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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ,jJbQIu#  
    k~=W1R%  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 # 5b   
     q 1~3T;Il  
    1. 描述 ueLdjASJ  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4%>2 >5  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 h"4i/L3aAh  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &w{: qBa  
     ~mk>9Gp  
    2. 系统 6\NBU,lY  
    6I-Qq?L[H  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    S&{#sl#e  
    3. 透镜系统组件编辑 dw3H9(-lp  
    !BEl6h  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 C7_nA:Rc  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 @!,W]?{  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 \!df)qdu  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 66l+cb  
     t$(<9  
    `Oe"s_O#  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {8w,{p`  
    ;bYLQ  
    AR6hfdDDT  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 O=\`q6l  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 9k3RC}dEr  
    — 在x-y-网格 Ct9dV7SH  
    — 六边形 QP<vjj%  
    — 自由选取 EzGO/uZ]  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     &e;GoJ  
    VPUm4%?p$  
    5. 系统的3维视图 g$^I/OK?  
    bI+ TFOP  
    2A(IsUtqO:  
    6. 其他系统参数 >36>{b<'$*  
    ■ 系统由单色平面波照明 O%m>4OdH  
    ■ 照明波长266.08nm 04@?Jb1*  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： NzG] nsw  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Cd'K~Ch3  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 4nU+Wj?T  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 #KwK``XC 4  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 O[\obi"}  
    r 9whW;"q  
    D |9ItxYu  
    ' qN"!\  
    {7+y56[yu  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 o`~ %}3  
    2_ CJV  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    :i/uRR  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    vl:V?-sY  
    lvk r2Meu<  
    qTrb)95  
    -"/l)1ox,  
    G\/7V L  
    "cx#6Bo|  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %-#rzeaW  
    3mH(@ -OA  
    BOWR}n!g  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 s#%P9A  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SEsLJ?Dv0  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "Is0:au+?}  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 H@V+Q}  
     !R3ZyZcX  
    9. 焦平面上的结果 Iv51,0A  
    `xie/  
    +hz S'z)n&  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )=6o  ,  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 qN(,8P\90  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r>;6>ZMe  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 %tT=q^%5  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     wfrSI:+>  
    JQk][3Rv  
    10. 总结 Is#w=s}2  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 q !Nb-O{  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 al{}p  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9P\R?~3  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 * $v`5rP  
     
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