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光学测量 > 干涉测量 8j8FQ!M Xa+ u>1"2" 任务/系统说明 )x#^fN~ 7` y&B~UeB:q
v2dC na\ WG<D+P 亮点 C2FewsRz r\a9<nZ{
]M>mwnt+ k_$w+Q •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; Hb IRE •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; 7 zK%CJ <T<?7SE+ 具体要求:光源 H<g-
Bhv b=.Ikt+y 8D)2/$NsY} Id|38 具体要求:用于准直的消色差透镜 9 *Q/3| IC37f[Q r6QNs1f~. _=8x?fC:rl |h@'~c 3\G&fb|?}R @~xNax&^ ^HQg$}= 具体要求:分束器 mRFcZ.7 1]m]b4] h)fi9 {088j?[hzk 具体要求:参考光路反射镜 do C8! Mo0+"` MW6d- aB+Ux<
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%5NfF65' ZFY t[: 具体要求:测试光路反射镜 CUaI 66 k7W7S`H
&U*=D8!0 3u3(BY{"\F 具体要求:探测器 he;&KzEu e@F9'z4 =6Ihk ,?P @ :S<8 结果:3D光线追迹 1Y_Cd ehPrxIyC ;3-5U&Axt ]=m
'| 0} 结果:场追迹 Yw vXSA Wf +j/RxTi
mvyqCOp 0 D4?5% s 结果:移动样品的场追迹结果 pZ}4'GnZI }1f@>'o BC =U6>`/ 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 ri<E[8\
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