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光学测量 > 干涉测量
h ej m~#98ZJ^ 任务/系统说明 |br l<*:
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f!0* ^d 亮点 yC6XO&:g
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>/ W:*^g) •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； b C)d iC •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； C!%BW%"R
2c_#q1/Z/ 具体要求：光源 Ej8EQ% P %j{gZTz-  zD7\Gv s?7g3H5#0k 具体要求：用于准直的消色差透镜 k0 !b@
c :TX!lbCq pRc@0^G  YRAWylm kd 9hz-* 28>gAz.#  H '&x4[J: W6
f *> 具体要求：分束器 31Y+bxQ d^!)',`  3?.3Z!H/
al(t-3`< 具体要求：参考光路反射镜 59F AhEg |!aMj8i2  g3Xq@RAJ c
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D42Bm&JocO 具体要求：测试光路反射镜 E#Smi507p Z)~.OqRw]  {I&>`?7.
Pp*|EW 1 具体要求：探测器 ,mx>)} l95 pGc_Klq  F)z] QJOw %D)W~q-g 结果：3D光线追迹 FI`][&]V
t"cGv32b  Ugp[U gr *&Np;^~ 结果：场追迹 ogtKj"a MRMsw NQ
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{r?O>KDQf( 结果：移动样品的场追迹结果 /U4F\pZl &}_E~jKK  y)0r%= 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 e23}' qb
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