示例.0082(1.0) OT3;qT*fw S)|b%mVwR 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H^:|`T|,
NT/B4'_@ 1. 描述 0%NI-
Zyo ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m e{SVG{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 g9Gy3zk= ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E"&9FxS]^
_N';`wjDY 2. 系统 J4 #]8!A wu&7#![, 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
#zs\Z]3# 3. 透镜系统组件编辑 RcP5].^T
{=7i}xY]T
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |UO;StF
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F]#fl%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 f.^w/ GJO/
■ 包括序列光学表面和光学介质。 U/o}{,$A
s2=X>,kz? nn%xN\~< 4. 光线追迹系统分析器-选项 !T. @ H H3 JhIK$Ti
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a`Zf_;$@
■ 可以选择选取光线的方法: yv4PK*
— 在x-y-网格 gj
X1b2
— 六边形 'FFc"lqj
— 自由选取 <U pjAuG8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (SA*9% 3y ,?>- 5. 系统的3维视图 Ps\^OJR |h/2'zd^-
uZI a-b 6. 其他系统参数 mDfWR ■ 系统由单色平面波照明 ??V["o T ■ 照明波长266.08nm :zRboqe(cc ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q*(o;\s — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hiHp@"l< — 一个虚拟屏位于焦平面 .9Fm>e+!C — 光束尺寸探测器置于焦平面 g>zL{[e! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 oyw1N;K 1hi j4m$b 1_lL?S3,a@ epyfggMT q/?_djv 7. 光线追迹系统分析器的结果 Y&:i^k vrbh+ 光线经过整个光学系统的三维视图
`Cxe`w4 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
hhhO+D1( qr6jn14.c #mYxO p#2th`M:P1 ||aU>Wj4 063;D+ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 I r~X#$Upc 2_X0Og8s[ GNOC5 E$I
■ VirtualLab可用于计算点列图。 N<99K!
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 vE(Hy&Q&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e_V(G
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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)K~nZLULY 9. 焦平面上的结果 'zK*?= ^jk
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (.o'1'
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gzF&7trN
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm za7wNe(s
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 K#r`^aUc
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 7I|Mq bAp`lmFI 10. 总结 GWKefH ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 rY}ofq7b ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -;}Wm[
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Gj 3/&'k6 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 p<4':s;*