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光学测量＞显微 "UY lC0 S\ [zJ|61^ 任务/系统视图 .+)
AeGh z Fi)R }Ot  w !_6* imc1rY!~' 亮点 \ gO!6 <sTY<i VR 
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NG5k9pJ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 hsAk7KC 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 @rP#ktz] 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 qDS~|<Y5 \_)[FC@ 说明：光源 50e
vWD %bp'`B=  "_0sW3rG 9\Md .>  >H5 _,A}f 3Yf~5csY 说明：透镜系统 Y )68 ,7Dm p7  uquY
z_2 说明：样品结构 l0r^LK$ 2)Q%lEm`SP  o'_eLp P>EG;u@. 说明：探测器 9 ^CuSj BsR3 $  q*! Vyk
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,H rRX F@ 结果：3D光线追迹 vt#&YXu{A
qN'%q+ n  gm$<U9L\v )Tc D -Jr  8iPA^b|sz{ =)%~QK {Y 结果：光线追迹 &hE k m h
^Wm03w  N97WI+` Bxf&gDwjgr 结果：光线追迹衍射级数 a|ZJzuqo MSb0J `  fskc'%x To;r#h 结果：场追迹采样平面 Ow {NI-^K G%dzJpC(
 {> d \ C;YtMY: 结果：场追迹焦平面 6 u,w ?]\v%[ho  Yq:+. UU fM3ZoH/ 结果：减小光栅周期
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2E.D0E Cu 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 +;a\
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