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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) J#tY$PE  
    Xv1mjHZCC  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [MVG\6Up(  
    I%fz^:[#<  
    1. 描述 X1{U''$ K  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ??.9`3CYo  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Ib665H7w  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `VxfAV?}  
    h(VF  
    2. 系统 .ko}m{  
    6 su^yt  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    |6}:n,KA.  
    3. 透镜系统组件编辑 $Q!J.}P@  
    fooQqWC)  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 zIjUfgO/M  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _N-JRM m<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]jL`*tI\S  
    包括序列光学表面和光学介质。 I%<,JRAV  
     'WW['  
    @hE$x-TP0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 y $K#M  
    b#<@&0KE  
    < BNCo5*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 R^=)Ucj  
    可以选择选取光线的方法: /K./k!'z  
    — 在x-y-网格 M)oJ06`K  
    — 六边形 !@<>S>uGG  
    — 自由选取  EL[N%M3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    VD*xhuy$k  
    iqj ZC80  
    5. 系统的3维视图 :6Q`! in  
    5wws8w  
    >v DD.  
    6. 其他系统参数 ja2PmPv  
    系统由单色平面波照明 v9[[T6t/'  
    照明波长266.08nm bl)iji`]  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &sRjs  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 r ]cC4%in  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q3s +?&  
    光束尺寸探测器置于焦平面 m8|&z{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #iot.alNA  
    A%G \ AT  
    *\i<+~I@l  
    "c  S?t  
    h*qoe(+ZD  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 G 39  
    P|S'MS';:  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    x>@+lV'O  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    v<`1z?dch  
    W~1MeAI  
    W*xz 0  
    /Nh:O  
    kXq*Jq  
    ms%Ot:uA  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2_x~y|<9  
    hkO)q|1  
     jJjD)  
    VirtualLab可用于计算点列图。 % DQ.f*%  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 cXO_g!&2A  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Qhd~4  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Z81{v<c;  
    EuAJ.n  
    9. 焦平面上的结果 C<.t'|  
    .kT5 4U;{  
    fU+A~oL%I  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J jCzCA:K_  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \@kY2,I V  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm su`] l"[,]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $?OuY*ZeY9  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    HHbkR2H1  
    R,hX *yVq  
    10. 总结 ?D#]g[6  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 7^bO`  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9oteQN{9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 RN?z)9!  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 W`C&$v#  
     
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