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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) AGYc |;  
     VN\W]jT  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 b7p@Dn?E  
     LBa[:j2  
    1. 描述 xe` </  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4QIX19{"  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 b KN@j'M  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 'GS"8w~j  
     -- c"0,7  
    2. 系统 "\o+v|;  
    8Y7Q+p|O  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ;k>&FWEG  
    3. 透镜系统组件编辑 m1M t#@,$  
    @3C>BLI8+  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 wlqpn(XR  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 &b%zQ4%d-`  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Tw;3_Lj  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ~2QR{; XQ  
     =aBctd:eX`  
    NP/Gn6fr  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 n4R(.N00  
    sWc*5Rt  
    Yd=>K HVD  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 r'HtZo$^R  
    ■ 可以选择选取光线的方法： Xy$3VU*  
    — 在x-y-网格 L"4mL,  
    — 六边形 )E-inHD /  
    — 自由选取 uJC~LC N  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     9vGu0Um  
    Ne[7gxpu  
    5. 系统的3维视图 G(G{RAk>  
    UVd7 JGR  
    'z%o16F)L  
    6. 其他系统参数 )\J+Kiy)  
    ■ 系统由单色平面波照明 HiR[(5vnf  
    ■ 照明波长266.08nm e'~J,(fB  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： P;qN(2L/=<  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 eOs)_?}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 lE&&_INHQ  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 'kL#]  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ]dGw2y  
    I uMQ9 &  
    Wp!%-vzy&  
    8T!+ZQAz  
    H1QJ k_RL  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 $ us]35Z3  
    LH kc7X$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;; C?{  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    3c]b)n~Y  
    117EZg]O  
    iB%gPoDCL@  
    e%@~MQ-  
    1^7hf;|#g  
    }NzpiY9  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 pgE}NlW  
    =F]FP5V  
    zxbpEJzpn  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 OZ |IA:,}  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 jY% na HaI  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 '%dfz K*Z  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 / zB0J?  
     DRp~jW(\y  
    9. 焦平面上的结果 h?BFvbAt  
    ^=RffrlZU  
    O4cr*MCb5  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Jrti cK$  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 4W#vP  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ER5gmmVP@p  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 CF&6J$ZBgJ  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     vY${;#~|  
    OwH81#   
    10. 总结 [z`31F  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ||hb~%JK6  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 )4gJd? 8R  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 F`Q[6"<a  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ,9}h  
     
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