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光学测量＞显微 -8Jl4F , g[wP!y%V 任务/系统视图 gUH'DS]{ u->@|tEq  <m /b]| M Hnf\|DX 亮点 mj~N]cxB $dZ>bXUw:  ELrZ8&5G
R2Rst k 显微镜系统中光栅的全矢量分析 cbu nq " 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 `mKlv~$1^ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 +)JNFy - 7Z`Mt9:Ht 说明：光源 vpeBQ=2\ 9!xD~(Kr  6}i&6@Snq? >^H'ZYzw  I`"-$99|t1 Ku0H?qft( 说明：透镜系统 3Zaq#uA >FY&-4+v  i{|lsd(+ 说明：样品结构 6R-C0_'h dE5 5  $h, &b<- OC?Zw@ 说明：探测器 ^x_ >r6 A{4G@k+#d  j(Fa=pi
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 4/HY[FT |.Nr.4Yp 结果：3D光线追迹 (0OSGG9 ZTh? ^}/  rq<`(V'2 @Xq&t}*8  pcRF: ~TE ?#BZ `H 结果：光线追迹 g{A3W) [ b 5:*5j@/S  `z3|M#r\; f[ JI/H> 结果：光线追迹衍射级数 MfXt +c`r d7W%zg \T  fuNl4BU u Q:ut( 结果：场追迹采样平面 G}=`V YK #$rf-E5g-K  eW%L$I _&; ZmNNhc 结果：场追迹焦平面 YW8K
$W [^?13 xMb  :b <-[8d& <CNE>@-f 结果：减小光栅周期 ,_.@l+BM.
%r M-"6Q 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 9,S,NvSq Y w~;g: =
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