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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) HD j6E"  
    #{i*9'  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4~fYG|a  
    Jf YgZ\#  
    1. 描述 5pQpzn =  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2Tp2{"sB>A  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i|:!I)(lh  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Z #[?~P  
    JEjxY&  
    2. 系统 $dC`keQM>9  
    %rwvY`\  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    6VW *8~~Xy  
    3. 透镜系统组件编辑 Dqy`7?Kn  
    v$ ti=uk$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ug3\K83aj/  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \ .xS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b8WtNVd  
    包括序列光学表面和光学介质。 jn(x-fj6R  
    l\<.*6r  
    7|,L{~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 A3]A5s6  
    ASqYA1p.  
    B[b>T=  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -Vn#Ab_C  
    可以选择选取光线的方法: R)NSJ-A!2  
    — 在x-y-网格 Yy*=@qu>g  
    — 六边形 Ho &Q }<(  
    — 自由选取 g'.OzD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    PTe L3L  
    n !)$e;l  
    5. 系统的3维视图 7;jD>wp 9D  
    ,i:?c  
    eL3 _Lz  
    6. 其他系统参数 [LoQYDku  
    系统由单色平面波照明 =j.TDv'^nd  
    照明波长266.08nm g~hMOI?KK^  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c'oiW)8;A  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O<S.fr,  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 xf,[F8 2y  
    光束尺寸探测器置于焦平面 erH,EE^-x<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \VpEUU6^U  
    us.#|~i<h  
    VF`!ks  
    5kGniG?T#  
    >|taU8^|G}  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 m8sd2&4  
    #Oka7.yz  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    25>R^2,LiE  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $1yy;IyR  
    ;Y7' U rn  
    nPyn~3  
    VbX P7bZ  
    sT^R0Q'>  
    \.Lj A_  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Oe5rRQ$O  
    o=rR^Z$G   
    :>FN|fz  
    VirtualLab可用于计算点列图。 EGXvz)y  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2Q6;SF"Z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w;'XqpP$*|  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )r e<NE&M  
    s"jvO>[  
    9. 焦平面上的结果 =gVMt  
    2!#g\"  
    Xm#W}Y'  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "OLg2O^  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nxZz{&  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Kd:l8%+  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 3x~7N  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    SkjG}  
    r8 9o  
    10. 总结 qPDNDkjDD  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N@d~gE&^  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5wue2/gl  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Skr (C5T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 p%DU1+SA  
     
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