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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) |&=-Nm  
    `HRL .uX  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 T%eBgseS  
    BI`)P+K2  
    1. 描述 $CEdJ+0z  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9i5?J]o^  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5j`xSG  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _U^[h!  
    [nO3%7t@  
    2. 系统 031"D*W'i  
    $os]$5(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    !vgY3S0?rq  
    3. 透镜系统组件编辑 DU%E883  
    *<xu3){:c  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  8${n}}  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =PRQ3/?5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 l/G +Xj4M  
    包括序列光学表面和光学介质。 x 7by|G(  
    ^w^e~0 S  
    _Z0 .c@0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 d-~V.  
    Q ]CMm2L^f  
    7~XC_Yc1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2o?j{K  
    可以选择选取光线的方法: AZ3T#f![L@  
    — 在x-y-网格 0DicrnH8  
    — 六边形 o`S``?`^)^  
    — 自由选取 ))=6g@(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    0V~zZ/e  
    S&!(h {O  
    5. 系统的3维视图 i&:SWH=  
    NuQ!huh  
     =1Sny7G  
    6. 其他系统参数 *-9i<@|(U^  
    系统由单色平面波照明 X hq ss),  
    照明波长266.08nm qf x*a88  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2#.s{Bv  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 WA (x]""  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 KHAc!4lA  
    光束尺寸探测器置于焦平面 1cK'B<5">]  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  +|LM"  
    '.bf88D  
    s:tX3X  
    wo0j/4o  
    EQ$k^Y8 "  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 R 0RxcB tG  
    7%  D4  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B"_O!  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    PB@IPnB-  
    gE6'A  
    V$ H(a`!  
    ,4Q4{Tx  
    N#ggT9>X  
    %nZ:)J>kz  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 # sw4)*v  
    <<0sv9qw1  
    v#Rh:#7O%U  
    VirtualLab可用于计算点列图。 d=vuy   
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 712nD ?>  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @[g7\d  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~lo43$)^  
    {mJ' Lb0;  
    9. 焦平面上的结果 =cEsv&i  
    p*b_ "aF1  
    6B?jc/V.R  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J%CCUl2  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Og1-LP|X  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 8ao-]QoMZ  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ;stjqTd  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    O>h`  
    5sT3|yq  
    10. 总结 Y1h)aQ5{  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。  ;2C  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `6~0W5  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ii?T:T@  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D6L+mTN  
     
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