测量系统(MSY.0001 v1.1)
{i}z|'! ">?ocJ\9 应用示例简述 e7fA-,DV s*blZdP 1. 系统说明 +s(JutC P[|FK(l
光源 7hQf
T76h — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
E Z^eEDZ 元件
;a]Lxx;- — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
lz=DP:/& 探测器
gc%aaYf> — 干涉条纹
D'dE!CAUs 建模/设计
G'*_7HD —
光线追迹:初始系统概览
w>RBth^p — 几何场追迹加(GFT+):
GQZLOjsop 计算干涉条纹。
d~lB4 分析对齐误差的影响。
Z @:5vo IYJS>G%* 2. 系统说明 Yn0l}=, n 参考光路 bC[TLsh7{2 
\dIc_6/D1 Y+ZQN> 3. 建模/设计结果 LdSBNg#3
%TO=]>q ppwjr
+ 4. 总结 ]klP.&I/0 @O~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
IV"OzQONx v^Vr^!3 1. 仿真
OK=lp4X 以光线追迹对干涉仪的仿真。
$}{u6*u., 2. 计算
HkGA$ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
T?p'R 3. 研究
Afpj*o 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
95`Q=I|i !^o(?1 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
BE&P/~(C 应用示例详细内容 |2!!>1k
系统参数 +Lq;0tRC
D][e uB 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 5kX#qT= KJ7[DN'( 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
!OM
P] M5mCG 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
vcsrI8+ w|~d3]BqT 2. 说明:光源 ^H0`UKE `5y+3v~" Lk%u(duU^ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
A5d(L4Q]a( 因此,相干长度大于1m
[1I>Bc&o* 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
/}_OCuJJ, 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
F vJJpPS (6 jr}kP
RVlAWw( 2u0dn?9\ 3. 说明:光源 =cy;{2S'p M<f=xY2$v r_sZw@lqJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
c1v,5c6d j 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
FTB@70 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
os\"(*dix 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
:z;}:+7n 4. 说明:光学元件 Yl65|=ne k+(UpO=/* 1[QH68 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
T?!&a0 位相延迟平板材料为N-BK7。
=xO q-M 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
"IOu$? 透镜材料为N-BK7。
%-z AV*> 其中心厚度与位相平板厚度相等。
owYSR?aG E8-8E2i, 0baq696<F 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Dxc`K?M ^':Az6Z MoKGnb 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
` ,B&oV> 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
$EHnlaG8r NNWbbU3wjh 8}Pd- .se
|+?ABPk" [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
/]/3)@wT 6. 分光器的设置 !fFmQ\|)4S +6vm4(3? 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
@IaK: 7. 合束器的设置 {.W$<y (j7 IN? A`A vXUrS+~x 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Sb&sW?M !}sYPz]7! 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 m"B)%?C# RI#Cr+/ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
8T5s6EmIOW 应用示例详细内容 b"Hg4i)
仿真&结果 NN<kO#c+2
bSW!2#~ 1. 结果:利用光线追迹分析 Z`fm;7NiVG 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
Ji7%=_@'-# 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
7)S;VG k 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ^s@?\v 9v(&3,)a %eoO3"// 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
Dk#$PjcRE 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
urT!?*g, 3. 对准误差的影响:元件倾斜 _7SOl.5ZE "FC;k
>m 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
=bUVGjr%96 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
s[:e '#^ 4. 对准误差的影响:元件平移 j)Z3m @Ii5 元件移动影响的研究,如球面透镜。
'C6K\E 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
U8?%Dq%i
l?_Iu_Qp B\2<r5|QG 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
mw<LNnT{8 GgH=w`;_ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
Sqw.p# UzVnC: 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
clz6;P 6:i(<7 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
6Lw34R 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
EEQW$W1@ Pms"YhyZ7 扩展阅读 zJWh 1. 扩展阅读
"Vp+e%cqG 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
TY"=8}X1 开始视频-
光路图介绍 sygAEL;. -
参数运行介绍-
参数优化介绍 ukV1_QeN[ 其他测量系统示例:
qw[)$icP -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)