测量系统(MSY.0001 v1.1)
9M3XHj -O.q$D=as 应用示例简述 R`? '|G]P sEpY&6* 1. 系统说明 ZWZRG-:&H QnsD,F; /
光源 huj 6Ysr — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
I9xQ1WJc` 元件
,+0#.Ns$ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
T%{qwZc+mJ 探测器
!j'9>G{T — 干涉条纹
aS
]bTYJ' 建模/设计
!q:[$g-@q —
光线追迹:初始系统概览
R>BZQugZ~ — 几何场追迹加(GFT+):
E-P;3lS~ 计算干涉条纹。
xcBV,[E{ 分析对齐误差的影响。
,(h:0L2v7d u9-:/<R#}y 2. 系统说明 H/qv%!/o 参考光路 U ?vG?{A 
nE_g^ ^FaBaDcnl 3. 建模/设计结果 W{pyU\
-4
~(* >=G-^z: 4. 总结 YVcFCl Q-scL>IkCb 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
tOQ2947zk \UBTNY, 1. 仿真
oD0WHp 以光线追迹对干涉仪的仿真。
{s ]yP_ 2. 计算
o>(I_3J[p 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
l*~ ".q;S 3. 研究
P0R8
f 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
;,d^=:S6@ 6N7^`ghTf 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
(jR7D"I 应用示例详细内容 7x6q:4Ep\
系统参数 @xKfqKoqg
I_QWdxn 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 nT(Lh/ *@2+$fgz 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
BZ2frG\0&I ^oykimYI- 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
w(>mP9Cb ~"eQPTd 2. 说明:光源 A6ar@$MZ n U0 ]@Gw$ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
;nzzt~aCC 因此,相干长度大于1m
UbWeE,T~S 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
UEm~5,>$0 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
e}F1ZJz ,CGq_>Z
u 2)#Ml OI@;ffHSW 3. 说明:光源 G@Jl4iHug" @;^7kt C r A7lu' 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Ub>Pl,~' 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
zO@7V>2 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
M1>2Q[h7 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
pwu8LQ3b{O 4. 说明:光学元件 /'yi!:FZFC <1^\,cI2 Cob<N'. 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
g8+Ke'=_ 位相延迟平板材料为N-BK7。
s":\> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Sj,>O:p 透镜材料为N-BK7。
be@\5
其中心厚度与位相平板厚度相等。
VG)Y$S8.> ( E8(np D%WgE&wtM 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 aDDs"DXx { \r1A @bkZ< Gq 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
GnCO{"n 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
8 !{;yz /,tQdD& != @U~X|cu
|I0O|Zdv [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
:o2^?k8k 6. 分光器的设置 k+D32]b@ |FR'?y1 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
dn? #}^," 7. 合束器的设置 G$P|F6
@,=E[c
8 /:<.Cn>- 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Z`W@Od$f z?b[ 6DLV; 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 y4^w8'%MC %T_4n^beFQ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
7H,p/G?]k 应用示例详细内容 BGe&c,feIc
仿真&结果 S4'\=w#
<`rl[C{ 1. 结果:利用光线追迹分析 c@uNA0
p 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
.lcI"%> 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
!BQ:R(w 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 sz7|2OV"
>k\lE( |=xK-;qs 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
T#>1$0yv 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
QcXqMx 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ME9jN{ le n)~9 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
x|TLMu=3= 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
t7(#Cuv- 4. 对准误差的影响:元件平移 6)@Y 41H]C 元件移动影响的研究,如球面透镜。
G#|`Bjv"aP 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
I_h8)W
7,pn0,HI 1=9M@r~ ^ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
@@])B# vz~QR i* 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
gM5`UH| <8'-azpJ6< 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
RCgn\ ;q3"XLV(T[ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
2G(RQ\Ro* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
*h H\H
|z5`h 扩展阅读 +
Q $Jq 1. 扩展阅读
*k (|r> 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
M?3Nh; 开始视频-
光路图介绍 sfN6ro -
参数运行介绍-
参数优化介绍 Z0(}doh 其他测量系统示例:
t/3t69 \x -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)