示例.0082(1.0) G{
mC7@ RHNk%9 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 KhM.Tc
J^3H7 ]
1. 描述 CHaE;olo ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .\5$MIF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 keqcV23k ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rj H`
W."f8ow 2. 系统 .`C
V^\ S]2 {ZDP 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[>w%CY<Fd 3. 透镜系统组件编辑 #o[\Dwu
.gT4_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 N\R=cwk
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F,v7ifo#f
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m4/}Jx[
■ 包括序列光学表面和光学介质。 .2X2b<%)
XT||M)# m)f|:MM 4. 光线追迹系统分析器-选项 uu}-"/<~7 YBSl-G' mtw9AoO
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |f NMs
■ 可以选择选取光线的方法: Hq
xK\m%,.
— 在x-y-网格 LV.&>@*
— 六边形 IL2r9x%
— 自由选取 ,$Tk$
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,k*F`.[ elbG\qXBp 5. 系统的3维视图 v["3 u@D.i4U
~Fx&)kegTo 6. 其他系统参数 H~m]nV,r ■ 系统由单色平面波照明 #pu}y,QN$ ■ 照明波长266.08nm `-D$Fsl ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: r'd/qnd — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 my,x9UPs — 一个虚拟屏位于焦平面 c$#GM57V — 光束尺寸探测器置于焦平面 |s`Kd-'|q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /J;]u3e| H7jTQW0rp5 .;slrg(5F v&2+'7]w
r rv?!y8\ 7. 光线追迹系统分析器的结果 /c^e&D :r39wFi 光线经过整个光学系统的三维视图
#{w5)|S#JD 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
;o >WXw (rMZ "%kGRHq s]bPV,"p tw86:kYEz tDU}rI8? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k5s ?lWH 6!RikEAh N
^f}ui i
■ VirtualLab可用于计算点列图。 xA9V$# d|
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ._ih$=
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =phiD&=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
m >hovikY*
"7?t)FOo 9. 焦平面上的结果 \^m.dIPdO
;/aB)JZ5=
6JWGu/A
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5U;nhDmM
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e/P4mc)
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7*g(@d
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 =g[H]-Ee
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 kdd7Xbw- wXcMt>3 10. 总结 uOb2npPj ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 dh?S[|=' ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 1)gv%_ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cb4b,Ri ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 :Lc3a$qtx5