示例.0082(1.0) HD j6E" #{i*9' 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4~fYG| a
Jf YgZ\# 1. 描述 5pQpzn= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2Tp2{"sB>A ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i|:!I)(lh ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Z#[?~P
JEjxY& 2. 系统 $dC`keQM>9 %rwvY`\ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6VW*8~~Xy 3. 透镜系统组件编辑 Dqy`7?Kn
v$ ti=uk$
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ug3\K83aj/
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \ .xS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b8WtNVd
■ 包括序列光学表面和光学介质。 jn(x-fj6R
l\<.*6r 7|,L{~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 A3]A5s6 ASqYA1p. B[b>T=
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -Vn#Ab_C
■ 可以选择选取光线的方法: R)NSJ-A!2
— 在x-y-网格 Yy *=@qu>g
— 六边形 Ho &Q}<(
— 自由选取 g'.OzD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PTe L3L n!)$e;l 5. 系统的3维视图 7;jD>wp9D ,i:?c
eL3 _Lz 6. 其他系统参数 [LoQYDku ■ 系统由单色平面波照明 =j.TDv'^nd ■ 照明波长266.08nm g~hMOI?KK^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c'oiW)8;A — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O<S.fr, — 一个虚拟屏位于焦平面 xf,[F8 2y — 光束尺寸探测器置于焦平面 erH,EE^-x< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \VpEUU6^U us.#|~i<h VF`!ks 5kGniG?T# >|taU8^|G} 7. 光线追迹系统分析器的结果 m8sd2&4 #Oka7.yz 光线经过整个光学系统的三维视图
25>R^2,LiE 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$1yy;IyR ;Y7'U rn nPyn~3 VbX P7bZ sT^R0Q'> \.L jA_ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Oe5rRQ$O o=rR^Z$G :>FN|fz
■ VirtualLab可用于计算点列图。 EGXvz)y
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2Q6;SF"Z
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w;'XqpP$*|
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
)re<NE&M
s"jvO>[ 9. 焦平面上的结果 =gVMt
2!#g\"
Xm#W}Y'
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "OLg2O^
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nxZz{&
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Kd:l8%+
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 3x~7N
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
SkjG} r8 9o 10. 总结 qPDNDkjDD ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N@d~gE&^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5wue2/gl ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Skr(C5T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 p%DU1+SA