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光学测量 > 干涉测量 3/]FT#l]i ZBN,%P!P0 任务/系统说明 sdyNJh7Jr
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87eH~&<1 亮点 k"/Rjd(;
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5IFzbL#q#f •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ib!TXWq •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； _p'@.P
+o" CMI 具体要求：光源 ,\a L v
T.-tV[2  unbIfl= Y"yrc0'&T 具体要求：用于准直的消色差透镜
8D jki] D<<q 5g G G#6Z@|kVw  -!li,&,A1 zpeCT3Q5O \+l_H4\`K  cx &\oP E'( nJ 具体要求：分束器 s@y;b0$gk t+] 1D@h v  #:/27
`8Ych @f] 具体要求：参考光路反射镜 :eJJL,v Oe
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S $o1Q 具体要求：测试光路反射镜 k)X\z@I' >7~*j4g  y;<suGl
p4UEhT 具体要求：探测器 M* Ej*# m.! M#x2!  1sonDBd0@; 84WcaH 结果：3D光线追迹 X u HR (c^ { T)  <p/2 hHfiD $?]` 2*i 结果：场追迹 KRcB_( /`DKX }
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~K< h~TNP 结果：移动样品的场追迹结果 HuU $x ;~ @o^$/AE?  pL`Q+}c} 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 J[hmY= ,
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