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光学测量 > 干涉测量 b "3T(#2<* GeW$lA I 任务/系统说明 =D:R'0YH
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sV4tu(~ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； g|*eN{g]uE •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； f0'Wq^^
,f" "|X5 具体要求：光源 B0SmE_u_N |~vQ0D
 hx;kEJ jtOsb91c} 具体要求：用于准直的消色差透镜 YD>>YaH_3@ w*R-E4S?2 zNTu j p  FH5 bC6 \36;csu =id $  '|R@k_nx z7}zf@Y-qv 具体要求：分束器 +g7nM7,1a wg~ `Md  0\ <-R
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!vROJ 具体要求：参考光路反射镜 Yxq Q g L/+J| _J)  g#2X'%&+
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* M<=K.*\G 具体要求：测试光路反射镜 >43yty\
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"4AQpD 具体要求：探测器 ._nKM5. Iba L.t\>  BfL Z 3^UsyZ S) 结果：3D光线追迹 dct#E CT >Ga1p'8FtU  <vuX "
8 io'Ovhf: 结果：场追迹 V-r<v1}M W)~.o/;
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'U0 I.x( 结果：移动样品的场追迹结果 ?C2;:ol -d)n 0)9  _ 7.y4zQJ 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 0l@+xS;
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