示例.0082(1.0) J#tY$PE Xv1mjHZCC 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [MVG\6Up(
I%fz^:[#< 1. 描述 X1{U''$
K ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ??.9`3CYo ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Ib665H7w ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `VxfAV?}
h(VF 2. 系统 .ko}m{ 6su^yt 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|6}:n,KA. 3. 透镜系统组件编辑 $Q!J.}P@
fooQqWC)
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 zIjUfgO/M
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _N-JRM m<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]jL`*tI\S
■ 包括序列光学表面和光学介质。 I%<,JRAV
'WW[' @hE$x-TP0 4. 光线追迹系统分析器-选项 y $K#M b#<@&0KE <BNCo5*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 R^=)Ucj
■ 可以选择选取光线的方法: /K./k!'z
— 在x-y-网格 M)oJ06`K
— 六边形 !@<>S>uGG
— 自由选取 EL[N%M3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VD*xhuy$k iqj
ZC80 5. 系统的3维视图 :6Q`! in 5wws8w
>v DD. 6. 其他系统参数 ja2PmPv ■ 系统由单色平面波照明 v9[[T6t/' ■ 照明波长266.08nm bl)iji`] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &sRjs — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 r ]cC4%in — 一个虚拟屏位于焦平面 q3s
+?& — 光束尺寸探测器置于焦平面 m8|&z{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #iot.alNA A%G
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AT *\i<+~I@l "c S?t h*qoe(+ZD 7. 光线追迹系统分析器的结果 G
39 P|S'MS';: 光线经过整个光学系统的三维视图
x>@+lV'O 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
v<`1z?dch W~1MeAI
W*xz 0 /Nh:O kXq*Jq ms%Ot:uA 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2_ x~y|<9 hk O)q|1
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 %DQ.f*%
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 cXO_g!&2A
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Qhd~4
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Eu AJ.n 9. 焦平面上的结果 C<.t'|
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J jCzCA:K_
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \@kY2,I V
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm su`]l"[,]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $?OuY*ZeY9
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 HHbkR2H1 R,hX *yVq 10. 总结 ?D#]g[6 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 7^bO` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9oteQN{9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 RN?z)9! ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 W`C&$v#