测量系统(MSY.0001 v1.1)
taixBNv [[&)cbv 应用示例简述 "&Ff[O* v2(U(Tt 1. 系统说明 6s&qZ+v- -D;lS
6
光源 ,?fN#gc : — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
n)Hk8)^8 元件
jPj2 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
dJaEoF 探测器
SUo^c1)G — 干涉条纹
=s6E/K 建模/设计
y
'mlee —
光线追迹:初始系统概览
C*$|#.l — 几何场追迹加(GFT+):
]|;7R^o3| 计算干涉条纹。
*|sxa# 分析对齐误差的影响。
z,M'Tr.1| Sr-|,\/O 2. 系统说明 (UXv,_"nU 参考光路 FBcm;cjH 
Plb}dID" 7<fL[2- 3. 建模/设计结果 {$3j/b
k RQ~hRT6 QZ?O;K1|y 4. 总结 Euqjxz 2(hvv- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Ko@zk<~"[ KxGKA 1. 仿真
)K8P+zn~ 以光线追迹对干涉仪的仿真。
P4i3y{$V 2. 计算
NYGmLbq 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
C+T&O 3. 研究
CG CQa0 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
U2VV[e)Z! Ck:#1-t8{ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
dD : 应用示例详细内容 10/x'#(
系统参数 E`Q;DlXv>
,0BR-# 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 q^)=F_QvG <g]
ou
YHZ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
zoJ_=- *s /rn" 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
7s0)3HR} P"oYC$ 2. 说明:光源 u,:CJ[3 U LV)0SB 44Q6vb? 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
'y'T'2N3 因此,相干长度大于1m
#4Dn@Gqh.Y 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
83\o( 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
/A%om|+Gq 1 ,#{X3
"xL;(Fqu =X)Q7u".7 3. 说明:光源 X\o/i\ C} ~8XX3+]z:X )>-77\ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
x-w`KFS 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
R.91v4J 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
JZWgr&O< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
'bZMh9| 4. 说明:光学元件 i7i|370 x{=[w` Pz5ebhgq 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
e} sc]MTM 位相延迟平板材料为N-BK7。
EC^Ev|PB\u 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
7( yXsVq 透镜材料为N-BK7。
_8,vk-,' 其中心厚度与位相平板厚度相等。
fO[Rf_ |h#DL$ "Czz,;0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 73&]En dE 3i= X{5v?4wI 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
,[Dh2fPM, 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
k7:GS,7 B
rez&3[ l9M#]*{
"[%;B0J [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
${jA+L<J 6. 分光器的设置 @ChN_gd3! A8_\2'b 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
NmH}"ndv+ 7. 合束器的设置 ZcUh[5:| =XZF.ur
7yMieUF 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
DBu)xr}7A -_y~rx
> 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 I
ybl;u d[s;a. 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
<7vI h0 应用示例详细内容 D)H?=G
仿真&结果 j\XX:uU_
b5iIV1g 1. 结果:利用光线追迹分析 4@/ q_*3o 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
u#zP>! 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
;']vY 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 _9}x2uO~ 4FfwpO3,Ku q#mFN/.(+ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
}vXA`)Ns 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
"'Q" (S 3. 对准误差的影响:元件倾斜 v`z=OHc y9V;IXhDc 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
(&9DB 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
k#8S`W8^ 4. 对准误差的影响:元件平移 oiTMP`Y 元件移动影响的研究,如球面透镜。
2.HZ+1 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
Q9Y9{T
`@u+u0 /{eih]`x( 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
FT|/WZR "6`)vgI~ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
.d#G]8suF C }h<ldlY 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
[I+)Ak5 !Zk%P 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
dVj' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
1cHSgpoJ ,p[\fT($] 扩展阅读 J{GFb 1. 扩展阅读
I:uQB! 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
S`GXiwk 开始视频-
光路图介绍 giPhW> -
参数运行介绍-
参数优化介绍 4'}_qAT 其他测量系统示例:
S5*~r@8h -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)