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光学测量＞显微 TZ>_N;jTZ HTw7l ]] 任务/系统视图 ;Q8LA",5d -V ' h>K  9TZ4ffXV* y{O81 7 \ 亮点 t /Y)% N Ow f:Kife  l6z}D; 4
;($" _h 显微镜系统中光栅的全矢量分析 0.kQqy~5 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 r?:xD(}Q 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 j _p|>f<} w\(; >e@ 说明：光源 uX8yS|= * Lcow2 SbH  EN/e`S$) MFqM 6_ 
~uRL+<.c r.#"he_6!. 说明：透镜系统 k%2Rv4)hU = k7}[!T  EI!e0 V1! 说明：样品结构 a i@hQJ* 'pQ\ BH  6>R|B?I% V+- ]txu| 说明：探测器 y>jP]LR4 ,,o5hD0V9  #s]'2O
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 wr{ [4$O +#=l{_Z,ZJ 结果：3D光线追迹 )"4v0dv %FSY}6 5  rUOl+p_47 TF7~eyLg  Tn"/EO^N #V#sg}IhM? 结果：光线追迹 Uk@'[_1z ne-; gTP;  KV { J>J1 KVA~|j B 结果：光线追迹衍射级数 O;m@fS2%3 ]UFbG40Zo  d ub %fs Ka| ,
qkb 结果：场追迹采样平面 _zF*S]9
X -lDAxp6p  3qNLosm#M 7v{s?h->$ 结果：场追迹焦平面 TeXt'G=M G Rq0nhJ  KCc7u8
uFl19 结果：减小光栅周期 IwJ4K+
&/-^D/ ot 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 N_^s;Qj I?Fv!5p
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