测量系统(MSY.0001 v1.1)
X` J86G ) P&Uj?et" 应用示例简述 U1(cBY $ w+.-Tr 1. 系统说明 'rTJ*1i t1G__5wp
光源 =k>fW7e — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
i[ >U#5 元件
b
0qA — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
B3pjli 探测器
F`GXho[ — 干涉条纹
4j8$&~/ 建模/设计
D)Ep!`Q
—
光线追迹:初始系统概览
mkhWbzD'S — 几何场追迹加(GFT+):
3 qJ00A 计算干涉条纹。
81C;D`!K 分析对齐误差的影响。
slhMvHOk- 9aNOfs8( 2. 系统说明 Ql%B=vgKL 参考光路 {> <1K6t 
|sY ^tjw }sE 3. 建模/设计结果 _]- 4UA-
wph8ln"C- vCNq2l^CW 4. 总结 O=*, ~y?Nn8+&f 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
pwk Te EeT69o 1. 仿真
"LJV}L 以光线追迹对干涉仪的仿真。
IsShAi 2. 计算
%H;}+U]Z 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
5423Ky< 3. 研究
,k=8|=aF 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
/.=aA~| dpK- 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
1X7GM65# 应用示例详细内容 \#WWJh"W
系统参数 q
|FOU
D4C:%D 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 d7mn(= & 9_nbMs 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
dJ/gc"7aO !>D[Y 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
H(tC4'tA Qe\vx1GRLH 2. 说明:光源 W G@3+R>{ s^SU6P/] {I0U 4] 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
F'sX ^/; 因此,相干长度大于1m
F_9
4k 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
y.}{KQ"a* 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
,|3_@tUl sW'_K.z
Jwfb%Xge~ U\B9Ab 3. 说明:光源 Kw$@_~BJ6 zi3v,Kq B@NBN&Fr 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
"]kzt ux 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
M_Q`9 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
71Za!3+ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
xr]bH.> 4. 说明:光学元件 @eeI4Jz +Ugy=678Tr l@*$C&E 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
jf`w8*R 位相延迟平板材料为N-BK7。
@TD=or .& 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
(H&HSs 透镜材料为N-BK7。
TfT^.p* 其中心厚度与位相平板厚度相等。
1^*ogMe i{TPf1OY`M M2p|&Z% 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 [ 5!}+8]W ,zr9* t (]T[n={Y 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
6?*Do 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
wdfbl_`T FeMgn`q /;d 5p
|9\i+)C [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
m$^5{qpg 6. 分光器的设置 JbL3/h] $[?N^
为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
Yl>Y.SO 7. 合束器的设置 O/FI>RT\H vs[!B- )^ZC'[93 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
a>W++8t1 ; V 0Oqq0\ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 " "m-5PGYo e)B1)c 8s 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
m//aAxmB 应用示例详细内容 ui,!_O .c
仿真&结果 b@8z+,_
7yT/t1) 1. 结果:利用光线追迹分析 z9 Ch %A{ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
R&;x_4dr^ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
} % Ie 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 FXDB> }8 +DXP&Q RV_I&HD! 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
K mH))LIv 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
E56 3. 对准误差的影响:元件倾斜 (}6\_k[}m &U?4e'N)T 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
B !,&{[D
结果可以以独立的文件或动画进行输出。
Vm\zLWNB 4. 对准误差的影响:元件平移 hBnUpYec 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Qt{){uE 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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^*`#+*C Z81;Y=( 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
RHn3\N 3{|~'5* 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
4]tg! ks XZ]ji9' 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
BRM `/s n@ba>m4{ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
"*D9.LyM 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
9%|skTgIqH hvO$ f.i 扩展阅读 48^C+#Jbc 1. 扩展阅读
4GF3.?3 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
%n9ukc~$p 开始视频-
光路图介绍 rZpsC}C' -
参数运行介绍-
参数优化介绍 1c#\CO1l 其他测量系统示例:
9#P~cW? -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)