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光学测量＞显微 88)0Xi|]KP )WEyB~'o 任务/系统视图 "mT~_BsD y)#Ib*?  "v~w#\pz7 T0RgCU
IV 亮点 ;Z.}~d6>! g >- iBxml  E9226
4y21v|(9 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ]Wv\$JXI 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 FQ(=Fnqn 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 <6n(a)L1 }
"y{d@ 说明：光源 K$'
J:{yY =UNzjmP503  m2<sVTN`^ vM\8>p*U  0V srAV0 }N4=~'R 说明：透镜系统 GXRK+RHuBi 4 "wuqr|o 
b9w9M&?fT 说明：样品结构 XF{}St~ ( |'=R`@w~0  -@L*i|A U4zyhj 说明：探测器 O&\;BF5:R "2 qp-'^[c  0V`0=" rQ
1"~@UcJ
 {b+!0[ |{Z?a^- NJ 结果：3D光线追迹 A*~zdZ p /_w oCLwQ#  K}! VY` `N8A{8$qv  [Fr.ik ,p>= WX 结果：光线追迹 !>;p^^e J0 lTp /  R^fVw Dl\ 1|n,s- 结果：光线追迹衍射级数 z+NXD4 SH5GW3\h  6#.z:_ Ry[VEn>C1 结果：场追迹采样平面 hU+sg~E #ra:^9;Es:  srJ,Jr( *V3 }L
Z 结果：场追迹焦平面 +!dIEt).U _~ =X/I R  + 'hcFZn(T lJu2}XR iU 结果：减小光栅周期 #U(dle T8
TQ.d|{B[ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 E,u@,= j avykg (
 wp-*S}TT z';p27 5 xv9SQ,n<  \ d+&&ns
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