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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) lKT<aYX  
     G9qN1q~  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ==XO:P  
    'Z{_w s  
    1. 描述 <RaUs2Q3.  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l2|[  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =F 9!)r  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !M*$p Qi}  
    sngM4ikhs  
    2. 系统 ^V;h>X|  
    =_)yV0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    PN"s ^]4  
    3. 透镜系统组件编辑 fC<pCdsg  
    Smc=-M}  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Z!eW_""wp  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 duT'$}2@>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -+)06BqF}  
    包括序列光学表面和光学介质。 m6 V L  
    [!'fE #"a  
    ,)beK*Iw  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }\Ri:&?  
    6-6ha7]s  
    D\CjR6DE  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G.l ~!;  
    可以选择选取光线的方法: s-lNpOi  
    — 在x-y-网格 *^=zQ~  
    — 六边形 Z6\H4,k&  
    — 自由选取 q1_iV.G<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    appWq}db  
    .d?2Kc)SV\  
    5. 系统的3维视图 57~/QEdy  
    gi#g)9HG  
    DYej<T'?3  
    6. 其他系统参数 E Z+L'  
    系统由单色平面波照明 tmVGJ+gz  
    照明波长266.08nm _i@4R<  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gF53[\w^v  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6t!PHA  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `SM37({c  
    光束尺寸探测器置于焦平面 QTLGM-Z  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6U(M HxY  
    0CR~ vQf#r  
    SpJIEw  
    =,w(D~ps  
    QFX/x  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  U rL|r.  
    @{LD_>R  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    5SQqE@g%  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    3 z~d7J  
    ms/!8X$Mz  
    #sHt3z)6I  
    3D^!U}E  
    `c.P`@KA  
    LE]mguvs  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~/m=Q<cV  
    8kYI ~  
    9ymx;  
    VirtualLab可用于计算点列图。 >p?Vv0*  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8m"(T-wb6{  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D4IP$pAD  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -POsbb>  
    Pk/3oF  
    9. 焦平面上的结果 Zp qb0ro  
    MfG8=H2#|  
    {NTMvJLm  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y*7{S{9  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /{%p%Q[X  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm -J]j=  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 }-N4D"d4o  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Z3qr2/  
    H63?Erh>a  
    10. 总结 -I'Jm=q3]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M'5PPBSR  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `NB6Of*/  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ArVW2gL  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 m bZn[D_zi  
     
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