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光学测量＞显微 ;t%L (J J'9&dt 任务/系统视图 ~m!>e])P?X j-gLX  B2d$!A ny \$;\,p p 亮点 w :FH2* w%S<N  .u7d
?3SlvKI}H` 显微镜系统中光栅的全矢量分析 qIjC-#a=m 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Q m`f5-d 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 =)M 8>>l OpxVy _5, 说明：光源 2?t(%u f] x|0Q\<mEe  ?^BsR ;YZ w{|gsh  &4*&L.hPM^ $pk3d+0B 说明：透镜系统 QX%m4K/a &8"a 7$  V EY !0PIj 说明：样品结构 0IDHoN aT< /<:9NP' ^  TeqFy( Dr WY 2b 说明：探测器 5B'-&.Aj+ ) 2S0OY.  _?G\^^
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 hN\E8"To wT*N{). 结果：3D光线追迹 ]`m|A1( p00\C  )Xd=EWGUS );))kYr  A X'(xb, Dj!J 4uD 结果：光线追迹 yE"hgdL Y2<#%@%4  aF'Ik XG d 0RoI`>j' 结果：光线追迹衍射级数 =1yUH9\,b Gw+z8^|C&}  D VSYH{U4
E}NX+ vYF 结果：场追迹采样平面 -^#Ix;% R 63"j\0  G Q8I |E K?I@'B' 结果：场追迹焦平面 t:=Ui/!q /c'#+!19  ZlO@PlZ) P\2QH@p@t 结果：减小光栅周期 &7@6Y {!/
1M 3U)U 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 fd+kr# 0eQ5LG?)
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