测量系统(MSY.0001 v1.1)
SXJjagAoML :1gpbfW 应用示例简述 -*J!Ws(9 6^BT32,' 1. 系统说明 swJQwY $cm9xW&
光源 Wy/h"R\= — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
\ Gi oSg 元件
a gL@A — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
lU$0e09 探测器
h>!9N
dzG — 干涉条纹
M&9urOa` 建模/设计
01RW|rN —
光线追迹:初始系统概览
`@0AGSzUv — 几何场追迹加(GFT+):
2<w vO 9 计算干涉条纹。
AqaMi 分析对齐误差的影响。
rp[3?-fk Q+QD, 2. 系统说明 1O,8=,K2a 参考光路 Rs"G8Q9Q 
ZYt <O 3r,Kt&2$ 3. 建模/设计结果 ]P>XXE;[
n:1Ijh
1 >XM]UdP 4. 总结 "o_'q@.} WlGT&m&2 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
pW>{7pXn 6mIK[Qnp 1. 仿真
Jm< uE]9 以光线追迹对干涉仪的仿真。
NN5Ejr, 2. 计算
qTMY]=( 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
%p&y/^=0I 3. 研究
)DlKeiK 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
\ptjnwC^O DrxQ(yo} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
M1*bT@6 应用示例详细内容 z%lJWvaA7
系统参数 $P%cdJ T0
N0NFgW; 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 WNQ<XBqAw gA@Zx%0j 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
G\V*j$}! 'ShK7j$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
:rjfAe=s yq^Ma 2. 说明:光源
R*S:/s +"k?G YV@efPy}n 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
&%t&[Se_~ 因此,相干长度大于1m
Nv6"c<(L= 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
DGS,iRLnA 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Eciu^ Vi}E9I4
&Vgpv#&Cfx 6qT- 3. 说明:光源 v+SdjFAY ~oT*@ jh`[Y7RJO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Q {BA`Q@V 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
kY{$[+-jR 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
!=a]Awr\ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
K'
<[kh:cl 4. 说明:光学元件 BNI)y@E^X ',LC!^:~Nw tAI
v+L 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
[+xsX*+ 位相延迟平板材料为N-BK7。
lCl5#L9 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
4neO$^i8J 透镜材料为N-BK7。
MxKTKBxQ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
CA5`uh lmD[Cn & 0WQF 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 $60`Hh 4/ R<{Vgy 9|v%bO 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
uN>5Eh&=Pf 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
vZ.<OD4 e
t@:-} a
}*i [
a'dlAda [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
R*6B@<p,i 6. 分光器的设置
/7:+.#Ag` YhS_ ,3E 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
JPng !tvR 7. 合束器的设置 h,]VWG , c{ckm bcpsjUiy# 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
kV4Oq.E $u yx 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 hwJ>IQ1 C])s'XTs 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
UOl*wvy 应用示例详细内容 ~!8j,Bqs+z
仿真&结果 k{N!}%*2
f% )9!qeW 1. 结果:利用光线追迹分析 0< vJ*z|_ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
A1,q3<<D% 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
DZnqCu"J 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 xy"'8uRi X:;x5'| x-X~'p'f 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
jlU6keZh` 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
GQ7uxdqWBQ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 [3nWxFz$R C c:<F_UI 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
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2Wy 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
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4. 对准误差的影响:元件平移 z8JW iRn 元件移动影响的研究,如球面透镜。
o.0tD 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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liH#=C8l*% [xr^t1 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
NjOUe?BQ !|H,g wqU 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
c3g`k"3*` %'2.9dB 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
W.jXO"pN % ym};7'&b 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
1Z @sh>X| 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
Rk3
bZvj3 p$'S\W| 扩展阅读 6WGg_x?3 1. 扩展阅读
C)EP;5k'!\ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
V@#oQi* 开始视频-
光路图介绍 ".(vR7u' -
参数运行介绍-
参数优化介绍 Wtcib- 其他测量系统示例:
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迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)