测量系统(MSY.0001 v1.1)
}'Z(J)Bg p@Qzg
/X 应用示例简述 c?opVbJB\ GUcuD^Fe 1. 系统说明 hrXN38- 0dgR;Dl(
光源 gbInSp`4 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
f|q6<n_nM 元件
Lv_6Mf( — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
10 p+e_@ 探测器
O Ov"h\, — 干涉条纹
{`3;Pd` 建模/设计
{?j|]j —
光线追迹:初始系统概览
G;^iwxzhO — 几何场追迹加(GFT+):
4bJ3uIP# 计算干涉条纹。
xpS#l"dr 分析对齐误差的影响。
),~Ca'TU =LT( {8 2. 系统说明 ~q1s4^J 参考光路 pw$I~3OFd 
jV7q)\uu^ R
UX 3. 建模/设计结果 QOP*vH >J
`b]
NB^/ NuP@eeF>, 4. 总结 @*_K#3 JEP"2M N, 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
>PYe" d[S!e`,iD 1. 仿真
%V+,# 以光线追迹对干涉仪的仿真。
`V?{ 2. 计算
pa\]@;P1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
fx}R7GN2 3. 研究
SS`\,%aog 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
JN8k x;@ ec3('}X 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
v\HGL56T 应用示例详细内容 =9)ypI-2
系统参数 qQom=x
PuOo^pFhH 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 G!Uq#l> ~M\s!!t3 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
GN>T } R4v=i)A~Z 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
5q)Eed b#]in0MT?@ 2. 说明:光源 r`&ofk1K kNjbpCE\! V~+Unn
使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
t]vz+VQ 因此,相干长度大于1m
|MRxm"]A
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
gVD!.
在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
:J<S-d= ML'R[~|
%v|,-B7Yx PCU6E9~t2 3. 说明:光源 S\ li<xl SKS[Lf "TxXrt%>A 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
dE^'URBiA 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
lS,Hr3Lz 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
)V>FU= 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
D!-zQ`^ 4. 说明:光学元件 Mdy H/.Te #uH1!UQb 95+}NJ;r 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
bWyXDsr+ 位相延迟平板材料为N-BK7。
;WzT"yW)T 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
1X{A}9nA 透镜材料为N-BK7。
?Cu$qE!h)[ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
:Ert57@l ce;9UBkOg2 "~Eo=R0O 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 tz)L`g/J~ $b8>SSz J7$=f~$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
2T|L##C 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
~+d]yeDrhx bVVa5? HP *$s)p >
:2?'mKa7 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
7_{x '#7 6. 分光器的设置 Fq{nc]L6 6^wiEnA 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
;j(xrPNb 7. 合束器的设置 S=my;M- zxj!ihs< YnNei 7R 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
ngNg1zV/q Y<|L|b6 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 (0k0gq; bEy%S"\< 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
kg-%:;y. 应用示例详细内容 O
,DX%wk,
仿真&结果 @!F9}n
AP
6qw_ |A&g 1. 结果:利用光线追迹分析 Gis'IX( 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
l"vT@g| 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
5}By2Tx 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ).&$pXj YV2^eGr. %+'&$ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
CsE|pXVG 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
J=Jw"? f 3. 对准误差的影响:元件倾斜 F:H76O` 8 |Rl|Th 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
7'<4'BGzl] 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
(*2"dd 4. 对准误差的影响:元件平移 q2SkkY$_]y 元件移动影响的研究,如球面透镜。
5 Fd ]3 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
6HEl1FK{@
JlH|=nIaj6 X~R
qv5@- 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
'}}DPoV &"CS1P| 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
2R_k$kHl g VuN a) 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
a`{'u)@ 5G2u(hx 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
=6 [!'K 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
aNwDMd^+ 8cd,SQ}y 扩展阅读 Kp99y 1. 扩展阅读
2L\h+) 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
xr=f9?%R 开始视频-
光路图介绍 :3G9YjzC} -
参数运行介绍-
参数优化介绍 Oq.)
8E. 其他测量系统示例:
zb3ir| -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)