测量系统(MSY.0001 v1.1)
NeY"6!;k 0[lS(K 应用示例简述 F
b1EMVu ,MRvuw0P 1. 系统说明 f](I.lm: YjFWC!Qj$
光源 =Wj{]&` — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
{n\6BTs 元件
h:f;mn?x — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
bpGzTU 探测器
NvcHv7, — 干涉条纹
6!Qknk$ 建模/设计
-zprNQW —
光线追迹:初始系统概览
.Nc_n5D6 — 几何场追迹加(GFT+):
#`vVgGZ& 计算干涉条纹。
0X.TF 分析对齐误差的影响。
n9DbiL1{ @Eo4U]- 2. 系统说明 3a%xn4P 参考光路 [qiOd! 
.M8=^,h^K Q2q|*EL 3. 建模/设计结果 ?C}sR: K/
Z^<Sj5}6 z=B<
`}@3 4. 总结 2pz4rc +1x)z~q= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
0EyAMu F% }7cm2 1. 仿真
Uh*@BmDA 以光线追迹对干涉仪的仿真。
O'OFz}x), 2. 计算
t|.Ft<c# 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
p(.N(c 3. 研究
x =h0Fq,T 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
)Xp Vu J=@xAVBc 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
b) Ux3PB 应用示例详细内容 e^=NL>V6p
系统参数 |e:rYLxm:
h<)yJh 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 5E`JD /,X7.t_- 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
SAy{YOLtl o ~;M" 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
4j^bpfb, N2T&,&,t 2. 说明:光源 J]dW1boT@ /w0w*nH [T-*/}4$ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
gn^!"MN+g 因此,相干长度大于1m
-8/ JP
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
k&!6fZ) 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
\ZsP]};* Z B$NVY
oJh"@6u6K QAi1,+y]7w 3. 说明:光源 .+HcA x{/2 FD))'!> ncj!KyU 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
>C*4_J7 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
^\T]r<rCY 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
zC#%6@P\ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
me:iQ.g 4. 说明:光学元件 JL``iA 8RU.}PD /e(W8aszi 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
FllX za) 位相延迟平板材料为N-BK7。
Zt_r9xs> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
:T5A84/C 透镜材料为N-BK7。
y]
y9'5_ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
bJPJ.+G7 f7
wmw2 9$wAm89 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 h9jc,Xu5X )'t&q/Wn xj7vI&u. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
QvJZkGX Z vRxi&Z{? N8QH*FX/F1
4kh8W~i;/ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
fK"iF@=Z` 6. 分光器的设置 _JA:.V^3gm 3daC;;XO 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
kT2Wm/L 7. 合束器的设置 X.eB ;w/} &Sa~/!M x 'mF&^ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
6+e4<sy[E ~
aA;<# 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 XL~>rw< UKj`_a6 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
0qR$J 应用示例详细内容 EZ{\D!_Y
仿真&结果 #a'r_K=ch)
JnHNkCaU 1. 结果:利用光线追迹分析 x,uBJ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
N|<bVq% 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
$
9 =8@ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 5k~\or 5_ #Cx%OIi[f GV>&g 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
}lO
}x 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
ZB0+GG\ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 b5S7{"<V y!5:dvt 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
_D
JCsK| 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
'kEG.Oq7 4. 对准误差的影响:元件平移 uY]T:UVk 元件移动影响的研究,如球面透镜。
ckWkZ
78\ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
#g{Mne
aaT5u14% ~ k<SbFp 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
73)Ll"( %"+4
D,'l 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
&?r*p0MQC 1daL y 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Km"&mT $ jzMg'z/@J 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
PkO!'X 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
^Et,TF\ Xb0!( (A 扩展阅读 f:XfAH3R{ 1. 扩展阅读
fp tIc#4 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
uQ^hV%|" 开始视频-
光路图介绍 2`E!| X -
参数运行介绍-
参数优化介绍 D:)~%wu Lt 其他测量系统示例:
XR+rT -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)