测量系统(MSY.0001 v1.1)
pm|]GkM an@Ue7 应用示例简述 u{^Kyo#v )`0 j\ 1. 系统说明 HRh".!lxy 2j|Eh
光源
EwsJa3
` — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
OC.@C}u 元件
p `Z7VG — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
OW^7aw(N6 探测器
Er`PYE
J — 干涉条纹
ppS`zqq $ 建模/设计
<taW6=;c —
光线追迹:初始系统概览
*O2j<3CHf — 几何场追迹加(GFT+):
jiDYPYx;I 计算干涉条纹。
oyY,uB.| 分析对齐误差的影响。
[sRQd;+ igCtq!.a 2. 系统说明 L x&ZWF$ 参考光路 Vy VC#AK, 
nz+KA\iW 75ob1h" 3. 建模/设计结果 `MS=/x E
(Nf.a4O I_Qnq4Sk( 4. 总结 x~.U,,1 8V=o%[t 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
N:.bnF( a gzG 1. 仿真
{I
,' 以光线追迹对干涉仪的仿真。
{DR+sE 2. 计算
a;sZNUSn 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
ZVL0S{V-mh 3. 研究
WF7RMQ51j 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Z^3Risi &3efJ?8 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
_!ed.h.r: 应用示例详细内容 OZD/t(4?6s
系统参数 D.~t#a A
bB["Qd}Q 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $qqusa}`K JB7]51WH@ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
+gkB f~Su F,o@h 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
GupKM%kM xN]bRr 2. 说明:光源 622).N4
slbV[xR bPEAG=l "- 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
j!l(ReGb 因此,相干长度大于1m
&2DW 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
ZJqmD 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
w,&RHQB G[mYx[BTz
%k~=iDk@ 3
V<8 3. 说明:光源 h
? M0@Z u|C9[( Gu-Sv!4p 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
N78Ev7PN 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
#{(rOb6H) 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
MB)xL-j O 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
c=5$bo]LI 4. 说明:光学元件 JQb]mU%?
Z-:`{dns/ ?s//a_nL* 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
"](~VF[J8 位相延迟平板材料为N-BK7。
AQ&;y&+QR 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
@RC_Ie=#) 透镜材料为N-BK7。
;O CYx[| 其中心厚度与位相平板厚度相等。
:2?du ? DPL7 /#a$4 }2L 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 <D__17W:; B\6\QQ;rUo b(yY.L=K 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
QxK%ZaFZA 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
B`vV[w? sG3%~ |qBo*OcO
p(v.sP4w [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
lr1i DwZV 6. 分光器的设置 uJ[dO} Ne=D$o 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
-6?5|\ 7. 合束器的设置 oyUf/Sl k,?k37%T] Co'dZd( 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
z:w7e0 O_E[FE:+ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 (qaY,>je]D G B15 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Z'\_YbB 应用示例详细内容 <