示例.0082(1.0) lKT<aYX G9qN1q~ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ==XO:P
'Z{_ws 1. 描述 <RaUs2Q3. ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l2|[ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =F9!)r ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !M*$pQi}
sngM4ikhs 2. 系统 ^V;h>X| =_)yV0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
PN"s^]4 3. 透镜系统组件编辑 fC<pCdsg
Smc=-M}
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Z!eW_""wp
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 duT'$}2@>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -+)06BqF}
■ 包括序列光学表面和光学介质。 m6 V L
[!'fE#"a ,)beK*Iw 4. 光线追迹系统分析器-选项 }\Ri:&? 6-6ha7]s D\CjR6DE
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G.l
~!;
■ 可以选择选取光线的方法: s-lNpOi
— 在x-y-网格 *^=zQ~
— 六边形 Z6\H4,k&
— 自由选取 q1_iV.G<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 appWq}db .d?2Kc)SV\ 5. 系统的3维视图 57~/QEdy gi#g)9HG
DYej<T'?3 6. 其他系统参数 E Z+L' ■ 系统由单色平面波照明 tmVGJ+gz ■ 照明波长266.08nm _i@4R< ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gF53[\w^v — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6t!PHA — 一个虚拟屏位于焦平面 `SM37({c — 光束尺寸探测器置于焦平面 QTLGM-Z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6U(MHxY 0CR~ vQf#r SpJIEw =,w(D~ps QFX/x 7. 光线追迹系统分析器的结果
U
rL|r. @{LD_>R 光线经过整个光学系统的三维视图
5SQqE@g% 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
3z~d7J ms/!8X$Mz #sHt3z)6I 3D^!U}E `c.P`@KA LE]mguvs 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~/m=Q<cV 8kYI ~ 9ymx;
■ VirtualLab可用于计算点列图。 >p?Vv0*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8m"(T-wb6{
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D4IP$pAD
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Pk/3oF 9. 焦平面上的结果 Zp qb0ro
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y*7{S{9
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /{%p%Q[X
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -J]j=
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }-N4D"d4o
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Z3qr2/ H63?Erh>a 10. 总结 -I'Jm=q3] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M'5PPBSR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `NB6Of*/ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ArVW2gL ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 mbZn[D_zi