示例.0082(1.0) tZ:fh p
&0OH:P% 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qKs"L^b
(i-L: 1. 描述 bUc++M ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;.7]zn.X]2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1czU$!MV ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3lgD,_&
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2. 系统 8x9;3{R /Ur]U
w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
GQ*or>R1 3. 透镜系统组件编辑 >n%ckL|rG
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4r9AU mJqw
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E/_n}$Z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QG09=GQ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 cpx:4R,
zvT8r(<n} cd4HbSp 4. 光线追迹系统分析器-选项 q[c^`5 5E2T*EXSh MgHO WoF
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3
op{h6
■ 可以选择选取光线的方法: %/RT}CBBsW
— 在x-y-网格 %%lJyLq'Vk
— 六边形 ~ _ko$(;A
— 自由选取 4cDe'9
LA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <M\#7.]( +aOX{1w 5. 系统的3维视图 .<6'*XR %\!@$]3q
*+ +}ll6 6. 其他系统参数 t5EYu* ■ 系统由单色平面波照明 mA5sK?W ■ 照明波长266.08nm COA>y? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: hdYd2
j — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 SI7r`'7A' — 一个虚拟屏位于焦平面 \sS0@gnDI — 光束尺寸探测器置于焦平面 'w_Qs~6~{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5zH_yZ@+ BKu<p< FMC]KXSd H )Ze{N v R!
y# 7. 光线追迹系统分析器的结果 ubl)$jZ:Q G1wJ]ar 光线经过整个光学系统的三维视图
^[b DE0 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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F)}brPc I\|.WrMNi o RK:{?Y H_w?+Rig 0_-P~^A 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 VBK |*Tl o>HGfr,N ;G*)7fi
■ VirtualLab可用于计算点列图。 z]!w@:
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 mnU8i=v0A
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2FR5RG
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
fRp(&%8E
1?,C d 9. 焦平面上的结果 =|H.r9-PK6
dAi.^! !
FDuIm,NI
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "lL/OmG
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 yn.[-
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 2fP;>0?
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }+K=>.
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?3<Y/Vg%c 7hT@,|(j 10. 总结 br*PB]dU ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 mcxD#+H 3 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 }U|Vpgd! ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y.%Vvg4z3 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 T[2<_ nn=