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光学测量 > 干涉测量 (sPZ1Fr\o q=6M3OnS> 任务/系统说明 Y#rao:I
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@$nL1 亮点 46$5f?Z
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GadD*psD2 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； KWd]?e) •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； Xf Y]qQP
]i{-@Ven 具体要求：光源 # &$4tTl *VL-b8'A<  LdRLKE<'e EJN}$|*Av 具体要求：用于准直的消色差透镜 aA\v
uS<&$J H okfhd{9  .Z9Bbab: ON !1l S 0] 5QX/I  r_ Xk: A2 htD!3 具体要求：分束器 MF>?! ! ;[%AeN5W  cp]\<p('A
V<(cW'zA/ 具体要求：参考光路反射镜 rw58bkh6 :5p`H  RD,` D!
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6$`8y,TMSt 具体要求：测试光路反射镜 .`iOWCS @0 +@.&Z  O-q [#P
~kF^0-JZY 具体要求：探测器 VYik#n>|Gp 7!z0)Ai_>=  JrS|Ib)6 8* 6 U4R 结果：3D光线追迹 Z+FJ cvYx /2 WGo-  UG 9uNgzQ/ 1; S@XC> 结果：场追迹 7oK!!Qd^w jIg]?4bW[
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REc69Y.k 结果：移动样品的场追迹结果 AvH^9zEE( 4Bs '5@  Jro ) 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 PkMN@JS
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