示例.0082(1.0) &c ~)z\$ . L%@/(r 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 d/QM
*heQ@ww 1. 描述 7)wq9];w
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5R
G5uH/-< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =B%e0M ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 hG3Lj7)UH
~,7R*71 2. 系统 r26Wysi~% ~Nh7C b_ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
v]S8!wU 3. 透镜系统组件编辑 - & r{%7
SVz.d/3Y
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 @eU/g![u
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !Ve3:OZ.nO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <9ph c
■ 包括序列光学表面和光学介质。 a,9GSKXo1
Xq^{P2\w1 vLS6Gb't 4. 光线追迹系统分析器-选项 }epN<DL p4_uY7^6 :\RB ^3;
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?&_\$L[
■ 可以选择选取光线的方法: #JM*QVzv
— 在x-y-网格 1Xc%%j
— 六边形 j
pV
— 自由选取 U++UG5 c
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nJC}wh2d# xbA2R4| 5. 系统的3维视图 D~>P/b)v{j =p$ Wo
+N:%`9}2V 6. 其他系统参数 IQ8AsV&'C ■ 系统由单色平面波照明 5o#8DIal ■ 照明波长266.08nm inrL'z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: nfB9M1Svn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u1<kdTxA
N — 一个虚拟屏位于焦平面 U"Oq85vY — 光束尺寸探测器置于焦平面 S0yT%V ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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: H\vO0 <X XwMC/]lK< |{Q,,<C ^;bkU|(`6 7. 光线追迹系统分析器的结果 Jsl,r+'H RR|Eqm3) 光线经过整个光学系统的三维视图
e#^by(1@} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
oY:>pxSz<@ zFIKB9NUn ,5:86'p H++rwVwj#h 50A_+f.7% B%/Pn
2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $'Z!Y;Ue M#m7g4*L ! :1Cc~+]w(u
■ VirtualLab可用于计算点列图。 P@#6.Bb#V
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G <q@K-
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 sMK/l @7
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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j?A+qk 9. 焦平面上的结果 }{"\"Bn_
MRc^lYj{
D~} 4N1
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *(rE<
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 j06DP _9M
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm A
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 I$&/?ns@O
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -~g3?!+Hb Yu=^`I 10. 总结 >vhyKq|g< ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ?W(f%/B# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Gmb57z&: ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jWz-7BO ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 yY+2;`CH