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光学测量 > 干涉测量 DRVvC~M-, \Jwc[R&x 任务/系统说明 #A~7rH%hi
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GG4FS 亮点 B;<zA' 1
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HSACaTVK •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； d(vt 0 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； wEl/ s P
0Fs2* FS 具体要求：光源 1_mqP Mm ]0")iY_  7Xh
;dJAF3 cf\GC2+"^$ 具体要求：用于准直的消色差透镜 $b ) k F~GIfJU \O*W/9
+  -;YhQxxC}L 'qoaMJxN` <Ug1g0.  #,SPV& =)! ~t / 具体要求：分束器 Wm!c jGK e=ry_@7  k7nke^,|
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T0@pxl 具体要求：参考光路反射镜 fTG VG |4Os_*tRKU  {T5u"U4
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 g ZL,xX
2}9M7Z",2 具体要求：测试光路反射镜 ^= qL[S6/M MwD8a<2Dg  nYTPcT4x|
eB<R"Yvi 具体要求：探测器 X(;W Y^i! =GC,1WVEqV  4=l$wg~; vSo ,,~ F 结果：3D光线追迹 gAK"ShOhG= S0lt _~  * $Z?Owl7 &i aS3x 结果：场追迹 GjX6noqT D1wONss
 55zy]|F"
%vRCs] 结果：移动样品的场追迹结果 +DYsBCVbag ~Vf
A  qy/t<2' 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 dlioa Yc
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