测量系统(MSY.0001 v1.1)
ezS@`_pR; oA;ZDO06r 应用示例简述 P]2V~I/X a/[)A _- 1. 系统说明 $M$-c{>s fGWXUJ
光源 =}Yz[-I — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
HKVtO%& 元件
:*YnH& — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
f*Os~@K 探测器
P#[?Kfi — 干涉条纹
bYr*rEcA 建模/设计
RSnBG" —
光线追迹:初始系统概览
vdot . — 几何场追迹加(GFT+):
jVqpokWH 计算干涉条纹。
Ml'lZ) 分析对齐误差的影响。
dZ4c!3'F msQ?V&+< 2. 系统说明 yI/ FD 参考光路 -wh 
'($$-P\/ 2q*wYuc 3. 建模/设计结果 Vd'=Fe;eB
|OuIQhoE lAkg47i 4. 总结 ,Kt51vG i e`Co =' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Lb{.} }i^$
li@ 1. 仿真
1\g r
;b 以光线追迹对干涉仪的仿真。
oc#hAjB. 2. 计算
5=8t<v1Bn 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
2rb@Md]dx 3. 研究
%D~Mij 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
%AmyT DcE4r>8B 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
!'B=']. 应用示例详细内容 R@U4Ae{+
系统参数 D
,[yx='
uQ7lC~ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ? 51i0~O= 6h0}ZM 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
v:n[H]K| <kWkc|zBY 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
8s
%YudW vin3
i&k 2. 说明:光源 0%)T]SDS e0j4t-lL dnh~An 9 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
9SJSUv:@ 因此,相干长度大于1m
}_('3C,Ba 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
@uanej0q7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
C~C`K%7 +O.qYX
|kTq
&^$ u4bVp+ 3. 说明:光源 (H\ `/%Bp f.$*9Fkw qW'L}x 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
f>|<5zm#< 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
#%w)w R3 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
Z]x6np 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
1g j GaC 4. 说明:光学元件 ~O]{m,)n e1%kW1Z9 be$']}cP 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
4YR{
* 位相延迟平板材料为N-BK7。
>0uj\5h)I] 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
X5)(,036 透镜材料为N-BK7。
NEvNj 其中心厚度与位相平板厚度相等。
a6O <t;& <lLJf8OK #=;vg 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 UtQCTNjC{ X(\L1N WW2hwB( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
)lz~Rt;1i 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
7[!dm_ B9%%jEH* \Hf/8!q
Bf6i{`!G [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
c?REDj2 6. 分光器的设置 *)Cr1d k ZKq#PB/. 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
M'F<1( 7. 合束器的设置 )[|_q, "a3?m) l(}MM|ka 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
pLys%1hg WtaOf_ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 -GM"gkz ~"<^4h 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
i5&,Bpfo- 应用示例详细内容 El: @l%
仿真&结果 1iNMgA
9*huO# 1. 结果:利用光线追迹分析 |\/\FK]?] 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
@65xn)CD{ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
08D:2 z1z 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 rHk,OC Q'JK *.l *'-t_F'; 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
e+D]9wM8 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
K+XUC 3. 对准误差的影响:元件倾斜 m7C!}l]9 K]G(u"' 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
qxsHhyB_n; 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
'W>y v 4. 对准误差的影响:元件平移 3vjOfr` 元件移动影响的研究,如球面透镜。
?Zsh\^k.g 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
^SKHYo`,,N
c b&Yf1 6x=w-32+ y 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
{K6Z.-.` E^br-{|{ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
I%GQ3D"= G--(Ef%v' 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
! K_<hNG& C/#pK2xY 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
RqP_^tB 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
yU4mS;GX tf|;'Nc6 扩展阅读 [#RFdn< 1. 扩展阅读
)0ydSz`B 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
URg;e M# 开始视频-
光路图介绍 &R?to>xr\ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 LHXR7Fjc 其他测量系统示例:
=QbOvIq -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)