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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) wH&!W~M  
    ORw,)l  
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 zT]8KA   
    cd_yzpL@}J  
    1. 描述 dt]-,Y  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L|7R9+ZG  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Qx#"q'2  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w+|L+h3L7  
    #&aqKV Y  
    2. 系统 &)ChQZA  
    19)i*\+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    E7UU  
    3. 透镜系统组件编辑 {rw|#Z>A  
    VA_PvL.9  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'G4ICtHQ  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 X`>i& I]  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @o _}g !9=  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 "?xHlYj@+  
    m}t`FsB.  
    osAd1<EIC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 PiIpnoM  
    S`0(*A[W*  
    & l&:`nsJ  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 q,|j]+9q  
    ■ 可以选择选取光线的方法: 9}<ile7^  
    — 在x-y-网格 +gtbcF@rx  
    — 六边形 vJ[^  K  
    — 自由选取 Yujiqi]J;  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ]Ie 0S~  
    vMH  
    5. 系统的3维视图 "7F?@D$e  
    7' V@+5  
    kfY}S  
    6. 其他系统参数 K`zdc`/  
    ■ 系统由单色平面波照明 )yZ^[uJ}3C  
    ■ 照明波长266.08nm N +_t-5  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Yk Ki|k  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {@{']Y  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 MaQqs=  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 P* BmHz4KL  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 giw &&l=_  
    37.S\ gO]  
    9 -a0:bP  
    _9Te!gJ4_#  
    04P}-L,  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 s8t;.^1}  
    CxW>~O:  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    j-}O0~Jz  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    D.u{~  
    [<yaXQxl  
    fxHH;hRfv  
    `e&Suyf4B  
    @:vwb\azVD  
    i3mcx)d@H  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,<P vovg_  
    0znR0%~  
    #r\4sVg  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 0pd'93C  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =>v#4zFd  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H40p86@M  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 By4<2u38u  
    .?sx&2R2  
    9. 焦平面上的结果 mNTzUoZF'@  
    qqY"*uJ'  
    !?h;wR  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }(73Syl#  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (iX+{a%"  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm K Z91-  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 y??XIsF  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    WP'!*[z  
    dcN22A3  
    10. 总结 dkTX  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 +\ .Lp 5  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &B1WtW  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9qzHS~l  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 y_-0tI\J  
     
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