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光学测量＞显微 .u=|h3& wehiX7y 任务/系统视图 ?^^TR/ F1L[C4'  <b\8<mTr cS 2]?zI 亮点 MZh?MaBz06 y\[* mgl:  X?JtEQ~ >
kA)`i`gt 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ]scr@e 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 a<>cbP 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 9C7HL;MF Dkh=(+> < 说明：光源 w>}n1N c$G \OWxf[  _JA)""l% ^gNbcWc7CU  $fT#Wva-\d -/*VR$c 说明：透镜系统 g:U
-kK!i SJ:Teab  Ex@}x# 3 说明：样品结构 B<$6Dj%L +qqCk  :S!!J* 0 `0w !& 说明：探测器 R yM2 9uD LfK/wS vWw  L'"c;FF02i
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K r(_Fr#Qn 结果：3D光线追迹 =}u?1~V TIaiJvo  p6)6Gcx i=pfjC  M BU4Awj
fD8 GAav 结果：光线追迹 $?V YHkX U2~|AkL  hewc5vrL "GJ.`Hj 结果：光线追迹衍射级数 Tn(uH17 PpNG`_O  1|>bG#| +JXn 结果：场追迹采样平面
J9y}rGO MU:v& sk  !|9k&o R? N+./{ 结果：场追迹焦平面 9 8 uMD {!wd5C@  ra_TN ;( _G/uDP% 结果：减小光栅周期 Ys?0hd<cn
1-.i^ Hal 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 /#L4ec-' *TCV}=V G
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