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光学测量＞显微 ~WV"SaA)*U IV) j1 任务/系统视图 R0-j5&^jju y1L,0 ]  ENY+^7 -d:Jta!}{ 亮点 @ pU)_d!pJ 'H <\x  R@rBEW&
0#^v{DC 显微镜系统中光栅的全矢量分析 E8&TO~"a]e 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 }*"p?L^p{ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 0_t!T'jr7 '1/i"yoW 说明：光源 7. ;3e@s D. XvG _  BIL Lq8) R*r#E{!V;  P7/X| M z _zMW=nypdx 说明：透镜系统 .#pU=v#/[ k|d+#u[Mj@  u> 7=AlWF- 说明：样品结构 =odFmF }RqK84K  $ iz|\m *4Y V v 说明：探测器 h 9W^[ 6 7D5]G-}x.  P7~ >mm+
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 cYt!n5w~W VW4r{&rS 结果：3D光线追迹 HyWCMK6b "'\$
g[k  y'*K|a TG !C: $?o U  0lR5<^B ~q Oa\#x_ 结果：光线追迹 [cp+ i^f L;I]OC^J  CeC 6hGR5 }`~+]9 < 结果：光线追迹衍射级数 0"bcdG<} ?5
7Sk+  ,nm*q#R,0 ~Jz6O U*z 结果：场追迹采样平面 8-77d^cprR H A>OkA/  _a T5jR= :6\qpex 结果：场追迹焦平面 {{p7 3
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lUgg 结果：减小光栅周期 !Q0w\j h
6,{$J 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 k+pr \d ~ c\ l kD-\
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