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光学测量＞显微 \Fj4G y?MW 1^W Aps 任务/系统视图 jgMWjM6. 9a4RW}S<  Xs?> 6i@$$ Sqge5 v 亮点 bFJn-g n LnyA 5T  d[Fsp7U}
)eG&"3kFe! 显微镜系统中光栅的全矢量分析 d8r+UP@# 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 8'quQCx*= 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 3 &* %>) 1%:A9%O)t 说明：光源 p_nrua? a* D|$<V  _Ey8P0-I #nxx\,i>  gI%n(eY u}h'v&"e, 说明：透镜系统 He@= bLLa 7xcYM  tsa6: D 说明：样品结构 jGWLYI=V2 =0-qBodbl  D|BN_ai9 -| T^ 说明：探测器 b$ e J H
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 y1saE Y sDl2P 结果：3D光线追迹 0k>&MkM\^ h ^c'L=dR 
1W8W/Y=hT X>4`{x `  GwycSb1 u j@<_|7 结果：光线追迹 4ca-!pI0 :}z% N7T  525 >=h ww2Qa-K 结果：光线追迹衍射级数 w~ & ]gyf *X # e  m0,9yY::wj MD)"r>k 结果：场追迹采样平面 O+$70 LA+MX 0*  1`t? 5|s>
dNobvK 结果：场追迹焦平面 a3 x~B =E <7 ^ ~r(DP  bij?q\ Kd)m"9Cc 结果：减小光栅周期 QFPx4F7(e
B`aAvD`7 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 NjxW A&[ng >C[1@-]G%7
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