示例.0082(1.0) [[TB.'k ~r|.GY 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 b6g,mzqu
l`,`N+FG 1. 描述 12cfqIo9 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {feS-.Khv ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,riwxl5*E/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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|a'Q^aT 2. 系统 -6)ywq^{z Ya=QN< 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
BPi>SI0 3. 透镜系统组件编辑 u4Vc:n
8l)l9;4 6
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?F`lI""E
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 M: `FZ}&L
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0&EX-DbV
■ 包括序列光学表面和光学介质。 t,MK#Ko
a>s v A7:
o q7b 4. 光线追迹系统分析器-选项 TTqOAo[-Z b6NttY!3 )rj.WK.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L@G)K
■ 可以选择选取光线的方法: uomFE(
— 在x-y-网格 R[#5E|` `9
— 六边形 ?g<*1N?:
— 自由选取 Y&gfe8%5N
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 P,wFib^1 XFBk:~}sI 5. 系统的3维视图 %DRDe rJNf&x%6
hefV0)4K 6. 其他系统参数 l~f +h?cF ■ 系统由单色平面波照明 O4-UVxv} ■ 照明波长266.08nm 2$3BluK ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: e348^S&rG — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 e HOm^.gd — 一个虚拟屏位于焦平面 JWxPH5L — 光束尺寸探测器置于焦平面 `SIJszqc
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 fWLsk ` D4J9;|;] XK&#K? M Jg%sl&65 OTV)#,occ 7. 光线追迹系统分析器的结果 h]'fX ] c'owj 光线经过整个光学系统的三维视图
k$+& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}1$8)zH Ex*g>~e s)To# $G=\i>R. s:fnOMv
" ~ 4&_$e! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 heh!cDK i.fDH57 q].C>R*ux8
■ VirtualLab可用于计算点列图。 V<d'psb6
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tG#F7%+E
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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2_Pe/ 9. 焦平面上的结果 uM4,_)L
xK_$^c.
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )}6:Ke)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 w=f8UtY9@A
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm bUWtlg
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 B1p9pr
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Fx.uPY.a b,K1EEJ 10. 总结 +SP5+"y@ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .y'OoDe ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K:9.fTCs* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $/d~bk@=l ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 (d!vm\-PH