测量系统(MSY.0001 v1.1)
3N3*`?5c< l#ygb|=x 应用示例简述 Ou!)1UFI Cz[5Ug'V 1. 系统说明 )<Ob S5/p=H:
光源 (zEYpTp — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
W
U0UG$o` 元件
w= B — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
#:I^&~:
探测器
oVreP — 干涉条纹
C=s((q* 建模/设计
2D_6 —
光线追迹:初始系统概览
:SdIU36 — 几何场追迹加(GFT+):
oE 5;|x3 计算干涉条纹。
PbQE{&D# 分析对齐误差的影响。
`>y[wa>9r D/*vj| 2. 系统说明 !,R 参考光路 9<w=),R`8 
kp.|gzA6 F*.
/D~K 3. 建模/设计结果 Es:5yX!
$Uy#/MX 9Mnem* 4. 总结 L*IU0Jy> epYj+T 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
qb9}&'@: 4t*<+H% 1. 仿真
p>!1S 以光线追迹对干涉仪的仿真。
XWc|[>iO 2. 计算
z(jU|va{_1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
}il%AAI9}r 3. 研究
/LSq%~UF 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Zr5'TZ`$ C\J@fpH(t` 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
?'T"?b< 应用示例详细内容 uH=Gt^_
系统参数 M Ey1~h/
e5FCqNip' 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <kROH0+ V02309Y 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
<%he
o 7Y4%R`9H 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
:S#eg1y.w] vsjM3= 2. 说明:光源 *P&OxVz Yo>%s4_, oUCS| 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
IM$'J 因此,相干长度大于1m
z/pDOP Ku 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
#3YdjU3w 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
zj%cd; 69N1 mP
\]Kq(k[p Z=0iPy,m> 3. 说明:光源 "MW55OWYU //VG1@vaVX (69kvA&|q 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
M_yZR^;^- 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
:p,c%"8 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
w($XEv; 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
% cU-5\xF 4. 说明:光学元件 A[K:/tB B[C7G7<B SB5@\^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
%
E<FB ;h 位相延迟平板材料为N-BK7。
g]:..W7 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
R65;oJh 透镜材料为N-BK7。
^XtHF|%0T 其中心厚度与位相平板厚度相等。
$[WN[J 0^-z?Kb<} S^*(ALFPj 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 pIk4V/fy AEBw#v!,o # Lu4OSM+ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
e,PQ)1 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
b=6ZdN1 >?H_A 3 ATN?V@
`PXoJl [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
@`#OC# 6. 分光器的设置 :/n
?4K^ LX&=uv%-^ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
qg/Y;tGSx 7. 合束器的设置 gEX:S(1QP 37GHt9l cj,&&3sbV 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
HJ2O@e p?EEox 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 yTMGISX5 D_L'x" 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
M$DwQ}Z 应用示例详细内容 O% j,:t'"
仿真&结果 rElG7[+)p
BbXmT"@ 1. 结果:利用光线追迹分析 $\=6."R5< 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
&q kl*#] 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
?,A8 fR 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 L>|A6S#y8/ zwF7DnW<< oW` *FD 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
^;v.ytO* 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
-M(58/y 3. 对准误差的影响:元件倾斜 @5uyUSt] qCv}+d) 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
zXA= se0U 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
2l;ge>DJ 4. 对准误差的影响:元件平移 lW@:q04Z$ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
IWSEssP 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
&AkzSgP
`0-m`> 1> Xl gz.j7XR 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
QQ2OZy>W 6Wcn(h8%* 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
(rCPr,@0 ?j
; ,q 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
[9# #Kb w^vK7Z
1$ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
`jl. f 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
X]f#w rSzXa4m( 扩展阅读 ~=aI2(b 1. 扩展阅读
)@};lmPR 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
s2
t-T0; 开始视频-
光路图介绍 pNk,jeo -
参数运行介绍-
参数优化介绍 _16&K}< 其他测量系统示例:
q,19NZ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)