括序列光学表面和光学介质。 M-NR!?9  
    f =Nm2(e  
    2,+H;Ypi!  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 (~jOtUyT  
    Z1Wra-g  
    d^7<l_u~ !  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 N$ ?qAek  
    可以选择选取光线的方法:  ZM"t.  
    — 在x-y-网格 i |t$sBIh  
    — 六边形 [lf[J&}X  
    — 自由选取 m*1=-" P  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    VD4(  
    ]?^mb n  
    5. 系统的3维视图 ^#nAS2w7U  
    0:XmReO+k  
    QZX+E   
    6. 其他系统参数 b{A#P?  
    系统由单色平面波照明 J? C"be=  
    照明波长266.08nm d/MMPge3  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2n\EZ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O?@AnkOhn  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 j9%=^ZoQj  
    光束尺寸探测器置于焦平面 u!O)\m-  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8O]$)E  
    r;-\z(h  
    }q^CR(h (R  
    IMj{n.y4  
    hT<v8  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 i9d.Ls  
    0VPa=AW  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    N)QW$iw9  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    zJPzI{-w|  
    !^y'G0  
    4XRVluD%W.  
    z;T?2~g!  
    L~\Ir  
    0ZO!_3m$r  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4oJ0,u  
    &Mol8=V)  
    _f/6bpv  
    VirtualLab可用于计算点列图。 &T{+B:*v  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 LVX.stN#p  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 -{^Gzui  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Au9Rr3n  
    u-D%: lz85  
    9. 焦平面上的结果 {Wt=NI?Ow  
    o]@?QAu  
    BPW2WSm@<  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4h-tR  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 l2i[wc"9  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Z<`QDBN"4  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 |Gz(q4  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    )KG.:BO<  
    q.*k J/L  
    10. 总结  eGjEO&$  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 J%{>I   
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :U=*@p4?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 g/eE^o ~;  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^I7iEv  
     
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