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光学测量 > 干涉测量 H]/!J] z4yV1 任务/系统说明 UjI-<| XKq}^M&gy
qkbxa?&X QL4BD93v 亮点 jsrIZbN /}=Bi-
9:tn!<^=I }yW*vy6` •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; p:n.:GZ=y •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; iCrLZ"$M %+,7=Wt- 具体要求:光源 B Ctm05 \P` mV9P +Y n!K<g.tjW 具体要求:用于准直的消色差透镜 S=bdue )HN,A z" {KO+t7'Q ;5fq[v^P: <CnTiS# &7CAxU;i3 J_=42aHO bez_|fY{T 具体要求:分束器 _(Qec?[^Ps Px<*n '~} iHB1/ ~3u'=u9l 具体要求:参考光路反射镜 IfdgMELk \-?@
&' : >(aGk{e1
g^dPAjPQ
a;2Lgv0/ &XnbZ&_ 具体要求:测试光路反射镜 C/{tvY /o f(o1J|U{
I2$.o0=3Y `1eGsd,f 具体要求:探测器 ]"Qm25`Qz ,?Bo
x e(NpX_8 ^l(Kj3gM 结果:3D光线追迹 .jfkOt?2 mz~aSbb| LK'|sO>|
N d"4*l; 结果:场追迹 P{-f./(JD DgQw9`WA
itmdY!;< P,ox))+6 结果:移动样品的场追迹结果 &Jr~)o vZQ' D6KYkN(,v 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 T!T6M6?
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