示例.0082(1.0) 2 2v"?* FOiwA.:0 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 X7*F~LFrj
d0aXA+S% 1. 描述 P6gkbtg ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 E|@C:ghG ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 KdEvu? ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =6sP`:
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Lm9I 2. 系统 8+'}` T)! }Wvv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Px_8lB/; 3. 透镜系统组件编辑 n`5Nf
g257jarkMF
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |J&\/8Q
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 R$:-~<O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 scV%p&{a
■ 包括序列光学表面和光学介质。 bQaRl=:[:
fQoAdw r^ ,_m,s'< 4. 光线追迹系统分析器-选项 \RDN_Z g0,~|. 5U?O1}P
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 uX7L1~s-
■ 可以选择选取光线的方法: <-`bWz=+
— 在x-y-网格 a
,mgM&yD
— 六边形 (PpY*jKR
— 自由选取 Q6
*n'6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nDrRK -h8mJ D%Oi 5. 系统的3维视图 maap X/J >{^_]phlb
cj>@Jx}]M 6. 其他系统参数 @[^ 3yC# ■ 系统由单色平面波照明 (
fFrX_K] ■ 照明波长266.08nm *"^X)Y{c+l ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ]TrJ*~ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 i;HXz`vT7 — 一个虚拟屏位于焦平面 !WyJ@pFU^ — 光束尺寸探测器置于焦平面 SqAz(( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 dX?j/M- \%r#>8c8 V
FM[- h%j4(v}r{C }wf8y 7. 光线追迹系统分析器的结果 cC8$ oCR? oCo~,~kTR 光线经过整个光学系统的三维视图
X"Eqhl<t 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Dk\%,[4( oypLE=H >Iij,J5i orJ|Q3c)d @;EQ{d c<1$zQY! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 VmQ^F|
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 n[/D>Pi
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CX#d
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 puOMtCI
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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eGMw:H 9. 焦平面上的结果 0+0Y$;<
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 eHx {[J?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6?"Gj}|r
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm @G&oUhS
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 T:j41`g%s
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 I>MLI=[Kg A7QT4h&6 10. 总结 u9_?c
G- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OBF M70K ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R1*&rjB ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 li3X} ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 aR6~r^jB