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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) [[TB.'k  
    ~r|.GY  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 b6g,mzqu  
    l`,`N+FG  
    1. 描述 12cfqIo9  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {feS-.Khv  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,riwxl5*E/  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 @|5B  
    |a'Q^aT  
    2. 系统 -6)ywq^{z  
     Ya=QN<  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    BPi>SI0  
    3. 透镜系统组件编辑 u4Vc:n  
    8l)l9;4 6  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?F`lI""E  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 M: `FZ}&L  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0&EX -DbV  
    包括序列光学表面和光学介质。 t,MK#Ko  
    a>s v  
    A7: oq7b  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 TTqOAo[-Z  
    b6Ntt Y!3  
    )rj.WK.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L@G)K  
    可以选择选取光线的方法: uomFE(  
    — 在x-y-网格 R[#5E|` `9  
    — 六边形 ?g<*1N?:  
    — 自由选取 Y&gfe8%5N  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    P,wFib^1  
    XFBk:~}sI  
    5. 系统的3维视图 %DRDe  
    rJNf&x%6  
    hefV0)4K  
    6. 其他系统参数 l~f +h?cF  
    系统由单色平面波照明 O4-UVxv}  
    照明波长266.08nm 2$3BluK  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: e348^S&rG  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 e HOm^.gd  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 JWxPH5L  
    光束尺寸探测器置于焦平面 `SIJszqc  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 fWLsk  
    ` D4J9;|;]  
    XK&#K? M  
    Jg%sl& 65  
    OTV)#,occ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 h]'fX  
    ] c'owj  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    k $+&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    }1$8)zH  
    Ex*g>~e  
    s )To#  
    $G=\i>R.  
    s:fnOMv "  
    ~ 4&_$e!  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h eh! cDK  
    i.fDH57  
    q].C>R*ux8  
    VirtualLab可用于计算点列图。 V<d'psb 6  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2QBtwlQ?[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tG#F7%+E  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ltD:w{PO]  
    2_Pe/  
    9. 焦平面上的结果 uM4,_)L  
    x K_$^c.  
    (+Uo;)~!YC  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )}6:Ke)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 w=f8UtY9@A  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm b UWtlg  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 B 1p9pr  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Fx.uPY.a  
    b,K1EEJ  
    10. 总结 +SP5+"y@  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .y'OoDe  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K:9.fTCs*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $/d~bk@=l  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (d!vm\-PH  
     
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