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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ei5~&  
    @ur+;IK$  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 tFl"n;~T  
    sUm'  
    1. 描述 #LN`X8Wz'  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 j 1HW._G  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 XBw)H  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9Lfv^V0  
    Fea(zJ_  
    2. 系统 FNId ;  
    mlS$>O_aX  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    G<;*SYAb  
    3. 透镜系统组件编辑 uA#;G/$  
    maR"t+  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y L~W.H  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rk)`\=No  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Jqi%|,/]N  
    包括序列光学表面和光学介质。 h3@v+Z<}  
    Mh 7DV  
    7i1q wRv  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 t@+}8^ M  
    $]2vvr  
    r-/`"j{O!  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 W'u>#  
    可以选择选取光线的方法: MR.'t9m2L  
    — 在x-y-网格 *s iFj CN<  
    — 六边形 N=g"(%  
    — 自由选取 S?BG_J6A7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Lbb0_-']  
    t.\dpBq  
    5. 系统的3维视图 U\!X,a*ts{  
    =zs`#-^8  
    }f7j 8py  
    6. 其他系统参数 6/dI6C!  
    系统由单色平面波照明 DkAAV9*  
    照明波长266.08nm t#eTV@-  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: )TM4R)r%)9  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 r0 uwPf  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 "`1bA"E  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8BNi1Qn$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 WvZ8/T'x  
    ^&Y#)II  
    ?p8_AL'RS  
    "i W"NFO  
    ,U dVNA  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 WQO) =n  
    K8Y=S12Ti  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    jdJ>9O0A,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    OprkR  
    Jma1N;d  
    [0D .K}7|  
    )q3p-)@kQ  
    fvxu#m=  
    Aj]V`B:65  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Xh;#  
    HT1!5  
    "kgdbAZ  
    VirtualLab可用于计算点列图。 G+\GaY[  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fPW@{~t  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 L4y4RG/SJ:  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qPfQy  
    ))'<_nD  
    9. 焦平面上的结果 *,WU?tl&  
    / FEVmH?  
    aPbE;" f  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 3WIk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 G {%LB}2  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ]f9Cx\d:k  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 yd`mG{Z  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    WlBc.kFck  
    SQt 4v"  
    10. 总结 =P #]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 F6 flIG&h  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -Wi` G  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x>`%DwoRI  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 < F+l  
     
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