测量系统(MSY.0001 v1.1)
]j*2PSJG !CYC7HeF 应用示例简述 tz@MZs09 Tsg9,/vXM 1. 系统说明 |EE1S{!24m U7s$';y"%
光源 F]3Y,{/V — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
YqX$a~ 元件
sE"s!s/ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
h+g\tYWGP 探测器
,Z"<-%3 — 干涉条纹
6$r\p2pi0 建模/设计
@yuiNj.T —
光线追迹:初始系统概览
y>a?<*Y+e — 几何场追迹加(GFT+):
+&
r!%j7 计算干涉条纹。
5Kg'&B ( 分析对齐误差的影响。
q?(]
Y* 3gi)QCsk 2. 系统说明 q\6(_U#Tl 参考光路 qE~_}4\Z9 
hN-@_XSw<I hk~/W}sI 3. 建模/设计结果 y"q
aa
Ha@;Sz<R WkTJ M 4. 总结 Rg?6e N Z4] n<~o 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Op'a=4x] <sH}X$/ 1. 仿真
\Rny*px 以光线追迹对干涉仪的仿真。
L80(9Y^xn 2. 计算
?"d$SK"6Z 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
fW-C`x 3. 研究
t7+A!7b{ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
q\Y4v Wg UD.bb 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Jxe+LG 应用示例详细内容 W$c@C02<
系统参数 x}] 56f
;m(iKwDt 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 u7!9H<{>P REUxXaN>Z 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
$GJT 3z+l-QO8 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
i>F=XE {OU|' 2. 说明:光源 S&-K!XyJ rJ!cma 8%[pno
|0I 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
WK>F0xMs1 因此,相干长度大于1m
qLN\%}69/ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
=kd$??F 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
qA)OkR'm 2c9?,Le/;
Ke$_l]} WgtLKRZ\ 3. 说明:光源 <)VgGjZ-H {7NGfzwp;6 7GgZ: $d 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
y0 * rY 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
X]0>0=^ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
3A7774n=P 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
:L[>!~YG_n 4. 说明:光学元件 {K,In)4 VeoG[Jl P6:C/B 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
oUv26t~ 位相延迟平板材料为N-BK7。
y~SVD@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
7{;it uqX 透镜材料为N-BK7。
1vj/6L 其中心厚度与位相平板厚度相等。
?8b19DMK6 =*mT{q@ Ni,nQ;9 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 c`a( 8t-GsjHb x$Dq0FX!%_ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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7| 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
xUo6~9s7 OrY[ 5(1:^:LGK
a)qan [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
ks'>?Dw 6. 分光器的设置 7u):J Swi#^i 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
iGN\ >m} 7. 合束器的设置 HgI!q<) }lJ;|kx$
bzgC+yT 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Fnw:alWr K5""%O+ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 7>vm?a^D2& 8%?y)K^
D 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
{@Mr7*u 应用示例详细内容 [Kgb#L'{
仿真&结果 a?cJl
qQ&uU7,# 1. 结果:利用光线追迹分析 8.E"[QktZ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
7s9h:/Lu 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
qUe
_B 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 f:T?oR>2 sDY~jP[Oa gq?:n.;TY 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
TkbaoD 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
M6Fo.eeK3 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Szu s*YL7 APQq F/ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
5j%G7.S\ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
,$P,x 4. 对准误差的影响:元件平移 Jd2.j?P= 元件移动影响的研究,如球面透镜。
jG5HW*>k0 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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+ 0D X_*f 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
1J@Iekat 2z.ot' 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
2Xb,
i ]S|FK>U[ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
ZykMri3bi >t D=t8 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
zM0NRERi 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
}[*' bp1AN9~ 扩展阅读 Z 6jEj9?O 1. 扩展阅读
OMGggg 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
1I+9?fa 开始视频-
光路图介绍 :FyF:=
-
参数运行介绍-
参数优化介绍 NE995; 其他测量系统示例:
<N<Q9}`V -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)