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光学测量＞显微 R=
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任务/系统视图 [<.dOe7| $|VD+[jSV  grE'ySX0 ^C~t)U 亮点 y4,t=Gq7^ v z^ =o'  K~A@>~vFb
3j\Py'}; 显微镜系统中光栅的全矢量分析 <x 1,4a~ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 wDKA1i%G 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 YLp#z8 1e D<lV WP 说明：光源 o $Z]qhq wUH :l  ;-VXp80J & sgzSX  _ uZVlu@ e7n` fEpO 说明：透镜系统 dC?l%,W v,c;dlg_  Vo 9Fl Yj 说明：样品结构 :8Ugz ~i e|4U2\&3y  iz2;xa*
L DdgI 说明：探测器 J )UCy;Y 7o9[cq w  ?S'Wd=
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el q* 结果：3D光线追迹 H'jo 3d ~+ CP J%<+4%b  vgN%vw pL 'e8O
\FOf  90">l^HX= s$xm 结果：光线追迹 4B@Ir)^(* Nx<fj=VJ  ,R=)^Gh { b E b+oRI 结果：光线追迹衍射级数 {=, +;/0 zRgl`zRE r  du&9mOrr gqDSHFm: 结果：场追迹采样平面 BCt>P?,UO [q~3$mjQ  gNSs T]) QVe<Z A8N; 结果：场追迹焦平面 \8]("l}ms8 T<U_Iq  9%DLdc\z; b\C1qM4 结果：减小光栅周期 ~;I'.TW
~Z5Wwp]a 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 }M &hcw< s:^Xtox /
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