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光学测量＞显微 +K",^6%1 KFRw67^ 任务/系统视图 J4$!
68 |,C#:"z;  i^`9syD S56]?M|[ 亮点 7*+]wEs F" +o@9]  L:nXW z
h f6f.Z 显微镜系统中光栅的全矢量分析 o89(
h! 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 tA.`k;L T 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 m!n/U-^ JAc_kl{4O 说明：光源 El_Qk[X|A yB pk$  \;5\9B"i DbI!l`Vn4  fK}h"iH+K }
l 667N 说明：透镜系统 <i?a0 . RVVWqW  R{Y zH56M 说明：样品结构 "Y: /=
Gx Z4TL6 ]^R  {^)70Vz>PE DPgm%Xq9(! 说明：探测器 .>g1 $rj -;(Q1) &  e0,'+;*=g
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 sfT+i;p 7u.|XmUz 结果：3D光线追迹 ;E;To\NCYF q}|U4MJm  #U7_a{cn"M &$FvWFRh#  L z9#A. l*aj#%ha 结果：光线追迹 r M}0%J' \p&~ , %  >u +q1j. b }9[s 结果：光线追迹衍射级数 BbOu /i| j|fd-<ng  U'( sn :t$aN|>y 结果：场追迹采样平面 L m*VN~2 n`Z"rwKmNw  &[R8Q|1 j 1MsWnSvzf 结果：场追迹焦平面 qem( s</: $ P
o}  eJ8]g49mD6 W`rNBfG> 结果：减小光栅周期 R0U e0pF7
L6P1L) 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 1nh tM m`? MV\^
 h~Q)Uy5N(D eL D?jTi' Vn=qV3OE]  j5$BK[ p.
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