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光学测量 > 干涉测量 839IRM@'5 P '>SmQ 任务/系统说明 |kvC
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:L1dyVA{ 亮点 6q]5Es<
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*r=:y{!Y d •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； xZQ g'IT •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 9uer(}WKT
h~ p >re 具体要求：光源 9(5Oe H6o? #%D_Y33;  wmTq` X H) (d< 4"! 具体要求：用于准直的消色差透镜 ;[W"m lM )E,\H@A Rhe R e  T[sDVkCbxf Pp| *J^U 4 .9"Y_/0  3nu^l'WQ qWx][D" 具体要求：分束器 @EDs~ lPv RgGyoZ  qqu.EE
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cP}KU 5j 具体要求：测试光路反射镜 v k?skN@ 4 lM8\Lr  j8n4fv-)f
gCN$} 具体要求：探测器 Vm d f8[5 T<L^N+<,{N  hTEx]# ( ^kgBa2 7 结果：3D光线追迹 GHHav12][ +]|Z%;im  vi|R(& r)1'e PI" 结果：场追迹 %uoQ9lD' 0k'e:AjP
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VL/|tL>E^ 结果：移动样品的场追迹结果 >(<ytn t= 6}(J6T46M[  !TP@-
X; 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 E!Zx#XP1
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