示例.0082(1.0) w\}?( uO -|rLs$V1r 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ;l$ \6T
_4 cvX 1. 描述 JMdPwI ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ma|qHg ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yUPIY:0 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 n&A'C\
lD{Aa!\ 2. 系统 B^%1Rpcn >&!RWH9*q 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Lr`1TH, 3. 透镜系统组件编辑 {,OS-g
R/`q/0T.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L,;D@Xi
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7OWbAu;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;+1RUv
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ^*~;k|;&
]59i> +y 87~]] 4. 光线追迹系统分析器-选项 X,8<oX1r Z0De!?ALV\ sE{ pzPq!
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >%E([:$A
■ 可以选择选取光线的方法: mZIoaF>t
— 在x-y-网格 "n:{!1VGw
— 六边形 2BCtJ`S`
— 自由选取 f&D]anf33
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wv^rS^~ +\Q?w?DE| 5. 系统的3维视图 a}Sd W XYoIFv?'
-CH`> 6. 其他系统参数 !A1)|/a@ ■ 系统由单色平面波照明 7*DMVok: ■ 照明波长266.08nm I]!^;)) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?OdJqw0,G — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 e4FM} z[ — 一个虚拟屏位于焦平面 wB>r(xQ' — 光束尺寸探测器置于焦平面 Il.Ed-&62 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 rw)kAe31 y$81Zq .}')f;jH5< `MP|Ovns:H VDB;%U*D 7. 光线追迹系统分析器的结果 H&b3{yOa 4lKVY< 光线经过整个光学系统的三维视图
C6_@\&OA 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#GaxZ N)% ;jh:T _ .i3,-l) y$hp@m'@C v6\F
Q9|t d7Ur$K\=y 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bN^O}[ }B7K@Wu# fQ>4MKLw=d
■ VirtualLab可用于计算点列图。 :T3/yd62N
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0:KE@=
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 eK /?%t
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
aj,)P3DJu
]<DNo&fw 9. 焦平面上的结果 9s
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 mYB`)M*Y
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 E99CmG|"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm "x'),
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /\mKY%kyh
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *s}|Hy ea=83 Zj 10. 总结 #0b&^QL ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 RnfXN)+P ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 wxLXh6|6%_ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5sde ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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