测量系统(MSY.0001 v1.1)
O ;B[ZMV ca$K)=cDW 应用示例简述 xR5zm%\ ~$ "P\iJ 1. 系统说明 bX&=*L+h6 140_WV?7
光源 8<X;
8R — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
,S=ur% 元件
p!~V@l — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
:.fm LL 探测器
8Nf%<nUv — 干涉条纹
'di(5 建模/设计
q!8aYw+c —
光线追迹:初始系统概览
lyyRyFfQ — 几何场追迹加(GFT+):
j |ZhGerp 计算干涉条纹。
+Rd;>s*.Y 分析对齐误差的影响。
I(:d8SF S8)6@ECC 2. 系统说明 zM|Y
X< 参考光路 (K|7T{B 
+T]D\];D Vqxxm&^P 3. 建模/设计结果 ~~3 BV,
5'[b:YC p6W|4_a? 4. 总结 XlU`jv+ OOj}CZ6 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Dt*/tVF I=9sTR) 1. 仿真
QNgfvy 以光线追迹对干涉仪的仿真。
5TS&NefM 2. 计算
xr1,D5 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
v,A8Mk2s# 3. 研究
E4N{;' 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
'P3jUc) y` 6!Vj l 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
[$%O-_x 应用示例详细内容 Q}:#Hz?U
系统参数
{Z(kzJwN
'o]8UD( 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 !juh}q&}| ~~X-$rtU 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
]}0QrD )TzQ8YpO} 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
o0:RsODl >K-S&Y 2. 说明:光源 6k*,Yei x3Ze\N8w i9j#Tu93 f 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
I7e.pm 因此,相干长度大于1m
cMp#_\B 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
h@yn0CU3. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
/V$U%0 9B?-&t
gis;)al zX}t1:nc 3. 说明:光源 B6xM#) Z=j6c" ![9umsx 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
|!E: [UH 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Wg!JQRHtT 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
0*yD
与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
<S68UN(Ke 4. 说明:光学元件 jWqjGX` :B
9> fv/Nf" 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
aK33bn'j 位相延迟平板材料为N-BK7。
z^^)n 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Z]qbLxJV 透镜材料为N-BK7。
G[$g-NU+ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
Z|$M 9E 8(ej]9RObU iR]K!j2 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ~kFL[Asnaf
jH>`: ]+A%37 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
FS^~e-A 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
3>QkO.b o&ETs)n| cB=ExD.Q
O_\%8*; [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
?/|KM8 6. 分光器的设置 XR|U6bf] 7!U^?0?/ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
#g= 7. 合束器的设置 `Vl9/IEk 1V.oR`&2E R9\ )a2 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
<NWq03:& f9D01R fo 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 c*.-mS~Z` 'S%H"W\ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
d$hBgJe>N 应用示例详细内容 je85G`{DC
仿真&结果 L Iz<fB
|p.|zH 1. 结果:利用光线追迹分析 &&g02>gE 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
hjD%=Ri0Z 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
N@0cn
q:" 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 &P7Z_&34Z }`.d4mm Xz`0nU 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
`vZX"+BAh 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
,&.$r/x|? 3. 对准误差的影响:元件倾斜 o$Ju\(Y$<+ PdtL
Cgd 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
lg
+ >.^7k 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
$b(CN+# 4. 对准误差的影响:元件平移 y*%uGG5 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Ad&VOh+0 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
!_P&SmK3
N "}N>xe2 EF6h>"']/ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
)2a)$qx; $*|M+ofQ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
RqX^$C8M TV=K3F5)M 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
#%EHcgF ,Qs%bq{t 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
,x$^^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
=f!clhO Y_K W9T_ 扩展阅读 ||?@pn\ 1. 扩展阅读
Xv3pKf-K 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
#_{Q&QUk 开始视频-
光路图介绍 =*1NVi $n -
参数运行介绍-
参数优化介绍 T*nP-b 其他测量系统示例:
K)U[xS;< -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)