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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) w/HGmVa  
    \[w82%U  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 q@x{6zj  
    Jm8#M z  
    1. 描述 G.a^nQ@e%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ni[2 p  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lvz&7Zb  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 0UvN ws  
    NPM}w!  
    2. 系统 v='h  
    :kDHwYv$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @OlV6M;qJ  
    3. 透镜系统组件编辑 Dh|8$(Jt  
    wZm=h8d  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VL/%D*  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @^$Xy<x  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QX'/PO  
    包括序列光学表面和光学介质。 Q1Sf7)  
    ?B2 T'}~  
     CKv [E  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 =%YU~  
    5h^U ]Y#  
    FU|c[u|z  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FXPw 5  
    可以选择选取光线的方法: n^;:V8k  
    — 在x-y-网格 W|@/<K$V  
    — 六边形 el*C8TWlw  
    — 自由选取 S/|'ggC  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Cu0N/hBT  
    :*"0o{ ie  
    5. 系统的3维视图 o5\nqw^  
    }F1|& A  
    AopC xaJ`  
    6. 其他系统参数 *1}'ZEaJ  
    系统由单色平面波照明 Fa$ pr`  
    照明波长266.08nm )} y1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H1'`* }V  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 dD3I.?DY  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 >uuP@j  
    光束尺寸探测器置于焦平面 RbJ,J)C>  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 42?X)n>  
    `n]y"rj'  
    P"%i 4-S  
    WVp7H  
    Oc;0*v[I  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 fMn7E8.  
    m?G}%u  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    dQR2!yHEq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ;K[`o/#4"  
    z./M^7v?  
    /I3#WUc;![  
    xQa[bvW  
    h1Ca9Z_  
    !Jw   
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /H=fK  
    #~54t0|Cd>  
    q79)nhC F  
    VirtualLab可用于计算点列图。 &_ Ewu@4  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $Xw .iN]g  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w8*+l0  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Cd.pMoS  
    ul+ +h4N  
    9. 焦平面上的结果 .9WJ/RKZ\D  
    9)Y]05us  
    !JjB,1  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .  \ *Z:  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4`G":nE?We  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm kIV/o  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 12aAO|]/~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Zr_{Z@IpU  
    m,v"N%k,  
    10. 总结 W|3XD-v@  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S=^yJ6 xJ  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FfN==2:b  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Qw.""MLmN8  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eMVfv=&L<3  
     
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