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光学测量 > 干涉测量 "c1vW<; 3)__b:7J 任务/系统说明 0v+5&Jk
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n(>@ 亮点 }5zH3MPQH
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SYa!IL-B •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； `'+[Y;s_ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 2$\Du9+
w}oH]jVKL6 具体要求：光源 RrKs!2sCT
tGv4 S\  yd`.Rb&V kw}J ~f2 具体要求：用于准直的消色差透镜 QP[w{T Kax85)9u ;Q?
Qwda  (fY (- O_KL#xo |/YT.c%  ny TfTn 'rq
[P ", 具体要求：分束器 YI&^j2 t 6s#19g  *<s|WLMG
T9N /;3 具体要求：参考光路反射镜 Y~fds#y0 /v=MGX@r  Gi Zy C
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9\j3J{ 具体要求：测试光路反射镜 [ V/*{Z ~{RXc+  g^4'42UX
a|lcOU 具体要求：探测器 b@z /6y! RzFv ``g  %k5 ^n0|* O62H4o T 结果：3D光线追迹 1Cp5a2{ NR^z!+oSR  BWfsk/le j |V%Qp5 XJ 结果：场追迹 9q;+ Al^Z 56d,Sk)
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K7 U` 结果：移动样品的场追迹结果 |jO&qT]{ 3dQV5E.  vfcj,1 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 V!a\:% #^Y
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