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光学测量＞显微 D;K & O>kXysM v> 任务/系统视图 fB@K'JQG ,Uv{dG  KLj 4 LOs GC,vQ\ 亮点 y_; ]=hEL j
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:4Id7Ce 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ?nj"Ptzs 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 %D`^ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 Y Y1{v?[ #3A Yz82w 说明：光源 f/$ -Nl. ptnMCF  ..v@Q% #r78Ym'aI  1oX z[ V KY;uO 8Te 说明：透镜系统 Po2_ 0uX HMl!?%%  wliGds 说明：样品结构 oP 6.t-<dU FkB6*dm-  8YT_DM5iI \#IJ=+z 说明：探测器 G! >
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 @ U 7#, G 24.7S LXO 结果：3D光线追迹 `2Z4#$. fF9 ;lWt  $; KQY7 ?[NTw./'7A  *_<SWTE YFC 0KU 结果：光线追迹 5Xq.=/ eX 71}L# nQ  \ _-kOS [TpA26#TTO 结果：光线追迹衍射级数 tq4"Q BIKh ouu-wQ|(mM  945
|MQPn R?={{+O 结果：场追迹采样平面 d =c1WK y5Z<uwXc 
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US*<I2ZLh 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 f;_K}23 Cs6z v>SR
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