示例.0082(1.0) ei5~& @ur+;IK$ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 tFl"n;~T
sUm' 1. 描述 #LN`X8Wz' ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 j1HW._G ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 XBw)H ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9Lfv^V0
Fea(zJ_ 2. 系统 FNId; mlS$>O_aX 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
G<;*SYAb 3. 透镜系统组件编辑 uA#;G/$
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y L~W.H
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rk)`\=No
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Jqi%|,/] N
■ 包括序列光学表面和光学介质。 h3@v+Z<}
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7DV 7i1q wRv 4. 光线追迹系统分析器-选项 t@+}8^M $]2vvr r-/`"j{O!
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 W'u>#
■ 可以选择选取光线的方法: MR.'t9m2L
— 在x-y-网格 *siFj
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— 六边形 N=g"(%
— 自由选取 S?BG_J6A7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Lbb0_-'] t.\dpBq 5. 系统的3维视图 U\!X,a*ts{ =zs`#-^8
}f7j8py 6. 其他系统参数 6/dI6C! ■ 系统由单色平面波照明 DkAAV9* ■ 照明波长266.08nm t#eTV@- ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )TM4R)r%)9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 r0 uwPf — 一个虚拟屏位于焦平面 "`1bA"E — 光束尺寸探测器置于焦平面 8BNi1Qn$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 WvZ8/T'x ^&Y#)II ?p8_AL'RS "i W"NFO ,UdVNA 7. 光线追迹系统分析器的结果 WQO) =n K8Y=S12Ti 光线经过整个光学系统的三维视图
jdJ>9O0A, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
OprkR Jma1N;d [0D.K}7| )q3p-)@kQ fvxu#m= Aj]V`B:65 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Xh;# HT1!5 "kgdbAZ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 G+\GaY[
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fPW@{~t
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 L4y4RG/SJ:
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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))'<_nD 9. 焦平面上的结果 *,WU?tl&
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 3WIk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 G{%L B}2
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]f9Cx\d:k
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 yd`mG{Z
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 WlBc.kFck SQt4v" 10. 总结 =P
#] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 F6flIG&h ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -Wi` G
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x>`%DwoRI ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <
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