示例.0082(1.0) 8?h-H#h z45ImItH 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uI!rJc>TX
pQ!NhzQ 1. 描述 M)#aX|%Mh ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2D>WIOX ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L"P$LEk ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^#9
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S{7A3
x'B 2. 系统 w =^QIr% :na9PW`TC 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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]: sR 3. 透镜系统组件编辑 GBFYa6\4sT
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 $0~H~-
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4RGEg;]S
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rzsb(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 bx_`S#*N
K*xqQ]& q;3.pRw( 4. 光线追迹系统分析器-选项 */;[ -9 *$1M=$ E LZCrh6*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n,q+EZd
■ 可以选择选取光线的方法: CkKr@. dV
— 在x-y-网格 ^mz&L|h
— 六边形 D6=Z%h\*
— 自由选取 Soy!)c]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .'k]]2%ILp "7mYs)= 5. 系统的3维视图 >~8;H x].d j6]+fo&3
G0Q}
1 6. 其他系统参数 %5Hsd ■ 系统由单色平面波照明 J6r"_>)z ■ 照明波长266.08nm (99P9\[p ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: pLjet~2}iJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (C>FM8$J — 一个虚拟屏位于焦平面 =@q 9,H — 光束尺寸探测器置于焦平面 v6(Yz[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 S<HR6Xw t[* ;v cVya~ * K=T]@ix$ itClCEOA 7. 光线追迹系统分析器的结果 `]%\Y>(a} #2l6'gWE0 光线经过整个光学系统的三维视图
db#QA#^S 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
xEdCGwgp# 3jR,lEJyj 7fRL'I#[@ pn3f{fQ ]4~-
z3=y :&:IZkO 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 gSLwpIK% eLE9-K+ vl59|W6
■ VirtualLab可用于计算点列图。 *I,3,zO
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oEPO0O
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Cx$C+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6&V4W"k
AdBF$nn[ 9. 焦平面上的结果 CY2DxP %
BkfWZ O{7
5c6CH k`:
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5"(AqXoq
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 9Br2}!Ny
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm "a;z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $__e7
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ]}z;!D> K|*Cka{ 10. 总结 Y#'mALC2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cy)b/4h@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 fq-$u;~h ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 G#n99X@- ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N}{CL(xi