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光学测量＞显微 BdBwfH%: B;x5os 任务/系统视图 n-zAkKM M3 MB{cA2  nSY3 =Edx= 3L}eF g,d 亮点 C.qN Bl* 'KvS I=$  gQ90> P:
#&0G$~ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 x*>@knP<- 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 #uTNf78X 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 [g )HoR=& %8Eu{3 说明：光源 t5O '7x s0r::y O  vH1IVF"DS M3q%(!2  KU$:p^0l;* wwh1aV * 说明：透镜系统 3( &k4 Wo)$* ?  2<$pai"yl 说明：样品结构 m\zCHX#n p>#sR4d>  ^IQtXae6M Fnqj ^5 说明：探测器 2 |` 7_*\ >EE}P|=-  |L9p. q
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1 结果：3D光线追迹 ~8JOPz K K;8{qQ*  J:Mn 5hdK= )FQxVT,.  6JgbJbUi F s$mLa 结果：光线追迹 t,NE`LC _tlr8vL  SI`ems{1>c +MR]h
[ 结果：光线追迹衍射级数 c T21 J]W?
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s$j 5J-slNN CQ 结果：场追迹采样平面 v[ ~ ~q E]w2
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= ,_K y'B 结果：场追迹焦平面 w` GjQIA :(A k:  r\A|fiL }!uwWBw` 结果：减小光栅周期 n\GN}?4
A&N$=9 .N1 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 B#]:1:Qn {K N7Y"AI
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