测量系统(MSY.0001 v1.1)
v:KX9A. ^q
;Cx7T_p 应用示例简述 lT]=&m> !(Krf 1. 系统说明 IU@_)I+6 9UwLF`XM
光源 Lf. 1>s — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
}g`Gh|C 元件
!z"Nv1!~| — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
mN;+TN'?{ 探测器
[C1 LT2a — 干涉条纹
Ekv89swl`i 建模/设计
{<2>6 _z —
光线追迹:初始系统概览
%Rp8{.t7 — 几何场追迹加(GFT+):
j{"z4Y4 计算干涉条纹。
'0|o`qoLzA 分析对齐误差的影响。
|; $Bb866/ fXO_g 2. 系统说明 mEFw|M{ 参考光路 e+'%!w"B 
xCWz\-; hSB?@I4s<\ 3. 建模/设计结果 jd 1jG2=f
jin db#)bz +2RNZEc 4. 总结 q"akrI38 ;+ azeW^ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
5 L/x-i 6;o3sf@Tf 1. 仿真
hN 以光线追迹对干涉仪的仿真。
F8<"AI 2. 计算
DP9LO_{ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
}`xdWY 3. 研究
@w\I qr
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
`0bP0^w ExVDkt0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
%@?A_jS 应用示例详细内容 0:"2MSf>
系统参数 W@.Ji B
Q&CElx?L 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `
#OSl hmpr%(c ` 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
wN97_Y=`n |a-fE]{7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
ZF6c{~D @MiH(.Dq 2. 说明:光源 HeLG?6 "Y;}GlE Qd]we$G 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
_V2xA88 因此,相干长度大于1m
.5w azvA 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
=Mj0:rW 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
;),"M{"v ^{F_a
"l7NWqfB eF~dQ4RZ 3. 说明:光源 =2Cj,[$ X(@uw X$m /@"Y^ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
s?2$ue&-f 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
)1
m">s4 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
",yc0 2< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
<lE?, jl 4. 说明:光学元件 !4(zp;WY^ >yB(lKV )Ry<a$Q3 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
d\]Yk]r 位相延迟平板材料为N-BK7。
.ubE2X[ ][ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
T/pqSmVpM 透镜材料为N-BK7。
`d\r;cE%lm 其中心厚度与位相平板厚度相等。
!cSq+eD q{0R=jb +s++7<C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图
8|6
4R: 1oiRW Re M|,mr~rRG 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
}}|)Yq 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
k(t}^50^j mN|r)4{` piy`zc-yu
g[H',)A) [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
oGa^/:6L 6. 分光器的设置 :,B7-kBw -=`#fDvBn 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
8NBT|N~N 7. 合束器的设置 zCv"]% 6$\jAd| T 20&F 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
4_A0rveP UCWV2Mu 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 lVOu)q@l7g ]hos+;4p 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
2*w0t:Yxe 应用示例详细内容 #@HF<'H}mu
仿真&结果 YNwp/Y
ryB}b1`D 1. 结果:利用光线追迹分析 ':{>a28= 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
:cB=SYcC% 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
L){iA-k;Ec 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 w| `h[/, 0:w"M<80 'k;rH!R 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
1W7%1FA 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
Ar*^;/ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 b 5yW_Ozdh h2ytS^ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
A, 3bC 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
wE+${B03 4. 对准误差的影响:元件平移 X+UJzR90 元件移动影响的研究,如球面透镜。
(aOv#Vor]% 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
!?c|XdjZ
.<@8gNm3 1`ayc|9BR 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
{|I;YDA _SW3_8SuM. 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
%_ !bRo UMAgA!s 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
-f*P
nxg F~h7{@\ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
9IX/wm" 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
;)N>t\v AGLscf. 扩展阅读 ns6(cJ^a 1. 扩展阅读
hzk cP 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
th;{V%:LW 开始视频-
光路图介绍 :POj6j/ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 <HbcNE~ 其他测量系统示例:
!pD*p)`s -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)