测量系统(MSY.0001 v1.1)
u3wL<$2[8 E8tD)=1 应用示例简述 dokuyiN\ z/vDgH!s 1. 系统说明 aW@oE
~` AA7#c7
光源 5V|tXsy: — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
A!;meVUs 元件
piu0^vEEH — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
<PD|_nZT 探测器
q$^<zY — 干涉条纹
&"j@79Ym1~ 建模/设计
Jn,w)Els —
光线追迹:初始系统概览
{aJz. `u\ — 几何场追迹加(GFT+):
%vc'{`P 计算干涉条纹。
U,3d) ]Zy& 分析对齐误差的影响。
%UmbDGDWI MhH);fn 2. 系统说明 XZ@>]P 参考光路 _5h0@^m7y 
{U
P_i2`. >q &L/N5 3. 建模/设计结果 Ai jUs*n 2
gDhl- fMB4xbpD 4. 总结 kv%)K'fU4 <NL+9l R 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
S&|VkZR) -wIM0YJ 1. 仿真
&z0iLa4q) 以光线追迹对干涉仪的仿真。
KW:r;BFx 2. 计算
Q=XA"R 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
ok=40B99T 3. 研究
Heohe|an 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
n +dJc w#d} TY 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
`7>K1slQ}S 应用示例详细内容 WFpl1O73
系统参数 sKCGuw(mh
GFY-IC+fc 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Znq(R8BMW I~'gK8<e7 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
j%GbgJ "DzGBu\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
[Z% l. :28@J?jjO 2. 说明:光源 6DO0zNTY t*rp3BIG !
fX9*0L 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
K5+!(5V~ 因此,相干长度大于1m
SZI7M"gf/+ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
?PYNE 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
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