测量系统(MSY.0001 v1.1)
g Xvuv^ N$H0o+9-Y 应用示例简述 @%K@oD L `2?9eXC 1. 系统说明 nj~1y') W^q;=D6uh
光源 IXugnvyV — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
{ CkxUec 元件
'k#^Z — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
`bffw:;% 探测器
C-$S]6 — 干涉条纹
ZO+c-!%[( 建模/设计
nqt;Ge
M —
光线追迹:初始系统概览
^'~+ w3M@ — 几何场追迹加(GFT+):
!t6:uC7H 计算干涉条纹。
|b52JF
", 分析对齐误差的影响。
a="Z]JGk x(7K=K'] 2. 系统说明 d:6?miMH]t 参考光路 Dg4?,{c9W 
&'UYV> Q9Wa@gi| 3. 建模/设计结果 z)r)w?A
%^g BDlR^ }N1Z7G 4. 总结 =)(o(bfSKr GM{m(Y 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
)W~w72j- ?C6iJnm 1. 仿真
e7ixi^Q 以光线追迹对干涉仪的仿真。
=m=`| Bn 2. 计算
Pm6/sO 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
;-47d ^ 3. 研究
}|
_uqvin 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
,Utp6X it!8+hvq9* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
%zyO} 应用示例详细内容 RZ9vQ\X
U)
系统参数 P'GX-H
>n)N=Zyu 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <SUjz}_Oa: (t1:2WY@ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
.OVIQxf ]FvN*@lG 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
DF/p{s1Y3 hVI
$r 2. 说明:光源
eP$0TDZ dy;Ue5 c$Js<[1 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
h*{{_3, 因此,相干长度大于1m
.G#S*L 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
a1]k(AuQrC 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
!-%i" a V=BF"S;-'
qdrk.~_ ^)conSm 3. 说明:光源 |j$&W;yC f2B?Zn gX5I`mm 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
i2/:'
i 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
R4u=. 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
wj9CL1Gx 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
={-\)j 4. 说明:光学元件 z_~f/ f@T/^|`mh =O1N*'e 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
Ey=(B'A~ 位相延迟平板材料为N-BK7。
\T'uFy9&a 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
n;)!N 透镜材料为N-BK7。
<ZxxlJS)6 其中心厚度与位相平板厚度相等。
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