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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) $w)!3c4  
    #bUXgn>  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Lx\ 8Z=  
    p2ogn}`  
    1. 描述 T ? $:'XJ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Gr7=:+0n|P  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [BWNRC1  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 O[I\A[*  
    \#f <!R4  
    2. 系统 0+?7EL~  
    k[bD\'  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    + fC=UAZ  
    3. 透镜系统组件编辑 w1hPc!I  
    Tu$f?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Sm)Ha:[4  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 iI\oz&!vH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @Fluc,Il  
    包括序列光学表面和光学介质。 Zo|.1pN  
    kqM045W7  
    9`1O"R/  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 [h^2Y&Au5  
    GR +[UG  
    isQ[ Gc!8  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T V<'8 L  
    可以选择选取光线的方法: W~zbm]  
    — 在x-y-网格 3?c3<`TW  
    — 六边形 ,24p%KJ*X  
    — 自由选取 7Nk!1s :  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    u -;_y='m  
    uEktQ_u[  
    5. 系统的3维视图 ,5|&A  
    [#l*_0  
    <L"GqNuRQ  
    6. 其他系统参数 v K9E   
    系统由单色平面波照明 b:Wm8pp?  
    照明波长266.08nm spdvZU=}  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ]!I7Y.w6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 pnjXf.g"O  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 T?x[C4wf+  
    光束尺寸探测器置于焦平面 +_; l|uhT;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 bL'aB{s  
    zb k q   
    V#XppYU  
    K%a%a6k`  
    y`F3Hr c  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 F @mQQ  
    ,quoRan  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _I)U%? V+  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    L\@I*QP  
    eM$sv9?  
    + Af"f' )  
    z2g3FUTX)b  
    eO?p*"p"F  
    U^Q:Y}^  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o=50>$5jlS  
    # WAZ9,t  
    2nSSF x r  
    VirtualLab可用于计算点列图。 H,DM1Z9rz  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Fh`~`eog  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ZZHDp&lh}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pi Z[Y 5OE  
    %>~sJ0  
    9. 焦平面上的结果 |C!oxhu<  
    EB2w0a5  
    +z9Q-d%O  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MUTj-1H6)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `(YxI  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm I1pWaQ0  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 l:j4Ft 8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    d8[J@M53|T  
    K_RjX>q%N  
    10. 总结 =p*]Az  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :-/M?,Q"  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 t5y;CxL  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .?R!DYC`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \.-}adKg  
     
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