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光学测量>显微 eb}XooX 8fi'" 任务/系统视图 6H2Bf*i |8{ k,!P'K fk15O_#3 D"$ 97 亮点 c/.s`hz :mDOqlXW/
TR*vZzoy
}BW&1*M{ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 FT>>XP8 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 3%r/w7Fc 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 z2Wblh"_ :Nf(:D8 说明:光源 19[o XyFI %I`'it2d #s(ob `0| Ar~<l2,{r /+B6oE>8 H(Wiy@cJn 说明:透镜系统 fup?Mg- #ZP F&u" .KG9YGL# 说明:样品结构 6&<QjO ^PE|BCs Tt{X(I} J ;2`t0#J$] 说明:探测器 ^-Arfm%dn ,>qtnwvlHP Y5ei:r|^ 1,zc8 >M
Ui"$A/ yYe>a^r4R 结果:3D光线追迹 BZTj>yd %@ >^JTkY8 HLthVc w O%bltNEx1 LZG(T$dI `=V1w4J 结果:光线追迹 [vuikJP>1k rFt+Y}) D|$0~1y ^wSGrV' 结果:光线追迹衍射级数 ^; U}HAY !]7b31$M_ s!D?% z*b|N45O 结果:场追迹采样平面 -;8 a* F 8kd):gZKZ c*axw%Us "g"%7jK 结果:场追迹焦平面 !.iFU+?V kuLur)^ o*d (; &\5bo=5V 结果:减小光栅周期 FncP,F$8
E.N>,N 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 ub1~+T'O J?t(TW6E
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