测量系统(MSY.0001 v1.1)
yf|,/{S >L5fc". 应用示例简述 TFZvZi$u& "n<rP 3y 1. 系统说明 |E{tS,{OhJ 1zo0/<dk
光源 k8>(-W"A — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
4Cd#S9<ed 元件
Y!3Mm* — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
a#i85su 探测器
0 QzUcr)3+ — 干涉条纹
z@70{* 建模/设计
Tbf@qid e —
光线追迹:初始系统概览
hMcSB8 ? — 几何场追迹加(GFT+):
O
&/9wi>!q 计算干涉条纹。
s,5SWdb\v 分析对齐误差的影响。
=1!,A !yUn|v>&p 2. 系统说明 uj8G6'm% 参考光路 xg:r5Z/|) 
$5(_U
24Y8n 3. 建模/设计结果 f+}Rj0A
!@6P>HzY$ gzHMZ/31 4. 总结 M lv cImOZx 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
B/:+(|
;f]p`!]
3 1. 仿真
FWi c/7 以光线追迹对干涉仪的仿真。
W^o*^v 2. 计算
4jWzYuI&J 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
\IL;}D{ 3. 研究
6[b?ckvi 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
t^8ii Mz?xvP?z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
jb~W(8cj 应用示例详细内容 O
}ES/<an
系统参数 >M}\_c=
For`rfR 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 sl5y1W/]] FJ/>=2^B 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
b 8vyJb,K mYU7b8x_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
[RAzKzC\M *qX! 2. 说明:光源 A-=B#U F t:NYsL G,{=sFX 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
r>>4)<C7J 因此,相干长度大于1m
V6c>1nZ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
;~A-32;Y4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
oVD)Fb%[i9 `[OJ)tHE
qI] PM9 DH@]d0N 3. 说明:光源 T(GEFntY AX`>y@I 5s5GBJ? 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
g6s&nH`Z2 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Q|gw\.]$&[ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
_f"HUKGN 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
P!6v0ezN 4. 说明:光学元件 `:aml+ {6y@;Fd 31y>/*} 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
iXF iFsb 位相延迟平板材料为N-BK7。
i)@IV]]6yL 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
#hKaH - j 透镜材料为N-BK7。
P' ";L6h 其中心厚度与位相平板厚度相等。
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L#%H( tRUGgf` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图
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