测量系统(MSY.0001 v1.1)
O$U}d-Xnx Z*Zc]hD 应用示例简述 j@CKO cn2 R.O 1. 系统说明 lJlhl7 wBE7Bv45
光源 W[fT
R?n — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
H7}g!n? 元件
GI?PGAT — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
FvAbh]/4 探测器
'(T mV#3 — 干涉条纹
BPh".R J 建模/设计
-EVs@:3]j —
光线追迹:初始系统概览
eX@v7i,} — 几何场追迹加(GFT+):
@ "0uM?_)- 计算干涉条纹。
fw:7U%MGv 分析对齐误差的影响。
HS(U4 J ZA*{n2 2. 系统说明 'H!V54
\j 参考光路 2'Y{FY_Z 
G~S))p drbe#FObX 3. 建模/设计结果 N6WPTUQ1mF
z>7=k`x`: 'OG{*TDPu 4. 总结 1z3]PA!R WX ,p`>n 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
=pyVn_dg k?<i*;7 1. 仿真
?P%|P 以光线追迹对干涉仪的仿真。
2G
ZF/9} 2. 计算
$,.3&zsy 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
k{_1r; 3. 研究
; 4l-M2 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
X=JFWzC lx`q *&E 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
R08&cd#$ 应用示例详细内容 1E8$% 6VV
系统参数 *B%y`cj|
) sRN!~ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 u2Y N[|V o
T:j:n 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
Wux 0RF& `(P
"u 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
)ni"qv~J o1Ne+Jt 2. 说明:光源 PL9<*.U"= 0h^uOA; c XMomFW_@ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
U[IQ1AEr 因此,相干长度大于1m
Ih(:HFRMq6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
:2 _0L 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Ob7zu"zr _cR6ik zW(
UVz=QEuYb zMbfV%b 3. 说明:光源 I+*osk BQ).`f";d "&@gX_% 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
xT:qe 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
4tbw*H5!5 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
C(f$!~M4b 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
]U_5\$ 4. 说明:光学元件 T:be 9 5!, |!{z?
i Ti hnSb 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
4s[`yV
位相延迟平板材料为N-BK7。
"(Mvl1^BT 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
tX@0:RX% 透镜材料为N-BK7。
Jw2B&)k/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
yZ?xt'tn :8](&B68gE ?$UH9T9) 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 =s`XZkh AqKHjCI NKRaQr 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
SL6mNn9c 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
k}- "0> W/b"a? wE{ g7.7E6%H
<sm#D"GpP [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
` 52%XI 6. 分光器的设置 f1)HHUB ~C%2t{" 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
PthIdaN@ 7. 合束器的设置 y2oB]^z&n d-9uv|SJ 0eQ~#~j& 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
eKL]E! b\kN_ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 `Af{H/qiI Gtj( 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
83mlZ1jQz 应用示例详细内容 Y'tq m&}
仿真&结果 99\{! W
I8%d;G~ 1. 结果:利用光线追迹分析 Ask' ! 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
5x:Ift
* 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
*jYHd#UZx4 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 i}.{m Et Zkf 3t>[ JoZqLy!@ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
2z'+1+B' 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
a Q.Iq 3. 对准误差的影响:元件倾斜 aO~si= 8
m%>:}o 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
43vGgGW 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
Xjs21-t% 4. 对准误差的影响:元件平移 QH@Q\
@, 元件移动影响的研究,如球面透镜。
0!9?H1> 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
k! J4Z${k
TYs+XJ'Xj Q%M'[L?[ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
1{SrHdD= <_##YSGh, 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
$sA,$x:^xI ioE66-n 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
w$w>N(e -@EBbM& 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
.8u$z`j 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
C><<0VhU oUW)H 扩展阅读 tIz<+T_ 1. 扩展阅读
\_m\U.* 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
Z!C`f/h9 开始视频-
光路图介绍 2ApDpH`fiJ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 +-Z"H) 其他测量系统示例:
*u|lmALs -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)