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光学测量>显微 [WI'oy OVGB7CB]S 任务/系统视图 wQ8<%qi"L h-\Ov{~ a7aj:.wi ?kS#g 亮点 R&Ss ET. o%*C7bU %CQv&d2 Kw(S<~9-@ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 tAkv'. 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 mV+9*or 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ~=9S AJr] `6(Zc"/
\m 说明:光源 Rh%@N.Z* ^fE8|/]nG9 :<HLw.4O z
pDc~ebh i(kx'ua? '(-H#D.oy' 说明:透镜系统 ~V0 GRPnI @"H7Q1Hg!* LI<Emez 说明:样品结构 o#>Mf464I
JvNd'u)Z< ~[=d{M!$W m'M5O@? 说明:探测器 6 X'#F,M O*lE0~rJ P9 y+rF. J:OP*/@='
*=tA },`\7 !s:_>P`MQ 结果:3D光线追迹 6n~)R v +o6ZNX
^Vf@J KD]`pqN9 /1_O5'5+v (EjlnG}5l 结果:光线追迹 QEMT'Cs %:j`%F;R Nw(hN+_u =R ZPDu 结果:光线追迹衍射级数 f$vU$>+[ 2vhP'?;K qJ2Z5 YW"uC\kg| 结果:场追迹采样平面 ouO9%)zv
0/1=2E^, CugZ!>;^ YT,yRV9# 结果:场追迹焦平面 /qMiv7m~Q PjXiYc& P1)87P O*Y ? :
t 结果:减小光栅周期 \<dg *.KVrS<B1 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 CD5% iFy !b&+2y2i[W
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