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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) G { mC7@  
    RHNk%9  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 KhM.Tc  
    J^3H7 ]  
    1. 描述 CHaE;olo  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 . \5$MIF  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 keqcV23k  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rj  H`  
    W."f 8ow  
    2. 系统 .`C V^\  
    S]2 {ZDP  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [>w%CY<Fd  
    3. 透镜系统组件编辑 #o[\Dwu  
     . gT4_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 N\R=cwk  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F,v 7ifo#f  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m4/}Jx[  
    包括序列光学表面和光学介质。 .2X2b<%)  
    XT||M)#  
    m)f|:MM  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 uu}-"/<~7  
    YBSl-G'  
    mtw9AoO  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |f NMs  
    可以选择选取光线的方法: Hq xK\m%,.  
    — 在x-y-网格 LV.&>@*  
    — 六边形 IL2r9x%  
    — 自由选取 ,$Tk$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ,k*F`.[  
    elbG\qXBp  
    5. 系统的3维视图 v["3  
    u@D .i4U  
    ~Fx&)kegTo  
    6. 其他系统参数 H~m]nV,r  
    系统由单色平面波照明 #pu}y,QN$  
    照明波长266.08nm `-D$Fsl  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: r'd/qnd  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 my,x9UPs  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 c$#GM57V  
    光束尺寸探测器置于焦平面 |s`Kd-'|q  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /J;]u3e|  
    H7jTQW0rp5  
    .;slrg(5F  
    v&2+'7]w r  
    rv?!y8\  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 /c^e& D  
    :r39wFi  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    #{w5)|S#JD  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ;o >WXw  
    (rMZ  
    "%kG RHq  
    s]bPV,"p  
    tw86:kYEz  
    tDU}rI8?  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k5s?lWH  
    6!RikEAh  
    N ^f}ui i  
    VirtualLab可用于计算点列图。 xA9V$#d|  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ._ih$=   
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 =phiD&=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 m >hovikY*  
    "7?t)FOo  
    9. 焦平面上的结果 \^m.dIPdO  
    ;/aB)JZ5=  
    6JWGu/A  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5U;nhDmM  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e/P4mc)  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 7*g(@d  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 =g[H]-Ee  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    kdd7X bw-  
    wXcMt>3  
    10. 总结 uOb2npPj  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 dh?S[|='  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 1)gv%_  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cb4b, Ri  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 :Lc3a$qtx5  
     
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