测量系统(MSY.0001 v1.1)
5'Mw{` ;rJ#>7K 应用示例简述 Qm3RXO 8QFRX'i 1. 系统说明 >taT
V_, cCtd\/ \
光源 7<Ut/1$MI — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
n-9X<t|*?a 元件
+],2smd@N — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
-J!k|GK#MX 探测器
blV'-Al — 干涉条纹
Y$q--JA 建模/设计
/4BYH?* —
光线追迹:初始系统概览
_#U hXXD — 几何场追迹加(GFT+):
2\}6b4 计算干涉条纹。
M>Ws}Y 分析对齐误差的影响。
XK
l3B=h 9LEUj 2. 系统说明 ELV$!f|u 参考光路 MM+nE_9lV 
d cht8nX7~ ilj9&.isB 3. 建模/设计结果 0w^awT<$6
\]/6>yT YF");itH 4. 总结 ]s_BOt 5#? HL 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
&
V/t0 ;#D:S6 L 1. 仿真
Vzrp9&loY 以光线追迹对干涉仪的仿真。
oX]c$<w5 2. 计算
}WkR-5N 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
bF3}L=z 3. 研究
zI>,A|yy 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
i*vf(0G v/Ei0}e6~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
tdRnRoB 应用示例详细内容 nIP*yb}5
系统参数 ZYW=#df R
|
\JB/x 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 tTrue? ;fDs9=3# 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
*j=
whdw%J \\Huk*Jn{ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
OGO4~Up &@D,|kHk 2. 说明:光源 n|iO)L\9aB r(qU~re'
ddjaM/.E 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
VJ(#FA2 因此,相干长度大于1m
Z4Qq#iHZR 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
0~XZ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Ik|nL#JH] D7x"P-ie
Q|o~\h< nz]+G2h 3. 说明:光源 3+jqf@ fO S(*SUH J4ltHk.| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
/e}NZo{)g 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
o;@T6-VH 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
4h~o>(Sq 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
#}!Ge 4. 说明:光学元件 E|d 8vt H6XlSj 'e>0*hF[ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
Bq]eNq 位相延迟平板材料为N-BK7。
4HK#]M>yz 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
7.l[tKh 透镜材料为N-BK7。
5)GO 其中心厚度与位相平板厚度相等。
anTS8b
!7-dqw%l @ zE>n 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Ie~#k[X ^i^/d# rBZ0(XSZQ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
auTApYS53 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
=)3tVH& 58Fan*fO Xo>P?^c4?
{\L /?# [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
$>;U^- #3 6. 分光器的设置 f6ad@2 1/YWDxo, 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
@4D$Xl 7. 合束器的设置 O&?i8XsB qqSf17sW !;^sIoRPV 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
/JfRy%31 c?{&=,u2 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 H1>}E5^? %_!YonRY|X 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
fKMbOqU_ 应用示例详细内容 DUxj^,mf,
仿真&结果 &C+pen)Z
LuB-9[^< 1. 结果:利用光线追迹分析 7p(^I*| 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
mpBSd+;Z 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
geL)v7t+# 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 <8>gb!D G < 6[XE r(IQ)\GR 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
D}wM$B@S 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
"]81+
D 3. 对准误差的影响:元件倾斜 SXn1v.6 Lmx95[#@a 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
e`fN+ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
cbD&tsF 4. 对准误差的影响:元件平移 i:wTPR 元件移动影响的研究,如球面透镜。
+^
n\?! 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
~r6qnC2
,mR$YT8 jemg#GB8 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
#y"EhwF 'PF?D~ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
vd>X4e^j cTpAU9|( 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
/AX1LYlr )pV5l|` 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
y|1,h}H^n 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
5 iUT# ,c#=qb8"" 扩展阅读 .olDmFQD 1. 扩展阅读
4hep1Kz% 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
Np=IZnpt 开始视频-
光路图介绍 x,a(O@ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 tY^ MP5* 其他测量系统示例:
st"uD\L1p: -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)