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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) `KBgVhS>  
    (,<&H;,8  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 (jv!q@@2C.  
     9t:P1  
    1. 描述 iLiEh2%P  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !mLQdkTE  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hyqsMkW|  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 gU1E6V-Jm  
     o%_MTCANy  
    2. 系统 M il ![A1  
    <Hw)},_*  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =@$G3DM  
    3. 透镜系统组件编辑 rV.04m,  
    c#X9d8>  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Bwv@D4bii  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 [!9 dA.tF  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 <>\s#Jf/  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 <8Y;9N|94!  
      Gh;Ju[6  
    U%oh ?g  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 $@k[Xh  
    k{_ Op/k}V  
    YYfX@`\  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *opf~B_e  
    ■ 可以选择选取光线的方法： vpR^G`/  
    — 在x-y-网格 ` QC  
    — 六边形 5y]1v  
    — 自由选取 F)P"UQ!\  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     0IU>KGJ-0s  
    \z>Re$:  
    5. 系统的3维视图 <-KHy`u  
    h&Thq52R  
    R'bmE:nL  
    6. 其他系统参数 bH+x `]{A  
    ■ 系统由单色平面波照明 \\;i  
    ■ 照明波长266.08nm jM`)N d  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ($a ?zJr  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <WXO].^  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $50rj  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~&-8lD];LM  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~P&Brn"=Rs  
    05et h  
    ];BGJ5^j  
    S;a'@5  
    IHqY/j  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 8vFt<k}G  
    [^wEKRt&  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,nn5LQ|l.j  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    OU)~ 02|\  
    BQYj"Wi  
    huh-S ,M  
    !: e(-  
    kO3{2$S6  
    rGb7p`J  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |Z%I3-z_DS  
    }$DLa#\-  
    Q\(VQ1c  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 (!F Uu  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 X r7pFw  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zJ;K4)"j  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 v(ABZNIn  
     En&bwLu:s  
    9. 焦平面上的结果 a*4"j2j v  
    qyXx`'e  
    t;BvKH77  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q^{Z"ifL  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 u{%gB&nC  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |ocIp/ $  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 nya-Io.  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     mHTZ:84  
    J?/.|Y]e  
    10. 总结 B<.XowT'  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 yX:A?U  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 e&&;"^@-  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 W}+f}/&l  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 r()%s3$q  
     
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