示例.0082(1.0) Sfe[z=7S A{>w5T 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )q{qWobS0
d5-Q}D,P 1. 描述 ^?{&v19m ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Tu-lc) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 "d<ucj ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +C\79,r
OcUj_Zd 2. 系统 =w`Mc\o " \JPMGcL 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}Bv1fbD4U 3. 透镜系统组件编辑 rhLhFN{h
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 n
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 MR|A_e^x
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i'<hT
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 }t#|+T2f
Pfs_tu 2XL^A[? 4. 光线追迹系统分析器-选项 I;}U/'RR> Sm[#L`eqW ;|K
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 {;Hg1=cm
■ 可以选择选取光线的方法: DI)"FOM6
— 在x-y-网格 UG44 oKB
— 六边形 gGE{r}$
— 自由选取 Z42q}Fhm*R
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %@%rdrZ CnuM=S: 5. 系统的3维视图 Ur 1k3 }WJXQ@
1/1oT 6. 其他系统参数 +s_a{iMVP ■ 系统由单色平面波照明 q=e;P;u ■ 照明波长266.08nm ?#c "wA& ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: POm;lM$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u gRyUny — 一个虚拟屏位于焦平面 B (eXWWT_ — 光束尺寸探测器置于焦平面 y}FG5'5$13 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 CD`6R. g_ep
5#\D N6kMl d$o m\@
3<.DiY 7. 光线追迹系统分析器的结果 o1 27? ^ RF8,qz 光线经过整个光学系统的三维视图
jCj8XM{c> 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
D*46,>Tv 5O~xj: _s-X5xU pqv l,G5 sAO/yG U(+QrC: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 M`#g>~bI#R &
:W6O)uY Te!eM{_$T
■ VirtualLab可用于计算点列图。 StR)O))I
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *kf%?T.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G,6`:l
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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J7wwM'\ 9. 焦平面上的结果 G@e;ms1
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >yenuqIKQv
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s%#u)nw19
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~D/Lo$K"
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 #6y fIvap
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %/U'Wu{* -q)|I|y*7 10. 总结 9]chv>dO)= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1mh7fZgn ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <Qbqxw ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 aFnyhu&W' ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ho#<?rh_