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光学测量>显微 M]PH1 2Ob K~Lh'6 任务/系统视图 OL|_@Fv`A sCG[gshq Cisv**9 8,Iil:w 亮点 w_o|k&~, `BA wef &wc%mQV _kR);\V.8 显微镜系统中光栅的全矢量分析 |E:q!4?0 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ^gx`@^su 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 a?#v,4t^ 4E[ 9)n+YV 说明:光源 oGz-lO{lt R$qp3I
LJ7Qwh_", f4F13n_0X owYf1=G ,m<t/@^] 说明:透镜系统 4t3Y/X D|`O8o?) )+
}\NCFh 说明:样品结构 Ak(_![Q:q\ yTj!(C @ 63Uk2{W> ]ADj9 说明:探测器 ,S.<qmf @lvvI<U 8^bc4(H b[}f]pB@n
;2lKo =" =2;2_u? 结果:3D光线追迹 ,l}mCY ]&l.-0jt Q4;eN w 70s. %6-5hBzZN IK#W80y 结果:光线追迹 Z4+S4cqnh v2X>% _
U/[n\oC D|zlC,J, 结果:光线追迹衍射级数 px `o.%`' +n#(QOz k
4|*t}o7 C)w11$.YQ9 结果:场追迹采样平面 O3H~|R+^
cE}y~2cH `U-i{i y_aKW4L+ 结果:场追迹焦平面 `$V7AqX ( xc|pl!ns (?luV#{5 '<(S*&s 结果:减小光栅周期 cT8b$P5w L`$m<9w' 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 3I|&}+Z6 tCkKJ)m
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