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光学测量＞显微 pNme jz: 9 CSz<[ 任务/系统视图 fH{$LjH( B
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uM!d} 亮点 'n`$c{N<tM ^HKaNk <  )u:8Pv
a'.=.eDQ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 _C\
d^a ( 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 SQCuY<mD 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 D#(Pg q "vT]=Y}: 说明：光源 #!<s& f|O ov}{UP]a?  O$ oN 1 g)Uh
 dTNgrW`4 $ O>MV 说明：透镜系统 m=y)i]=1 dz DssAHy  g9`ytWmM 说明：样品结构 pfIvBU ? *Fs^T^ ?r  L^Af3]]2 !T1i_ 说明：探测器 U4/$4.'NQ p_N=V. w  TMs\#
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 T}LJk S~*l V)@ scB|>, 结果：3D光线追迹 7tnzgtal 'S
;vv]}Gs  *]k"H`JoFC Yf9L ~K  >l[N]CQ `hhG^ O_ 结果：光线追迹 l#:Q V: q3:'
69  +d15a%^` g==^ioS}* 结果：光线追迹衍射级数 8g dOQ=a A ` 8If  Tj#XsD?J Gj?q+-d!(5 结果：场追迹采样平面 l\GNd6)H C <)&qx3  1+#8} z: z AIC5fv u 结果：场追迹焦平面 Fx\Re]~n {,-# ;A*yW  Plv + mb )<&QcO_ 结果：减小光栅周期 u?i1n=Ne
4]R3*F 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 :-8u*5QK]` vUA,`
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