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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) OT3;qT*fw  
    S)|b%mVwR  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H^:|`T|,  
    NT/B4'_@  
    1. 描述 0%NI- Zyo  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m e{SVG{  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 g9Gy3zk=  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E"&9FxS]^  
    _N';`wjDY  
    2. 系统 J4#]8!A  
    wu&7#![,  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    #zs\Z]3#  
    3. 透镜系统组件编辑 RcP5].^T  
    {=7i}xY]T  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |UO;St F  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  F]#fl%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 f.^w/ GJO/  
    包括序列光学表面和光学介质。 U/o}{,$A  
    s2=X>,kz?  
    nn%xN\~<  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !T . @  
    H H3  
    JhIK$Ti  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a`Z f_;$@  
    可以选择选取光线的方法: yv4PK*  
    — 在x-y-网格 gj X1b2  
    — 六边形 'FFc"lqj  
    — 自由选取 <U pjAuG8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    (SA*9%  
    3y,?>-  
    5. 系统的3维视图 Ps\^OJR  
    |h/2'zd^-  
    uZI a-b  
    6. 其他系统参数 mDf WR  
    系统由单色平面波照明 ??V["o T  
    照明波长266.08nm :zRboqe(cc  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q*(o;\s  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hiHp@"l<  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 .9Fm>e+!C  
    光束尺寸探测器置于焦平面 g>zL{[e!  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 oyw1N;K  
    1hij4m$b  
    1_lL?S3,a@  
    epyfgg MT  
    q /?_djv  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Y&:i^k  
    vrbh+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    `Cxe`w4  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    hhhO+D1(  
    qr6jn14.c  
    #mYxO  
    p#2th`M:P1  
    ||aU>Wj4  
    063;D+  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 I r~X#$Upc  
    2_X0Og8s[  
    GNOC5 E$I  
    VirtualLab可用于计算点列图。 N<99K!   
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 vE(Hy&Q&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e_V(G  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |e&Kg~~C  
    )K~nZLULY  
    9. 焦平面上的结果 'zK*?= ^jk  
    mGvP9E"&  
    `l#g`~L  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (.o'1 '  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gzF&7trN  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm za7wNe(s  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 K#r` ^aUc  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
     7I|Mq  
    bAp`lmFI  
    10. 总结 GWKefH  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 rY}ofq7b  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -; }Wm[  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Gj3/&'k6  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 p<4':s;*  
     
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