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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) pn'*w 1i  
    iF<VbQP=X^  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 2uU~$7~N  
     Mi S$Y  
    1. 描述 8[xb+_  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [UFLL:_sC  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t;ggc{  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C>t1~^Q},9  
     : h-N  
    2. 系统 7GE.>h5  
    d}IVYI  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    <.RgMPi  
    3. 透镜系统组件编辑 V#5BZU-  
    u:"mq.Q  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 z <s]Z  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ?%;)> :3N  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 gdHPi;  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?hsOhUs(5  
     Z]"ktb;+[  
    |67<h5Q1  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !.x(lOqf  
    Nluy]h &  
    -1Tws|4gc  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (hdP(U77  
    ■ 可以选择选取光线的方法： O"_FfwO a  
    — 在x-y-网格 glPOW  
    — 六边形 3'*SSZmnOB  
    — 自由选取 IjJ3./L!5  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。      |o=eS&)  
    HWD  
    5. 系统的3维视图 >/}v8 k1v  
    ^;Ap-2Ww  
    > : \lDz  
    6. 其他系统参数 zj"J~s;?  
    ■ 系统由单色平面波照明 p@>_1A}qh_  
    ■ 照明波长266.08nm V$<og  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： d];E99}  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :+m|KC(Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 MS><7lk-  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 [2.pZB  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~kw[Aw3?D\  
    v lOMB  
    o#H"tYP  
    ;R 'OdQ$o  
    d; V  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Yb 6(KT  
    pH'#v]"  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    h#'(UZ  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    ZrXvR`bsw  
    fqFE GyeNr  
    =w_y<V4  
    l 0jjLqm:  
    Z/6B[,V  
    O0';j!?X  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 rh?!f(_@  
    &*/8Ojv)9  
    ub0]nov  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 d,6 Z  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 a~DR$^m  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D8C@x`  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 K zKHC  
     ID E3>D  
    9. 焦平面上的结果 _(TavL>l =  
    c7L#f=Ot?  
    O jr{z  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 FsTE.PT  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 TOeJnk  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm JrQ*.lJj  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 3[pA:Z+xx  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     G6]M~:<i  
    Uw)?u$+ P  
    10. 总结 B/c_pRl;  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 bJmVq%>;  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 w91{''sK  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "ALR)s,1,  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Xu3o,k  
     
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