示例.0082(1.0) w/HGmVa \[w82%U 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 q@x{6zj
Jm8#M z 1. 描述 G.a^nQ@e% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ni[2 p ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lvz&7Z b ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 0UvN ws
NPM}w! 2. 系统 v='h :kDHwYv$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@OlV6M;qJ 3. 透镜系统组件编辑 Dh|8$(Jt
wZm=h8d
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VL/%D*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @^$Xy<x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QX'/PO
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Q1Sf7)
?B2 T'}~ CKv[E 4. 光线追迹系统分析器-选项 =%YU~ 5h^U ]Y# FU|c[u|z
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FXPw 5
■ 可以选择选取光线的方法: n^;:V8k
— 在x-y-网格 W|@/<K$V
— 六边形 el*C8TWlw
— 自由选取 S/|'ggC
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Cu0N/hBT :*"0o{
ie 5. 系统的3维视图 o5\nqw^ }F1|&
A
AopCxaJ` 6. 其他系统参数 *1}'ZEaJ ■ 系统由单色平面波照明 Fa$ pr` ■ 照明波长266.08nm )}
y1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H1'`*
}V — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 dD3I. ?DY — 一个虚拟屏位于焦平面 >uuP@j — 光束尺寸探测器置于焦平面 RbJ,J)C> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 42?X)n> `n]y"rj' P"%i 4-S WVp7H Oc;0*v[I 7. 光线追迹系统分析器的结果 fMn7E8. m?G}%u 光线经过整个光学系统的三维视图
dQR2!yHEq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
;K[`o/#4" z./M^7v? /I3#WUc;![ xQa[bvW h1Ca9Z_ !Jw 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /H=fK #~54t0|Cd> q79)nhC F
■ VirtualLab可用于计算点列图。 &_
Ewu@4
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $Xw .iN]g
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w8*+l0
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Cd.pMoS
ul+
+h4N 9. 焦平面上的结果 .9WJ/RKZ\D
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 . \*Z:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4`G":nE?We
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm kIV/o
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 12aAO|]/~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Zr_{Z@IpU m,v"N%k, 10. 总结 W|3XD-v@ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S=^yJ6xJ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FfN==2:b ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Qw.""MLmN8 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eMVfv=&L<3