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光学测量 > 干涉测量 OV;VsF !~?/D 任务/系统说明 *\'t$se+
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 Ip7#${f5M
LRu*%3xx 亮点 [5Ib R9_
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["& {^ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； K5LJx -x*j •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； EQ^]W-gN
J2x}@p 具体要求：光源 Zx{ Sxv" V0>[bzI  E]n]_{BN] e{87n>+, 具体要求：用于准直的消色差透镜 T\p>wiY2|F S{l)hwlE 7P(o!%H  Go c*ugR QpQ 2hNf +j F |8  <S7SH-{_\ ~x9J&*zxM 具体要求：分束器 Hl%Og$q3 =TEe: %mN  6 L4\UT r
XZ.D<T" 具体要求：参考光路反射镜 9Cd/SlNV2 lq53
xT  Peph..8 Z
T5}3Y3G,6
 -E6av|c,F
]8 }2 具体要求：测试光路反射镜 u{=h%d/ Ws3z-U>j  rG~W=!bj
"4WnDd 5" 具体要求：探测器 U}X'RCM zP0<4E$ M`  "zNS6I?rzE b*S,8vE] 结果：3D光线追迹 3,G|oR{D , 2Ed^!`  ~28{ BY ->51t 结果：场追迹 m=E/um[D Xp<O
 ]7k:3"wH
JE:LA+ ( 结果：移动样品的场追迹结果 lt4IoE`tk? uZ_?x~V/  ?+=,t]` !m 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 x1wD`r
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