示例.0082(1.0) j1[Ng #. Bi}uL)~rD 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B49:
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\gz(C`4{j 1. 描述 XPJsnu ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 EI+RF{IKh ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {owXyQ2mK ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 2bu,_<K.
rV6&: \ 2. 系统
6z-ZJ|? gX29c 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
FM{^ND9x 3. 透镜系统组件编辑 18*M
pl#2JA8
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /\7E&n:)2
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2A>s
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \mK;BWg)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 `!BP.-Zv
7'IcgTWDZy h7r*5E 4. 光线追迹系统分析器-选项 P8&BtA :mYVHLmea w.7pD
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 HB|R1<t;HB
■ 可以选择选取光线的方法: !841/TR b
— 在x-y-网格
_'Jz+f.
— 六边形 MUQj7.rNa
— 自由选取 Jy^.L$bt
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >O;V[H2[ LyR bD$m 5. 系统的3维视图 ;!~&-I0l pY~/<lzW
0Dt-!Q7 6. 其他系统参数 _^%DfMP3i\ ■ 系统由单色平面波照明 7.mYzl-F( ■ 照明波长266.08nm =Ch^;Wyt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2gasH11M — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ID_#a9N — 一个虚拟屏位于焦平面 `erKHZ]S — 光束尺寸探测器置于焦平面 twWzS
4; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^-^ii3G` MlKSjKl" ! -P6Z[V% =&K8~
7g7[a/Bts 7. 光线追迹系统分析器的结果 z7X,5[P S+ 3lX7 光线经过整个光学系统的三维视图
=w5]o@ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
''Y'ZsQ; %lK/2- `GU Gy. b |Cm6RH$( yM2}JsC le|Rhs%Z% 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]N;\AXZ7 (Q?@LzCjy ,,c+R?D
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /lS5B6NU
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $TX]*hNn
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 : Tcvj5
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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L$z(&%Nx 9. 焦平面上的结果 /(u# D[
G' '9eV$
*x-@}WY$U
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O))YJh"'_
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 r_hs_n!6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm B,fVNpqo
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ^M)+2@6
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `iNH`:[w -pHUC't 10. 总结 #LR.1zZ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8F
K%7\V ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -A,UqEt ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 c6T[2Ig ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 az1#:Go