测量系统(MSY.0001 v1.1)
YtV |e|aD ;% /6Y~/ 应用示例简述 LvSP #$f aQl?d<|+lk 1. 系统说明 (45NZBs NFrNm'v
光源 9@$tiDV — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
fBHkLRFH 元件
83{x"G3> — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
,`ZPtnH+ 探测器
8#X?k/mzU — 干涉条纹
YRg=yVo2 建模/设计
Z}sG3p —
光线追迹:初始系统概览
R59e&
— 几何场追迹加(GFT+):
H.jLGe> 计算干涉条纹。
}2-[Ki yv 分析对齐误差的影响。
&:;/]cwj [z
W_%O kP 2. 系统说明 XR{5]lKt_ 参考光路 TSc~$Q] 
hEyX~f Paae-EmC 3. 建模/设计结果 7V9%)%=h|
m1^dT_7Z
|#DC.Ga! 4. 总结 s[0prm5. {B'Gm]4 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
n;-x!Gs r~S!<9f 1. 仿真
W
/~||s 以光线追迹对干涉仪的仿真。
OvyB<r 2. 计算
c7FfI"7HR 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
R-g>W 3. 研究
LV}UBao5n 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
m NUN6qVP~ BxSk%$J 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
377j3dP 应用示例详细内容 1Y H4a|bc
系统参数 pl
jV|.?
z4%Z6Y 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 "ay,Lr #U",,*2 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
oiTMP`Y *@-q@5r}! 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
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