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光学测量＞显微 v:CYf_ n4)G g~PE 任务/系统视图 O:q}<ljp
,KkENp_  xXZ$#z\ Z, uf`o\wqU 亮点 8x'rNb %-]j;'6}cX  RrLQM!~
(|ga#%iI 显微镜系统中光栅的全矢量分析 }*$-rieg 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 2U>1-p&dn 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 3z:
rUhA $$ {ebt 说明：光源 &X_ I^* K K]AX; 
qfppJ8L gq[}/E 0e  u 8U>R=M hr@K WE` 说明：透镜系统 >?M:oUVDU
-N5r[*>  D 8h ?s 说明：样品结构 ` ]WU =Ss bm%2K@ /U  uVDB; 6 <3 HW!7Ad1 说明：探测器 lZ^XZjwoM UN| "D]>/  xi;SKv;p
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 Ew4DumI T>n,@? #K 结果：3D光线追迹 }K"=sE VbBZ\`b  L)Un9&4L 9]|[z{v'>l 
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jc;&g)Rv 结果：光线追迹 l:Ci'= I$qL=  6J Ree[ s26s:A3rh 结果：光线追迹衍射级数 o,bV.O.W '.WYs!  f(D?g 3zWY%(8t4? 结果：场追迹采样平面 ?Dd2k%o zCO5 `%14  3h 0w8(k; A!iH g__/t 结果：场追迹焦平面 _3A$z A {!^HG+  * I'O_D ~ D3'-,n[ 结果：减小光栅周期 =*Wl;PI '
MB ^ b)\X 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 =5dv38 U0jq.]P
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