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光学测量 > 干涉测量 cA
m>f[ B=8],_ 任务/系统说明 Z]jm.'@z@
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ezS@LFaA 亮点 B"P-h^oiV
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+`'=K ;{U •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； AR8zCKBc^ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； P+K< /i
RzgA;ZC' 具体要求：光源 H!PM b{e EVYICR 5g  ^/b3_aM5d !g=4\C`mY 具体要求：用于准直的消色差透镜 1<766 v!~tX*q ,sF49C D  KFZ2%:6> Pr| B hX ^V,?n@c!  oU"!"t H;D 5)eJ90 具体要求：分束器 I qD;* l4 : B(  /h6K"w=='!
x6N)T4J( 具体要求：参考光路反射镜 A~0eJaq+ Pnl+.?  ] 40@yrc
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?E +[ 具体要求：测试光路反射镜 yVZLZLm -}:;
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^?<gz!(- 具体要求：探测器 3mP251"dIW 5TynAiSD_>  F .h A.E b';oFUU>Q 结果：3D光线追迹 {#U 3A_y FW=`Fm@z%%  JiN>sEAM ~S\y)l\wZ 结果：场追迹 .30eO_msK w#qE#g %1
 #EG$HX]
-F7P$/9 结果：移动样品的场追迹结果 H6/n %r
=9,IJ  , ;$SRQ. 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ^7l+ Of b3
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