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光学测量＞显微 cr CJrN= ]~-r} `] 任务/系统视图 ) oZ dj` NK+ o1  9WHddDA }H4 RR}g 亮点 {g6%(X\r.r \e_O4
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reVgqYp{{- 显微镜系统中光栅的全矢量分析 :k"]5>(^ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 *Ex|9FCt$ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 =Qq+4F)MD Ac6=(B 说明：光源 :Tc^y%b0
1M-pr 8:6s  9uY'E'm* $>gFf}#C  rNM;Z PF# 49P 4b<1 说明：透镜系统 8t`?#8D} B!yr!DWv  X]=t> 说明：样品结构 !k%# R4*> s{++w5s  wr4 :Go` PH"%kCI: 说明：探测器 zi:BF60]= 0c &+|> !  5x de;
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 Si,6o!0k @;k Sx":b 结果：3D光线追迹 BY*Q_ Et >p/`;Kq@  f?b"i A(6 'S~5"6r  \9d$@V Q&&@v4L 结果：光线追迹 edV\-H5< "L1 Zi.)  z2c6T.1M {$r[5%L\H 结果：光线追迹衍射级数 tDo"K3 ddo#P%sH '  2tLJU Z1 ]9X DS[<2` 结果：场追迹采样平面 D0C y^_ 1}37Q&2  G: JR7 N$
i!cCMh8 结果：场追迹焦平面 2oU_2P YP9^Bp{0  .B yu N ca}2TT&t 结果：减小光栅周期 Tr|JYLwF
^(<f/C )i 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 [V!tVDs&'o jtc~D L
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