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光学测量＞显微 )NIv "Q V&iS~V 0. 任务/系统视图 |vz9Hs$@l u Y]0dyI  P,ydt 95L y Yg 亮点 *HeVACxo kP^*h O!%  `ET& VV
#c:kCZt# 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ,H{= {aln 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 i*CnoQH 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 9. s,:?5e dB 7ZT0L\ 说明：光源 E}YI WTX hZU 1O  #&BS
?@ y/tSGkMv  n NQ-"t m 9t$ h 说明：透镜系统 ;==j|/ERe vQHpf>o  RRzP* A%= 说明：样品结构 ;s_"{f`Y6 5v|EAjB6o  MGaiTN^_< K*+6`z#fMF 说明：探测器 L!y" d!6C -?fR|[\[U  W.[BPR
Y;_T= L
 S{: Cu}o Nog(VN4I& 结果：3D光线追迹 B^q<2S; N RSU+D-z  }_%P6 _#pnjo  %l|\of7P2} #>[wD#XJV 结果：光线追迹 '[ 0YIn @ i1q ]0  -nR\ ,+N lT ,+bU 结果：光线追迹衍射级数 [W;[v<E; *eGM7o*\X  N!c
gN iN)af5)[^ 结果：场追迹采样平面 GOVAb' hSMV&Cs  (h,Ws-O w2z p#;d 结果：场追迹焦平面 .
\F7tc 8? <|H ?gf M  $E.XOpl&I ~g dd cTp 结果：减小光栅周期 GV6mzD@ <
e{!vNJ0` 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 _B$"e[:yX =x
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