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光学测量＞显微 0#OyT'~V% 1l$ C3c 任务/系统视图 pp"#p l U4=l`{5on  B zS4:e< 9{OO'at? 亮点 SPE)db 3 <z\SKR[  ]Z5m_-I
y#B=9Ri=z 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ~g/"p`2-N 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 QO}~"lMj 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ^+D/59I 4+q,[m-$( 说明：光源 'Wnh1|z nSyLt6zn\  ~Pw9[ycn3 eZOR{| z  N _ NN0 I}bu 说明：透镜系统 `B@eeXa;u rQ{|0+l  kVQm|frUz 说明：样品结构 1<'z)r4 LH(P<k&  yF(9=z"? <Vhm tT%7 说明：探测器 L"
ejA $B-/>Rz  zN!W_2W*
Hi={(Z5tC4
 LHA^uuBN} T;(,9>Qsu 结果：3D光线追迹 B1_9l3RM x
t-s "A  (G> s u \JM6zR^Ef  6 8,j~e3-i yZ6WbI 8n 结果：光线追迹 6d]4
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 w{DU<e: xF!IT"5D 结果：光线追迹衍射级数 bs|gQZG ?I^$35  &D M3/^70 CmBP C jh 结果：场追迹采样平面 VYb,Hmm>kC s?}qia\~m  ^5]9B<i[Y [Ix6ArY 结果：场追迹焦平面 HD KF>S_S Jn{)CZ  L;opQ~g LmJjO:W}^y 结果：减小光栅周期 )q_,V"
e=VSO!(rY 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 y`zdI_!7 >bV3~m$a+
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