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光学测量>显微 6]WAUK%h KQ!8ks] 任务/系统视图 JcsHt; /T0F"e)Ci IL#"~D? 6*78cg Io 亮点 2*;~S44 nS }<-s gwuI-d^ q 376m-+ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 5H<m$K4z 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 hd%Fnykq 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 -P$PAg5"2 @<hb6bo,N 说明:光源 N2^=E1|_ dVtG/0 >
PRFWO qZ}^;)a^ AUG#_HE]k [.7d<oY 说明:透镜系统 ~D j8z+^ ^1I19q Cgk<pky1 说明:样品结构 MS~(D.@ZS #4<SAgq iy.p n i+ ?^8# 说明:探测器 gV's=cQ =7=]{Cx[ pK>N-/?a {BN#h[#B{
( Y[Q, O3,jg|, 结果:3D光线追迹 U)o-8OEZ9 ~g]Vw4pv JX;<F~{. 8b&/k8i: JYI,N lfow1WRF 结果:光线追迹 y'.p&QH'` PO:{t YoNDf39
X'Xx"M 结果:光线追迹衍射级数 -=Q*Ml#I >1Ibc=}g GR_-9}jQP 7&)bJ@1U 结果:场追迹采样平面 [q[Y~1o/&H Se}c[|8 c7k~S-nU &DX! f 结果:场追迹焦平面 TF\C@4Z ""G'rN_=Bi U?Zq6_M& :P~6~
Kum 结果:减小光栅周期 JX;G<lev WSB0~+ 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 `*R:gE= Z@S3ZGe
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