测量系统(MSY.0001 v1.1)
(''M{n OQ>x5?um
应用示例简述 jp"JafS/E x-AZ%)N9 1. 系统说明 8&3V#sn' 3`B6w$z>(
光源 CFqJ/'' — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
k?z98 >4 元件
K!'AkTW+- — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
x7<\]94 探测器
rZfN+S,g — 干涉条纹
OV%Q3$15 建模/设计
kWe{r5C7 —
光线追迹:初始系统概览
6C]1Q.f; — 几何场追迹加(GFT+):
]Qfn(u=o 计算干涉条纹。
@*Wh 分析对齐误差的影响。
0em#-*|2" e=Z,
Jg 2. 系统说明 z[cyA. 参考光路 Ircp``g 
oA =4=` &Ibu>di4[ 3. 建模/设计结果 8ZKo_I\
3v
mjCm F^5?\ 4. 总结 :L1dyVA{ 6q]5Es< 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
IZ=Mlu i2sN3it 1. 仿真
AjT%]9
V? 以光线追迹对干涉仪的仿真。
xZQg'IT 2. 计算
9uer(}WKT 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
h~p>re 3. 研究
m^H21P"z 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
#%D_Y33; +> WM[o^I 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
CMCO}# 应用示例详细内容 ;[W"mlM
系统参数 g-e#!(
;Y;qg
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 T[sDVkCbxf lK4M.QV
?\ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
7hi"6, +Wx{: 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
^ mS
o1?< ^~$)F_`" 2. 说明:光源 >zhO7,=, nIoPC[%_
:J:,m 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
qR8u$2}NY 因此,相干长度大于1m
.>mr%#p 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
5e}A@GyC 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
.'rW.'Ft x)JOClLr
>A<bBK# .%^]9/4 3. 说明:光源 K"0PTWt a?6ab+7# [ e8x&{L-_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
]b= P= 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
GG0R}',0 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
*JaqTI,e 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
y8 KX<2s1 4. 说明:光学元件 2l
F>1vH TD9;kN1` Udc=,yo3Qm 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
v9D22,K- 位相延迟平板材料为N-BK7。
24/XNSE,- 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
fnNYX]_bk 透镜材料为N-BK7。
IZm(`b;t^ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
8> .J1C \oEo~ :UbM ! 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 W0C@9&pn6 E%'~'[Q GV^i`r^" 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
3"kdjOB 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
`D":Q=: e+]6OV&+ =;3fq-
A5+rd{k/ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
h8X g`C\ 6. 分光器的设置 |hO~X~P p[@5&_u(z 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
#!9S}b$ 7. 合束器的设置 &tZG
@ xy<`# r&2~~_d3y 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
/\w)>0 3GmeD/6 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 TP}h~8 /; Ic{F*nnM 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
X<MO7I 应用示例详细内容 tdEnk.O
仿真&结果 Y(+^;Y3U
x%< 1. 结果:利用光线追迹分析 .p ls! 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
?hR7<02 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
p:OPw D+ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 {0@&OO:w HJC(\\~ \NGC$p n 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
?|1Mv1C? 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
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3 3. 对准误差的影响:元件倾斜 X>I)~z}9# e2+BWKaU 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
W{5:'9, 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
H3H_u4_?SE 4. 对准误差的影响:元件平移 }%-t+Tf, 元件移动影响的研究,如球面透镜。
;@nFVy>U 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
gUAxyV
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d[ G\;}w 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
S\wW)Pv8 3pXLSdxB 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
$2MAZGJV o3Vn<Z$/Cl 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
XYH|;P6K zD)pF1,7:8 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
,WQ^tI=O 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
/U$8TT8+- a1.|X i'/z 扩展阅读 mF09U(ci 1. 扩展阅读
3p*-tBOO 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
-z:&*= 开始视频-
光路图介绍 ;XC@=RpX -
参数运行介绍-
参数优化介绍 ` r']^
, 其他测量系统示例:
MDRe(rF= -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)