测量系统(MSY.0001 v1.1)
W O+?gu CwEWW\Bu 应用示例简述 c=jI.=mi3 YjIED,eRv 1. 系统说明 &)"7am(S` JQbMw>Y
光源 wk@(CKQzI, — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
WV!kA_ 元件
Vx7Dl{?{' — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
\{+nXn 探测器
5>4A}hSe — 干涉条纹
3>@qQ_8%~ 建模/设计
3<UDVt@0 —
光线追迹:初始系统概览
faL^=CAe — 几何场追迹加(GFT+):
;SlS!6.W- 计算干涉条纹。
u=v%7c2Mx} 分析对齐误差的影响。
[ilv/V< abJ@>7V 2. 系统说明 qqom$H< 参考光路 -Y jv&5 
h2/1S{/n] 2
Zjb/ 3. 建模/设计结果 yK>0[6l
RwE*0 T \dxW44sM 4. 总结 sKB-7 +v[$lh+ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
[;V1y`/K1 <
jocfTBk 1. 仿真
Zh~Lm 以光线追迹对干涉仪的仿真。
<*(UvOQuX 2. 计算
/YugQ.>| l 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
GFc 3. 研究
UN
.[,%<s 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
D -+)M8bt D'sboOY 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
4pTuP / 应用示例详细内容 1~xn[acy
系统参数 tm36Lw
m9<[bEO<$ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 LG@c)H74 LOb'<R\p 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
ga1gd~a l^eNZ3:H 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
eze(>0\f D@b<}J>0' 2. 说明:光源 t ]I(98pY ':R3._tw\ ?D^,K`wY=B 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
/HJ(Wt
q 因此,相干长度大于1m
=*>4Gh
i 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
7%"\DLA 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
+D-+}&oW \`%Y-!H+v
y[5P<:&s wyA(}iSq 3. 说明:光源 WoWM ;
# ?0#):- VU0tyj$ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
zQj%ds: 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
at(p,+ % 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
c'Tu,- 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
\gzwsT2& 4. 说明:光学元件 <pl2
dxy w3bH|VnU8; <%#y^_ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
[.Wt,zrE 位相延迟平板材料为N-BK7。
&'ETx" 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
#M9D"
<pn} 透镜材料为N-BK7。
W*DIW;8p 其中心厚度与位相平板厚度相等。
~md|k ?nSp?m; tfKeo|DM" 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &MQt2aL 1o8"==n%
UoS;!}l 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
|>}0? '/] 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
<w2NJ~M^ 8\.1m9&r>o (*WZsfk>/<
898wZ{ 9 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
=ObtD" 6. 分光器的设置 JTB~nd> 42LXL*-4 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
95 .'t} 7. 合束器的设置 pfQZ|*>lkb ?uX6X'- 5 /jY=/0.a 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
ee0>B86tE tKsM}+fq 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 c%Cae3; Y6%OV?}v! 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
_
*s 应用示例详细内容 m;+1;B
仿真&结果 +U)|&1oa
3N*C] 1. 结果:利用光线追迹分析 q[+:t 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
I_I;.Ik 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
'*;eFnmvs: 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 5{/Pn%5 PZg]zz=V4 }ZVv 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
78J.~v/ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
.:!x*v 3. 对准误差的影响:元件倾斜 B:#0B[ L=wFo^N 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
safS>wM] 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
]JPPL4wAT 4. 对准误差的影响:元件平移 {ZEXlNPww 元件移动影响的研究,如球面透镜。
YIUmCx0a 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
_"bvT?|
2OlC7X{ P(nHXVSUE 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
UMW^0>Z!v !,!tNs1 K 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
WM
)g(i~( ;U3Vows 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
x2c*k$<p *xTquV$ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Eq;frnw>q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
6U9Fa=%>} Ns8NaD 扩展阅读 /r@ 1. 扩展阅读
5nqdY* 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
+1fOW4!5 开始视频-
光路图介绍 vS__*}^ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 3Il/3\ 其他测量系统示例:
\1'R}B@; -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)