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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) D,R"P }G  
    X#v6v)c  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 {`RCh]W  
     jEK{QOq0  
    1. 描述 Z`jc*jgy  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .J=<E  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 SZ$~zT;c  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 M3m)uiz  
     [f._w~  
    2. 系统 ^@91BY  
    "~V|p3  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    6gr?#D -F  
    3. 透镜系统组件编辑 IOL5p*:gz  
    J}zN]|bz  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ~F)[H'$A  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 +K2p2Dw(k  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 KOv?p@d  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 <GdQ""X  
     le7!:4/8  
    +"yt/9AO  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 n]nb+_-97  
    @m`1Vq?O  
    w'i8yl bZ  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V1l9T_;f  
    ■ 可以选择选取光线的方法： QmiS/`AAv  
    — 在x-y-网格 QV%,s!_b  
    — 六边形 pnTuYT^%)  
    — 自由选取 +uqP:z  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     5w9oMM {  
    +.3,(l  
    5. 系统的3维视图 fkHCfcU  
    }57d3s  
    I d}@  
    6. 其他系统参数 W{!Slf  
    ■ 系统由单色平面波照明 *B*dWMh  
    ■ 照明波长266.08nm }L|cg2y  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： GZx?vSoHh  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K lbUs\E  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 35}]U=  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 (?ofL|Cg(  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 L"x9O'U  
    M/x*d4b_  
    .ng:Z7  
    ]"X} FU  
    nW"ml$  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 4*9WxhJ ]0  
    b!l/O2 G  
    光线经过整个光学系统的三维视图
     \X]  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    o|njgmF;\  
    ;p8,=w  
    U#gv ~)\k  
    /4{.J=R}  
    -egu5#d>  
    r>kDRIHB  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 uzO3_.4Y  
    ] RLEyDB  
    LVAnZ'h/|  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 *nYb9.T]i  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'kE^oX_  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^(.utO  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 *{%d{x}l  
      1k39KO@  
    9. 焦平面上的结果  $hgsWa  
    WEZ)>[Xj?  
    ;FH_qF`.  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .4cOMiG  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 B`;DAsmT  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ffibS0aM  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ?YA5g' l  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     t=6Wk4  
    !vwx0  
    10. 总结 Z:kX9vw.  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 jPyhn8Vw  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 FZJyqqA$_  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :978D0}{p  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 P%^\<#Ya7  
     
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