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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) tFRWxy[5  
    45# `R%3  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^0VI J)y  
    Ts^IA67&<  
    1. 描述 5dhRuc  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D[<8(~VP  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7Y_S%B:F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4ed( DSN  
    <K)^MLgN  
    2. 系统 9nB:=`T9  
    % Dya-  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    U,/>p=s  
    3. 透镜系统组件编辑 WL>"hkx  
    .n"aQ@!  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 J^u8d?>r  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [IMa0qs'  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "# JRw  
    包括序列光学表面和光学介质。 DS^PHk39  
    *@/! h2  
    h:l\kr|9  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 CFVe0!\  
    I'C{=?  
    gXG1w>  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $U<xrN>O  
    可以选择选取光线的方法: 9c<lFZb;  
    — 在x-y-网格 RTSg=    
    — 六边形 Hl]3F^{  
    — 自由选取 .F9>|Xx[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    :H6Ipa  
    poeKY[].  
    5. 系统的3维视图 .aF+>#V=Q  
    V\Rbnvq  
    o XA*K.X<  
    6. 其他系统参数 7\5;;23N4  
    系统由单色平面波照明 n pBpYtG  
    照明波长266.08nm Uq7 y4zJ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: C";F's)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Hw_(Af?C  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 0IxXhu6v  
    光束尺寸探测器置于焦平面 jg#%h`  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  &+u$96  
    7\eN 8+  
    10{ZW@!7  
    ]V?\Qv/.=  
    rk{DrbRx  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 YX,y7Uhn  
    _yumUk-QW  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    UuW"  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    5nQ*%u\$Z  
    0[ jy  
    l$z\8]x  
    |lrLTI^a  
    7 i,}F|#8  
    pX+`qxF\  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 V07e29w  
    nxw]B"Eg  
    pS;jrq I#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 r1]shb%J?  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =EgiV<6vcH  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tUH#%  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Q3*@m  
    H"6Sj-<=  
    9. 焦平面上的结果 XTyJ*`>  
    YD 1u  
    + v{<<  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aHvTbpJ  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tgKmC I  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm uAwT)km {  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 F_$eu-y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    d~u+:[\=/  
    iZ yhj%#  
    10. 总结 !inonR  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :D`ghXj  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R&PQU/t)  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 JL=MlZ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 c%n[v3]  
     
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