示例.0082(1.0) |&= -Nm `HRL .uX 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 T%eBgseS
BI`)P+K2 1. 描述 $CE dJ+0z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9i5?J ]o^ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5j`xSG ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _U^[h !
[nO3%7t@ 2. 系统 031"D*W'i $os]$5( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
!vgY3S0?rq 3. 透镜系统组件编辑 DU%E883
*<xu3){:c
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8${n}}
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =PRQ3/?5
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 l/G+Xj4M
■ 包括序列光学表面和光学介质。 x
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S _Z0 .c@0 4. 光线追迹系统分析器-选项 d-~V. Q ]CMm2L^f 7~XC_Yc1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2o?j{K
■ 可以选择选取光线的方法: AZ3T#f![L@
— 在x-y-网格 0DicrnH8
— 六边形 o`S``?`^)^
— 自由选取 ))=6g@(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0V~zZ/e S&!(h
{O 5. 系统的3维视图 i&:SWH= NuQ!huh
=1Sny7G 6. 其他系统参数 *-9i<@|(U^ ■ 系统由单色平面波照明 X
hq ss), ■ 照明波长266.08nm qf x*a88 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2#.s{ Bv — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 WA(x]"" — 一个虚拟屏位于焦平面 KHAc!4lA — 光束尺寸探测器置于焦平面 1cK'B<5">] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +|LM" '.bf88D s:tX3X wo0j/4o EQ$k^Y8 " 7. 光线追迹系统分析器的结果 R0RxcBtG 7% D 4 光线经过整个光学系统的三维视图
B"_O! 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
PB@IPnB- gE6'A V$ H(a`! ,4Q4{Tx N#ggT9>X %nZ:)J>kz 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #sw4)*v <<0sv9qw1 v#Rh:#7O%U
■ VirtualLab可用于计算点列图。 d=vuy
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 712nD ?>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @[g7\d
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Lb0; 9. 焦平面上的结果 =cEsv&i
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6B?jc/V.R
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J%CCUl2
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Og 1-LP|X
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8ao-]QoMZ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;stjqTd
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 O >h` 5sT3|yq 10. 总结 Y1h)aQ5{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
;2C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `6~0W5 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ii?T:T@ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D6L+mTN