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光学测量＞显微 S. q].a KiO cu=F 任务/系统视图 wG< (F}VX nMvKTH  6 9NQ]{1 P2'DD 3 亮点 Ve! fU ixQJ[f H10  eI:C{0p=
i?e`:} T 显微镜系统中光栅的全矢量分析 qfz 8jY] 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 _b.qkTWUB 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 <_Q:'cx' z;w ELz1L{ 说明：光源 Y> Wu _({A\}Q|  ?6jkI2w *b}lF4O?  )V:]g\t 5-0{+R5v 说明：透镜系统 [[ Y0 {aC! ~qR  Eb>78k(3I) 说明：样品结构 'X !?vK^]p a di [-L#  Y.U[wL> vp crPVA^ 说明：探测器
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 01. &> Duw g{9+O7q 结果：3D光线追迹 b-*3 2Y% dwv 6 ;x  ;6{@^ u =/CRjot  >ap1"n9k ]a3iEA2 ( 结果：光线追迹 mA@Me7m} S#Sb ] 
( nab :C8$Xi_i} 结果：光线追迹衍射级数 LtKI3ou pdEiqLhH  $ 4T2z- {E0z@D) U- 结果：场追迹采样平面 0W()lQ tpTAeQ*:d  TSsKfexQ @b3#X@e} 结果：场追迹焦平面 U"4?9.
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/J 结果：减小光栅周期 K[7EOXLy
^p/Ob'! 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ^@_m "^C q;wLa#4)J
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