测量系统(MSY.0001 v1.1)
:0(^^6Q\ uQbag]&j 应用示例简述 pjS##pgVq v&G9HiH 1. 系统说明 &a'mG=(K_c CvRCcSJM\2
光源 l'[;q ' — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
\C~6
' 元件
=e
1Q>~ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
'LG\]h>+) 探测器
cXt&k — 干涉条纹
!nL94:8U 建模/设计
TDfloDxA —
光线追迹:初始系统概览
d~_5Jx — 几何场追迹加(GFT+):
:j3^p8] 计算干涉条纹。
7hx^U90K 分析对齐误差的影响。
EP;ts B>'J5bZsw 2. 系统说明 X&aQR[X 参考光路 VJ'-"8tY& 
([a;id 82r{V:NCK) 3. 建模/设计结果 s\3]0n9
rZ.=Lq 8zRw\]? 4. 总结
c)Ef]E\ @G#`uoD 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
/ QL<>g ?nu<)~r53 1. 仿真
8hy1yt6t4~ 以光线追迹对干涉仪的仿真。
D->E& # 2. 计算
JcP<@bb>B 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
)40YA\V 3. 研究
@|<nDd{2 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
<l,e6K G,Yctv 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
M7Z&t'= 应用示例详细内容 0Z((cI\J
系统参数 E{-pkqx
8KP 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 R.*
k7-(; ~ cu+QR) 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
p}GTOJT} OmK0-fa/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
*a_QuEw_k 6,CK1j+tZ 2. 说明:光源 +N B5Fd4 $hk_v~zM 8zeD%Uv 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
v(sS$2J|} 因此,相干长度大于1m
# 6?2 2Os 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
N/0Q`cQ- 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
#Sg/ YP"%z6N@v
&,XPMT uY3$nlhP6 3. 说明:光源 DVs$3RL hI<$lEB ;F, 6]LH! 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
@ohJ' 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
)086u8w )y 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
bDw\;bnG 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
D 5Z7?Y 4. 说明:光学元件 S +73 /Vs Ax!@vL&@ 2j>C4Ck 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
'+^XL6$L 位相延迟平板材料为N-BK7。
j\.pS^+ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
JKXIxw>q 透镜材料为N-BK7。
sh<JB`^$(? 其中心厚度与位相平板厚度相等。
HwMe^e; 1*@Q~f:Uk k8.,id 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 [.G~5%974 T5-'|+ jI}{0LW&F& 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
h2]GV- 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
E&W4`{6K4 %%O_:@9x, Mr K?,7*Xi
+w3k_^X9c [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
#>$w9}gFi 6. 分光器的设置 BxxqzN+ 5i3nz=~o 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
qp1rP# 7. 合束器的设置 zgpvI~Ck ~65lDFY/ N;,N6&veK/ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
xaSiG K)8 m?sf/ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @)@hzXQ <_Po/a!c3 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
fAR0GOI 应用示例详细内容 U
&W}c^#
仿真&结果 }5;3c %
.3,Ow(3l 1. 结果:利用光线追迹分析 +Mh 9Jf 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
+@oo8io 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
&]' <M 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 Sh5SOYLz flfE~_ )N&v.w 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
{I_I$x_ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
9=^4p=1J 3. 对准误差的影响:元件倾斜 @)wNINvD Wr;?t! 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
<wt9K2, 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
}NJ? .Y 4. 对准误差的影响:元件平移 j]_"MMwk$< 元件移动影响的研究,如球面透镜。
_9zydtw 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
(hX}O>
ViT$]Nv s*pgR=dZZ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Z,Tv8; D3%`vqu& 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
U5wO;MA t[L'}ig!q 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
n\y%5J+ lN^} qg>< 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
lF LiW 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
DPsf] _-I 0f##. 扩展阅读 (Sg52zv 1. 扩展阅读
APksY! 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
DV/P/1E 开始视频-
光路图介绍 $.@)4Nu!_ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 0SziTM 其他测量系统示例:
N^.!l_ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)