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光学测量 > 干涉测量 q]ER_]%Gna ryg1o=1v/ 任务/系统说明 PV<=wc^
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p'M5]G 亮点 4p\<b8(9>
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7Ps I'1v •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； u%3D{Dj •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； }1VxMx @
,]+P#eXgE 具体要求：光源 ~ODm?k *NHB wXg+  S='AA_jnw L0H;y6& 具体要求：用于准直的消色差透镜 w7 @fiH{ ;}"_ hLX .$pW?C 3e  @KfFt R-; RB`Emp&T ]r8t^bqe  YBq u7& W ZdEfY{ 具体要求：分束器 :vZ8n6J[ kv{uf$X*ve  ^x-vOG lR
&M KG#Y} 具体要求：参考光路反射镜 % { WZ /n;Ll](ri  KJ M :-z@
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$ N4%I4 具体要求：探测器 &/R`\(hEA RZ 4xR  ;43Ye
^= $8zsqd 4? 结果：3D光线追迹 g S xK9P Vz[E)(QX-` 
WJ":BK{NM 0goKiPx 结果：场追迹 O_^O1 9c9F C
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f'P}]_3( 结果：移动样品的场追迹结果 E ]$YM5 '?7th>pC  DID&fj9m 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 l,AK
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