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光学测量 > 干涉测量 *geN[[ n2f6p<8A 任务/系统说明 h2~4G)J $*f?&U]k
@gY\;[#. _=EKXE)&} 亮点 6na^]t~ncm dJ
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0;<)\Wt=i9 8'#/LA[uPe •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; epg#HNP7^Y •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; n~.*1. P J?&l*_m;t 具体要求:光源 A"uULfnk "m$3)7 $ ZU{4lhe YKZa$@fA? 具体要求:用于准直的消色差透镜 lv%9MW0
z xY<{qHcX Y32 "N[yw i7*EbaYzUO g}x(hF xSMt*]=9 k;ZxY"^ !do?~$Og 具体要求:分束器 !w39FfU{ Gl}Qxv#$ k*mt4~KLT8 W-efv 具体要求:参考光路反射镜 BlA[ T% O+vS| , %9df+5k K/=|8+IDL
CW&.NT oczG|_ 具体要求:测试光路反射镜 _hu")os )2IH
5 ?9{~> 4@ @p 6<Lw_E 具体要求:探测器 ^T::-pN* yQ,{p@#X8 kF"@Ngv. _Q[$CcDEE 结果:3D光线追迹 s$D ^ >0 "VG+1r+]4 BZ54*\t "pP^*9FrA 结果:场追迹 4d b(<h z`UhB%-?
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f#@0E.. f y:,_# 结果:移动样品的场追迹结果 j)C,%Ol l
vMlL5t y*pUlts< 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 {!t7[Ctb
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