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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Dt+u f5o(  
    th|TwD&mO  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 A4VV y~sd  
     s#)tiCSVW  
    1. 描述 L>2gx$f  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 d7L|yeb"  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'ewVn1ME[  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C6}`qD  
     d0 yZ9-t  
    2. 系统 0]t7(P"F6  
    K9euNa  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    fmk(}  
    3. 透镜系统组件编辑 &0@AM_b  
    VaylbYUCT/  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 u]QG^1.qYe  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 mF] 8  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 u=!n9W~"  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Vb8{OD3PK  
     iJ~e8l0CA  
    (C8r^m|A  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ln=:E$jX  
    DP7B X^e  
    ]AdL   
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 q#1Cm Kt4R  
    ■ 可以选择选取光线的方法： tp=/f !bv  
    — 在x-y-网格 Yu9.0A_) :  
    — 六边形 $8Y|& P  
    — 自由选取 TY *q[AWG  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     2o9IP>#u  
    ^>!~%Vv7!  
    5. 系统的3维视图 |t h"ET  
    Sc3B*.  
    &dI;o$t  
    6. 其他系统参数 1c03<(FCd  
    ■ 系统由单色平面波照明 m^ [VM&%  
    ■ 照明波长266.08nm "+KAYsVtU  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： fIg~[VN"  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Z%O>|ozpq  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 !mRDzr7  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 I=Xj;\b  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |+(Hia,X  
    ]u@`XVEJ  
    D<XRu4^;  
    1:d,8  
    ?o6\>[O  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 :~+m9r  
    ?{*/VJl$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    uNRT@@oCq  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    >4eZ%</D5  
    nfzKUJY  
    2XGbqZj  
    YO^iEI.  
    23=SXA!  
    %oEvp{I  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 OLM}en_L  
    &26H   
    xKC{P{:  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ac??lHtH9  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 TZ+2S93c  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 sz+Uq]Mn  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 JqYt^,,Q:  
     Ks-aJ+}  
    9. 焦平面上的结果 E?Ofkc$q  
    [?Ub =sp  
    K+s xO/}h  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w_eUU)z  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 |;6l1]hk6  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z ''-AH,  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Um'r6ty  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     [v$NxmRu  
    +4%: q~C  
    10. 总结 Jf=$h20x  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %!e;sL~&  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Co#_Cyxg=9  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *X4$'LSx1  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 z7P] g C$\  
     
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