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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :% m56  
    >5c38D7k)  
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (BG wBL  
    X7Z=@d(  
    1. 描述 |J:kL3g  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @5:#J !  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L2}p<?f  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f~ -qjEWm  
    Q@aDa8Z  
    2. 系统 .jK,6't^  
    (\o &Gl  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    FesUE_L2$  
    3. 透镜系统组件编辑 9>7w1G#  
    dR@XwEpP  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <<~swN  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 x4^* YZc$,  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x$+g/7*  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 [Zj6v a  
    *h)|K s  
    0Ma3  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 sMHP=2##  
    /Ps5Og  
    s_RUb  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 8Luw< Q  
    ■ 可以选择选取光线的方法: sRaTRL2  
    — 在x-y-网格 [\,Jy8t)\  
    — 六边形 6 ~.{~+Bd  
    — 自由选取 d6vls7J/4  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ?f&O4H  
    8h'*[-]70u  
    5. 系统的3维视图 .z}*!   
    >#EOCo  
    1%Su~Z"W>  
    6. 其他系统参数 1!p7N$QR  
    ■ 系统由单色平面波照明 ||^+(  
    ■ 照明波长266.08nm 0jmPj   
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >^ TcO  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 i=AQ1X\s  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 uB>OS 1=  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Qoom[@$  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >NMq^J'/  
    :=e"D;5  
    rJw Ws  
    bW?cb5C  
    b 67l\L  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 4ztU) 1  
    cVuT|b^  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    "?r_A*U  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    y41,T&ja  
    X3Yi|dyn T  
    }zy h!  
    =kDh:&u%  
    @;`d\lQ  
    bD4aSubN  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 CA]u3bf~  
    u=f}t=3  
    n?}7vz;  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 G' 0JK+=o  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 eiJ~1H X)  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 1^AG/w  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 YF6 8 Ax]  
    I'e`?H t  
    9. 焦平面上的结果 ,}a'h4C  
    gH:+$FA  
    Ux+UcBKm-  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B'8T+qvA  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 v&r\Z @%  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 2f0qfF  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ?~=5 x  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    < gu>06  
    K %.>o  
    10. 总结 e!oL!Zg  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ? 5<x$YI  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0@/C5 v  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (g3@3.Kk)  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k<QZ_*x}G  
     
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