测量系统(MSY.0001 v1.1)
'W#<8eJo d/^^8XUK 应用示例简述 ;gc2vDMv 1a'JNe$ 1. 系统说明 M}c_KFMV yG_#>3sD+%
光源 &K4o8Qz — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
(=X16}n:> 元件
saZ;ixV — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Re2kD/S3 探测器
@bPJ}C — 干涉条纹
6R<%.-qr 建模/设计
MT*b+&1e —
光线追迹:初始系统概览
FYj3!
H — 几何场追迹加(GFT+):
&Jn%2[; 计算干涉条纹。
-LY_7Kg 分析对齐误差的影响。
9\;EX
+]{X-R 2. 系统说明 6y0C 参考光路
2AluH8X/ 
,lUo@+ 'ZJ6p0 3. 建模/设计结果 N >z8\y
.UDZW* nO/5X>A,Zw 4. 总结 C+iP
@~ NUU}8a(K 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
CV6H~t'1 itvwmI,m\ 1. 仿真
k.0C*3' 以光线追迹对干涉仪的仿真。
|N g[^ 2. 计算
D^u{zZy@e 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
zb4g\H
0 3. 研究
P-mrH 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
H^s SHj &><`? 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
&a:aW;^A7 应用示例详细内容 Fc]#\d6
系统参数 RS1oPY
Yv;aQF"a 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 xq{4i|d) f]lDJ?+
M 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
^J G}|v3$ cnsGP*w 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
(UM+?]Qwy F&P)mbz1 2. 说明:光源 @X#m]ou Y}6)jzBV ALv\"uUNu+ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
8%"e-chd 因此,相干长度大于1m
:b=0_<G 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
k8ck#%#}Wu 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
X*~YCF[_ <(^pHv7Q
,>^~u . FruI#99 3. 说明:光源 $X?V_K;9/ |j+~Td3})& zk]~cG5dT/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Hke\W'& 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
:Ls36E8f= 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
L_~G`Rb3 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
n&fV3[m`2 4. 说明:光学元件 3LmHH
= jDnh/k0{d 7Av]f3Zr 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
\,Ndg*qC 位相延迟平板材料为N-BK7。
]'G7(Y\)f 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
pI`Ke" 透镜材料为N-BK7。
oW_WW$+N 其中心厚度与位相平板厚度相等。
*+AP}\p0F u *<
(B P#xn!fMi 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ZKvh] SS`C0&I@p j7d;1 zB+G 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
uv5@Alm 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
u;!Rv E8N {
\ePJG# D6t]E)FH
;w>B}v;RE [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
-&?- 6. 分光器的设置 QZlUUj\
>W<5$ .G 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
mm 8O 7. 合束器的设置 }dz(DPd z-DpLV \a!<^|C& 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
~iWSc8- Q?@G>uz 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 5*AKl< Jl <G>PPf} 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
*v+ fkg 应用示例详细内容 H4,yuV
仿真&结果 <c#[.{A}s
w(D9' 1. 结果:利用光线追迹分析 J^:~#`8 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
c'2ra/?k 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
V'.|IuN 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #7=LI\ ooQ( bF 9o`3g@6z 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
EMG*8HRI>r 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
U&R$(k0zS 3. 对准误差的影响:元件倾斜 2e"}5b5 jq)|Uq'6 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
5b,98Q 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
YC'~8\x3z 4. 对准误差的影响:元件平移 $w\ , ."y 元件移动影响的研究,如球面透镜。
6ZBD$1$A! 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
bG)MG0<TT
B*IDx`^Y U4gJ![>5j 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
#4M0%rN _=5ZB_I 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
1tdCzbEn+ 3iw9jhK!W 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
#EUgb7 :(Bi{cw 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
^%pwyY\t 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
Ks(U]G"V 5b p"dIe 扩展阅读 V-jL`(JF% 1. 扩展阅读
Vi WgX. 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
E6M: ^p*< 开始视频-
光路图介绍 [<QWTMjR -
参数运行介绍-
参数优化介绍 *.g?y6d 其他测量系统示例:
Z >=Y -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)