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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 8?h-H #h  
    z45ImItH  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uI!rJc>TX  
    pQ!NhzQ  
    1. 描述 M)#aX|%Mh  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2 D>WIOX  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L "P$LEk  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^#9 &Rk!t  
    S{7A3 x'B  
    2. 系统 w =^QIr%  
    :na9PW`TC  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    D ]:sR  
    3. 透镜系统组件编辑 GBFYa6\4sT  
    #qtAFIm'  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 $0~H~ -  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4RGEg;]S  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rzsb(  
    包括序列光学表面和光学介质。 bx_`S#*N  
    K*xqQ]&  
    q;3.pRw(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 */;[ -9  
    *$1M= $  
    ELZCrh6*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n,q+EZd  
    可以选择选取光线的方法: CkKr@.dV  
    — 在x-y-网格 ^mz&L|h  
    — 六边形 D6=Z%h\*  
    — 自由选取 Soy!)c]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    .'k]]2%ILp  
    "7mY s)=  
    5. 系统的3维视图 >~8;H x].d  
    j6]+ fo&3  
    G0 Q} 1  
    6. 其他系统参数 %5Hsd  
    系统由单色平面波照明 J6r"_>)z  
    照明波长266.08nm (99P9\[p  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: pLjet~2}iJ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (C>FM8$J  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 =@q 9,H  
    光束尺寸探测器置于焦平面 v6(Yz[  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 S<HR6Xw  
    t[*;v  
    cVya~ *  
    K =T]@ix$  
    itClCEOA  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ` ]%\Y>(a}  
    #2l6'gWE0  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    db#QA#^S  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    xEdCGwgp#  
    3jR,lEJyj  
    7fRL'I#[@  
    pn3f{fQ  
    ]4~- z3=y  
    :&: IZkO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 gSLwpIK%  
    eLE9-K+  
    v l59|W6  
    VirtualLab可用于计算点列图。 *I,3,zO  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oEPO0O  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Cx$C+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6&V4W"k  
    AdBF$nn[  
    9. 焦平面上的结果 CY2DxP%  
    BkfWZ O{7  
    5c6CH k`:  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5"(AqXoq  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 9Br2}!Ny  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm " a;z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $__e7  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ]}z;!D>  
    K|*Cka{  
    10. 总结 Y#'mALC2  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cy)b/4h@  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 fq-$u;~h  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 G#n99X@-  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N}{CL(xi  
     
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