测量系统(MSY.0001 v1.1)
Pv7f
_hw AY&9JSu6 应用示例简述 -; us12SZ AU\xNF3 1. 系统说明 J\xz^%p npO@Haw
光源 d(X\B{ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
@jE d%W 元件
~^rey — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
zL)1^[%O9 探测器
zj9bSDVL( — 干涉条纹
Q$?7) yyu+ 建模/设计
+Mk*{A t —
光线追迹:初始系统概览
-[zdX}x.: — 几何场追迹加(GFT+):
5U-p'c9IC 计算干涉条纹。
,#E3,bu6_4 分析对齐误差的影响。
Jb3>vCIn $ ]W[y= 2. 系统说明 `qf\3JT\ 参考光路 lruF96C/Y 
`W"a!,s2 Vq3]7l 3. 建模/设计结果 ]k'#g Z$
4; BW
=E
[ 4H 4. 总结 Tn4W\?R .Bb$j= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
ZL4l
(&" [Krm .) 1. 仿真
wO^$!zB W 以光线追迹对干涉仪的仿真。
KjFZ 2. 计算
BKE\SWu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
-TzI>Fz 3. 研究
-Q<z1vz 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
bGZhUEq !dfS|BA] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
*F\T}k7 应用示例详细内容 b$dJ?%W
系统参数 b4Ricm
Ci]'G>F@" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 =7 Jy BW'L.*2 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
H!u nIy| gHQPhe#n 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
bK?1MiXb )ZT6:) 2. 说明:光源 'ox0o: u
iBl#J Q 4t&gW 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
^y&q5p jj 因此,相干长度大于1m
\@Ee9C13 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
+<pVf%u5 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
gW%pM{PW TA Ftcs:
mSU@UD|' Sp 7u_Pq{ 3. 说明:光源 M:R8<.{ O!:QJ
^8d 7n\ ThfH{ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
~'NX~<m 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
gO+\O 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
}czsa_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
@)o0GHNP 4. 说明:光学元件 uzHT.iBn
z'7#"D dX_!0E[c 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
7sXy`+TZ-> 位相延迟平板材料为N-BK7。
D,c!#(v cK 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
9 0X?1 透镜材料为N-BK7。
qOW#Q:T 其中心厚度与位相平板厚度相等。
5,S,\O9>X j3
6,w[Y: y&1%1 #8F 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 7e1dEgn Rb)|66&3& `&7mHa61 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
yC
W*fIaq 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
F7\BF 8h@q VLiIO"u;
34z_+
[table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
'0]r<O 6. 分光器的设置 <O.Kqk*
nq +fM&su=wl 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
J5;5-:N 7. 合束器的设置 {{32jU7< K]X`sH: fb23J|" 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Gu5~DyT`G /-Wuq`P/ T 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 0x\2#i cA<<&C 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
$`pd|K` 应用示例详细内容
}g>kpa0c
仿真&结果 {-HDkG' 8
fe|g3>/| 1. 结果:利用光线追迹分析 hd5$ yU5JQ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
'f*O#&? 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
t)} \9^Uo 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #EJP(wXa 6a*83G,k H8&p<= 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
L=RGL+f1_ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
wZjlHe 3. 对准误差的影响:元件倾斜 #1[z;Mk0 B52yaG8C 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
sm 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
gXt O*Rfqk 4. 对准误差的影响:元件平移 +Qs!Nhsq 元件移动影响的研究,如球面透镜。
ZYa\"zp- 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
xI?0N<'.*q
<4c%Q) MGQ,\55" 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
r2nBWA3 X'x3esw w 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
9/@ &* P`EgA 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
F;P5D< +Rqbf 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
ul@3
Bt 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
?ok)>P Qs l80~n_7 扩展阅读 &RW`W)0; 1. 扩展阅读
=We2^W-{ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
RBE7485 开始视频-
光路图介绍 +AoP{x$Ia -
参数运行介绍-
参数优化介绍 1HbFtU`y~ 其他测量系统示例:
J4>;[\%m -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)