示例.0082(1.0) :% m56 >5c38D7k) 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (BG
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X7Z=@d( 1. 描述 |J:kL3g ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @5:#J! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L2}p<?f ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f~-qjEWm
Q@aDa 8Z 2. 系统 .jK,6't^ (\o &Gl 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
FesUE_L2$ 3. 透镜系统组件编辑 9>7w1G#
dR@XwEpP
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <<~swN
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 x4^*YZc$,
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x$+g/7*
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [Zj6v a
*h)|Ks 0Ma3 4. 光线追迹系统分析器-选项 sMHP=2## /Ps5Og s_RUb
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 8Luw<Q
■ 可以选择选取光线的方法: sRaTRL2
— 在x-y-网格 [\,Jy8t)\
— 六边形 6~.{~+Bd
— 自由选取 d6vls7J/4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?f&O4H 8h'*[-]70u 5. 系统的3维视图 .z}*!
>#EOCo
1%Su~Z"W> 6. 其他系统参数 1!p7N$QR ■ 系统由单色平面波照明 ||^+( ■ 照明波长266.08nm 0jmPj ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >^TcO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 i=AQ1X\s — 一个虚拟屏位于焦平面 uB>OS1= — 光束尺寸探测器置于焦平面 Qoom[@$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >NMq^J'/ :=e"D;5 rJw
Ws bW?cb5C b 67l\L 7. 光线追迹系统分析器的结果 4ztU) 1 cVuT|b^ 光线经过整个光学系统的三维视图
"?r_A*U 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
y41,T&ja X3Yi|dyn T }zyh! =kDh: &u% @;`d\lQ bD4aSubN 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 CA]u3bf~ u=f}t=3 n?}7vz;
■ VirtualLab可用于计算点列图。 G'0JK+=o
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 eiJ~1HX)
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 1^AG/w
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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I'e`?H t 9. 焦平面上的结果 ,}a'h4C
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Ux+UcBKm-
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B'8T+qvA
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 v&r\Z @%
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 2f0qfF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ?~=5x
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <gu>06 K %.>o 10. 总结 e!oL!Zg ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ?5<x$YI ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0@/C5 v ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (g3@3.Kk) ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k<QZ_*x}G