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光学测量 > 干涉测量 Bt1p'g(V| p >vn7;s2# 任务/系统说明 O p"M.]#
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/D5` 亮点 3k|oK'l
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xXGSx •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； z ?[r •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； rm4.aO~-F
h dnTXs@z 具体要求：光源 !iH-#B- !l|5z G
 z ^_*& @S|jC2^+h 具体要求：用于准直的消色差透镜 Rop'e 8Q 8 %%f%y b8$gx:aJ>$  RaWG w !_+8A/ S{FROC~1R  WuPH'4b 5 F 6o_ b4l 具体要求：分束器 `6 /$M!4$ !:|Td Yrmj  TT50(_8
B;R.# ^@/ 具体要求：参考光路反射镜 W?0 lV5/ j=*l$ RG  t <T[h2Wd
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"jTKSgv+q5 具体要求：测试光路反射镜 Z q,9&y~ #
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|+3 5y_i6 具体要求：探测器 0dA7pY9 GwG4LIp  J 8M$k/"X [,K.*ZQi 结果：3D光线追迹 V[}4L| ad % VzKqh  # 6AFdNy {r> .G7P6 结果：场追迹 " t({D
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1"pI^Ddt 结果：移动样品的场追迹结果 s[K^9wz Aub]IO~  "V>R9dO{"! 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 !ALKSiSl
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