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光学测量 > 干涉测量 eq(|%]a= n!ea)+^ 任务/系统说明 G?<L{J2"Q
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e}(. u1 亮点 ?rk3oa-
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>J.a, ! •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 9oKRu6]D- •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； h+R}O9BD
" &p\ pR~ 具体要求：光源 43,-
t_jV _YmY y\g  rya4 sxCh nFw&vR/q 具体要求：用于准直的消色差透镜 K 2LLuS! B&-;w_K v@O tp  A5ktbj&gy< VF<{Qx* I".d>]16|  0:v7X)St ?uk|x!Ko] 具体要求：分束器 YjvqU /[3 | +suGqo  hYb!RRGn
bnB}VRal 具体要求：参考光路反射镜 q^(A6W D dt9`j  d!Y,i!l!
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 @^k$`W;
NawnC!~ $ 具体要求：测试光路反射镜 \< T6+ 3p J@!Sf7k42  *5*d8;@ >
`\e@O#,^yI 具体要求：探测器 2=["jP!B Ev*HH+:b>  T( J&v|FK W5J"#^kdF8 结果：3D光线追迹 *AZC{jP =qI JXV  "=P@x|I #FTXy >W 结果：场追迹 k3S**&i!CR ^hY<avi6s
 ]=@>;yP)
s49 AF 结果：移动样品的场追迹结果 M ;\K+, `4\ H'p  ]E[Mv}
= 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 h %MPppCEa
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