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光学测量＞显微 /<J(\;Jr6 )/T[Cnx.Nc 任务/系统视图 j u"z 2B
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%71i&T F 显微镜系统中光栅的全矢量分析 #S}orWj
在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 53HA6:Q[ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 i(}Pr A
b3ohTmy4( 说明：光源 a+w2cN' _ fHC+lwN  #,%bW[L<N Nd~B$venh  X0lPRk53( p['RV 说明：透镜系统 ,i 2- [jMN *p?  xE/?ncTK^ 说明：样品结构 Eb8pM>'qM _f1o!4ocx  2}hJe+#v M3(N!xT 说明：探测器 AkhG~L s g2 ;"E@  \T7Mt|f:5
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 =+zDE0Qs 4&iQo' 结果：3D光线追迹 5'AP:3Gf" oz) [ -  ,2@o`R.27 &d_^k.%y  D|- ]<r1" +jm,nM9 结果：光线追迹 B
`(jTL Y|>dS8f;4  l/.{F ;3F 1[FN : hm 结果：光线追迹衍射级数 r/ Y J, 2! akj<*,  zF 1 !a uo9# (6 结果：场追迹采样平面 | Y9>kXM l
;tOs A #  Jj4 HJ9 FuhmLm'p 结果：场追迹焦平面 jLAEHEs LrB
0 x>  n;g'?z=hy -+R,="nRQ 结果：减小光栅周期 BoD{ fg
jK|n^5\ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 B*,6;lCjX !~ox;I}S
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