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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) w\}?(uO  
    -|rLs$V1r  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;l$ \6T  
    _4cvX  
    1. 描述  JMdPwI  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ma| qHg  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yUPIY:0  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 n&A'C\  
    lD{Aa!\  
    2. 系统 B^%1Rpcn  
    >&!RWH9*q  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Lr`1TH,  
    3. 透镜系统组件编辑 {,OS-g  
    R/`q/0T.  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L,; D@Xi  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7OW bAu;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;+1RU v  
    包括序列光学表面和光学介质。 ^*~;k|;&  
    ]59i>  
    +y 87~]]  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 X,8<oX1r  
    Z0De!?ALV\  
    sE{pzPq!  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >%E([:$A  
    可以选择选取光线的方法: mZIoaF>t  
    — 在x-y-网格 "n:{ !1VGw  
    — 六边形 2BCtJ`S`  
    — 自由选取 f&D]anf33  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    wv^rS^~  
    +\Q?w?DE|  
    5. 系统的3维视图 a}SdW  
    XYoIFv?'  
    -CH`>  
    6. 其他系统参数 !A1)|/ a@  
    系统由单色平面波照明 7*DMVok:  
    照明波长266.08nm I]!^;))  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?OdJqw0,G  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 e4FM} z[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wB>r (xQ'  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Il.Ed-&62  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 rw)kAe31  
    y$81Z q  
    .}')f;jH5<  
    `MP|Ovns:H  
    VDB;%U*D  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 H&b3{yOa  
    4lKVY<  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    C6_@\&OA  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #GaxZ  
    N)% ;jh:T  
    _ .i3,-l)  
    y$hp@m'@C  
    v6\F Q9|t  
    d7Ur$K\=y  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bN^O }[  
    }B7K@Wu#  
    fQ>4MKLw=d  
    VirtualLab可用于计算点列图。 :T3/yd62N  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0:KE@=  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 eK/?%t  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 aj,)P3DJu  
    ]<DNo&fw  
    9. 焦平面上的结果 9s +z B  
    6B$q,"%S@  
    vhr+g 'tf  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 mYB`)M*Y  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 E99CmG|"  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm "x'),  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /\mKY%kyh  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    *s}|Hy  
    ea=83 Zj  
    10. 总结 #0b&^QL  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 RnfXN)+P  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 wxLXh6|6%_  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5sde  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 IGX:H)&*  
     
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