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光学测量＞显微 2h
{q h 9H]_4?aX 任务/系统视图 i;PL\Er:tX 4 y}"Hy  I-NN29 Sk "()sb? & 亮点 P
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Zt3}Z 4d 显微镜系统中光栅的全矢量分析 o**y Z2 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 |4Ck;gg! j 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 io4A>>W==/ %bb~Y" 说明：光源 Ix DWJ#k ^ons:$0h  O';ew)tI
"L & k)J  1D([@)^ dpN@#w 说明：透镜系统 a?cn9i)# K7vw3UwGN  vC/ [^ 说明：样品结构 cJ}QXuuUv %NHYW\sKX  u>T76,8|\ 0_<Nc/(P 说明：探测器 q<=:
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 rE!1 wc>L *8g<R 结果：3D光线追迹 XbvDi+R 2A ^ Ip3A  3-wD^4)O, GaNq2 G  +S { W 5DbFSgB 结果：光线追迹 u"VS* hSH -
HOnB =  Bmr< O ! +GNWF%
zN 结果：光线追迹衍射级数 )q?$p9 ]YD(`42 x  jD< pIHau ~5#)N{GbY 结果：场追迹采样平面 9fVj
8G } ~enEZ  Q^h5">P #+sF`qR, 结果：场追迹焦平面 jq oPLbxT mA{#]Yvf1  iK}v`xq 3B18dv,V 结果：减小光栅周期 2*[U n(
,Q2N[Jwd$ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 nmE5]Pcg c;V D}UD'
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