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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) JeMhiY}  
    ']$ttfJB  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 &k\7fvF  
     NF0IF#;a  
    1. 描述 hw_7N)}  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 eC9~ wc  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 C JiMg'K  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 YV-2es+Bd  
     r&}fn"H!  
    2. 系统 *Dh.'bB!  
    ;knSn$  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    R.A}tV=j#  
    3. 透镜系统组件编辑 *[ Wh9 ,H  
    +x G](?  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 \ :})R{  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 kSU*d/}*u  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 )[9L|o5D  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 @`}'P115@  
     8(KsU,%d  
    ~/3cQN^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #` z!f0 P  
    v{H23Cfh:  
    tl;?/  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /qI80KVnN  
    ■ 可以选择选取光线的方法： N$Gx$u3Cd  
    — 在x-y-网格 G2a fHL<  
    — 六边形 @pytHN8( $  
    — 自由选取 =eac,]31  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     XIBw&mWf  
    ]*i>KR@G  
    5. 系统的3维视图 +hjc~|RK  
    }C" #b\A2  
    ZI}m~7  
    6. 其他系统参数 5`x9+XvoN  
    ■ 系统由单色平面波照明 b${Kj3(  
    ■ 照明波长266.08nm pe,c  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 'U1r}.+b>  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2"<}9A<Xs  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ?N11R?8  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 (Egykh>  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 H:[z#f|t  
    cR@z^  
    9D<^)ShY  
    9\Xl 3j!  
    ACyQsmqm:  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 t"0~2R6i  
    Y%=A>~s*c:  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ` |]6<<'iW  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    VKik8)/.  
    =PZs'K  
    N`iK1n4 X  
    \re.KB#R  
    t9K.Jc0  
    <5$= Ta  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ccc6 ko_  
    N_gjOE`x5  
    VwC, +B  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 m};_\Db`  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =<e#  2  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "{V,(w8Dt  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 B;K{Vo:C  
     'HqAm$V+  
    9. 焦平面上的结果 1H[lf B  
    er qm=)  
    Nc"h8p?  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 eM9~&{m.  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 U;jk+i  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %pwm34  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 p19Zxh  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     uq 6T|Zm  
    T|{BT! W1E  
    10. 总结 a:;*"p[R  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 d!gm4hQhl  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ^mz_T+UOe  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "M:arP5f  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Me`"@{r|#  
     
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