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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) j1[Ng #.  
    Bi}uL)~rD  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B49: R >  
    \gz(C`4{j  
    1. 描述 XPJsnu  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 EI+RF{IKh  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {owXyQ2mK  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 2bu,_<K.  
    rV6&:\  
    2. 系统 6z-ZJ|?  
    gX29c  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    FM{^ND9x  
    3. 透镜系统组件编辑 1 8*M  
    pl#2J A8  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /\7E&n:)2  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2A>s a3\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \mK;BWg)  
    包括序列光学表面和光学介质。 `!BP.-Zv  
    7'IcgTWDZy  
    h7 r *5E  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 P8& BtA  
    :mYVHLmea  
    w.7p D  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 HB|R1<t;HB  
    可以选择选取光线的方法: !841/TRb  
    — 在x-y-网格  _'Jz+f.  
    — 六边形 MUQj7.rNa  
    — 自由选取 Jy^.L$bt  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    >O;V[H2[  
    LyRbD$m  
    5. 系统的3维视图 ;!~&-I0l  
    pY~/<lzW  
    0Dt-!Q7  
    6. 其他系统参数 _^%DfMP3i\  
    系统由单色平面波照明 7.mYzl-F(  
    照明波长266.08nm =Ch^;Wyt  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2gasH11M  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ID_#a9N  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `erKHZ]S  
    光束尺寸探测器置于焦平面 twWzS 4;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^-^ii 3G`  
    MlKSjKl" !  
    -P6Z[ V%  
    =&K8~   
    7g7[a/Bts  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 z7X,5[P  
    S+ 3l X7  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    =w5]o@  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ''Y'ZsQ;  
    % lK/2-  
    `GUGy.b  
    |Cm6RH$(  
    yM2}J s C  
    le|Rhs%Z%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]N;\AXZ7  
    (Q?@LzCjy  
    ,,c+R?D  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /lS5B6NU  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $TX]*hNn  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :Tcvj5  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0FcG;i+  
    L$z(&%Nx  
    9. 焦平面上的结果 /(u# D[  
    G' '9eV$  
    *x-@}WY$U  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O))YJh"'_  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 r_hs_n!6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm B,fVNpqo  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ^M)+2@6  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `iN H`:[w  
    -pHUC't  
    10. 总结 #LR.1zZ  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8F K%7\V  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -A,UqEt  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 c6T[2Ig  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 az1#:Go  
     
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