示例.0082(1.0) wH&!W~M
ORw,)l 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 zT]8KA
cd_yzpL@}J 1. 描述 dt]-,Y
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L|7R9+ZG ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Qx#"q '2 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w+|L+h3L7
#&aqKVY 2. 系统 &)ChQZA 19)i*\+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
E7UU 3. 透镜系统组件编辑 {rw|# Z>A
VA_PvL.9
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'G4ICtHQ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 X`>i&I]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @o _}g !9=
■ 包括序列光学表面和光学介质。 "?xHlYj@+
m}t`FsB. osAd1<EIC 4. 光线追迹系统分析器-选项 PiIpnoM S`0(*A[W* & l&:`nsJ
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 q,|j]+9q
■ 可以选择选取光线的方法: 9}<ile7^
— 在x-y-网格 +gtbcF@rx
— 六边形 vJ[^K
— 自由选取 Yujiqi]J;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]Ie 0S~ v MH 5. 系统的3维视图 "7F?@D$e 7'V@+5
kfY}S 6. 其他系统参数 K`zdc`/ ■ 系统由单色平面波照明 )yZ^[uJ}3C ■ 照明波长266.08nm N
+_t-5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: YkKi|k — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 { @{']Y — 一个虚拟屏位于焦平面 MaQqs= — 光束尺寸探测器置于焦平面 P* BmHz4KL ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 giw &&l=_ 37.S\gO] 9-a0 :bP _9Te!gJ4_# 04P}-L, 7. 光线追迹系统分析器的结果 s8t;.^1} CxW>~O: 光线经过整个光学系统的三维视图
j-}O0~Jz 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
D.u{~ [<yaXQxl fxHH;hRfv `e&Suyf4B @:vwb\azVD i3mcx)d@H 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,<P
vovg_ 0znR0%~ #r\4sVg
■ VirtualLab可用于计算点列图。 0pd'93C
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =>v#4zFd
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H40p86@M
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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.?sx&2R2 9. 焦平面上的结果 mNTzUoZF'@
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 } (73Syl#
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (iX+{a%"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm K
Z91-
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 y?? XIsF
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 WP'!*[z dcN22A3 10. 总结
dkTX ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 +\
.Lp 5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &B1Wt