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光学测量＞显微 Op~:z<z V/"RCqY4 任务/系统视图 u^E0 u^ H\<0{#F  Z"w}`&TC$^ (,+#H]L 亮点 |P| 2E~[r t!J>853  Sw-2vnSdM
dJ])`S 显微镜系统中光栅的全矢量分析 }{:} K< 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 [kr-gV 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 #> lbpw "oZ_1qi< 说明：光源 8L/ XZ) gYGoJH1  (]I= ';\
u0o TqD?  `}sFT:1& b.[9Adi > 说明：透镜系统 _]Ob)RUVH G@jx&#v  06.8 m;{N 说明：样品结构 eUCBQK pMViq0  [U ^C z{G Mz Kl=G 说明：探测器 4o@:+T:1 i-4L{T\K  &vN!>bR
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 ..'"kX:5 B|9XqQ EI 结果：3D光线追迹 :ntAU2)H \k=%G_W  0
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_ / LqJV  j%] sym D[6sy`5l 结果：光线追迹 wnXU = ){,M v:#+T  W}zq 9|p c0&! S-4M 结果：光线追迹衍射级数 LXrk5>9 8$iHd  t *Z5 { 152s<lu1Z 结果：场追迹采样平面 J[S!<\_! z}$.A9yn  7u :kR;wk g@/}SJh/> 结果：场追迹焦平面 RK$ ( BAi0w{  PX/^* {o*$ |4q4 结果：减小光栅周期 ^vxNS[C`;
e(b$LUV 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ]E DC s?, \xC#Zs[<
 OBF-U]?Y w6Mv%ZO_ u:l<NWF^  hPgYKa8u
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