示例.0082(1.0) tFRWxy[5 45#`R%3 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^0VI J)y
Ts^IA67&< 1. 描述 5dhRuc ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D[<8(~VP ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7Y_S%B:F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4ed(
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<K)^MLgN 2. 系统 9nB:=`T9 %Dy a- 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
U,/>p=s 3. 透镜系统组件编辑 WL>"hkx
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 J^u8d?>r
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [IMa0qs'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 " #JRw
■ 包括序列光学表面和光学介质。 DS^PHk39
*@/!h2 h:l\kr|9 4. 光线追迹系统分析器-选项 CFVe0!\ I'C{=? gXG1w>
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $ U<xrN>O
■ 可以选择选取光线的方法: 9c<lFZb;
— 在x-y-网格 RTSg=
— 六边形 Hl] 3F^{
— 自由选取 .F9>|Xx[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :H6Ipa poeKY[]. 5. 系统的3维视图 .aF+>#V=Q V\Rbnvq
o XA*K.X< 6. 其他系统参数 7\5;;23N4 ■ 系统由单色平面波照明 n
pBpYtG ■ 照明波长266.08nm Uq7 y4zJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: C";F's) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Hw_(Af?C — 一个虚拟屏位于焦平面 0IxXhu6v — 光束尺寸探测器置于焦平面 jg#%h` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
&+u$96 7\eN8+ 10{ZW@!7 ]V?\Qv/.= rk{DrbRx 7. 光线追迹系统分析器的结果 YX,y7Uhn _yumUk-QW 光线经过整个光学系统的三维视图
UuW" 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
5nQ*%u\$Z 0[jy l$z\8]x |lrLTI^a 7i,}F|#8 pX+ `qxF\ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 V07e29w nxw]B"Eg pS;jrq
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 r1]shb%J?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =EgiV<6vcH
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tUH#%
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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H"6Sj-<= 9. 焦平面上的结果 XTyJ*`>
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aHvTbpJ
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tgKmCI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm uAwT)km
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 F_$eu-y
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 d~u+:[\=/ iZyhj%# 10. 总结 !inonR ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :D`ghXj ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R&PQU/t) ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 JL=MlZ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 c%n[v3]