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光学测量 > 干涉测量 Q~@8t"P ;&!dD6N 任务/系统说明 W_
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=0)^![y]v 亮点 u =l(W(9=
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Ii,:+o% •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； $"FdS,*qKl •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； \;6F- 0
+i>q;=~ 具体要求：光源 $~YuS_sYg =@w :
 []]3"n c'B"Onu@m* 具体要求：用于准直的消色差透镜 2$o[ JJ~?ON. H E&+ ^H
on  0l=} v %D >" .qFn g XJzXxhk2  DsX>xzM }m H>lN 具体要求：分束器 YzZF^q^I WNb$2q=  W =zG
ger <JSL% 具体要求：参考光路反射镜 xB(:d'1| }S V3PdE  `"H?nf0
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QC4T=E]` j 具体要求：测试光路反射镜 /=@vG Vp6 JLu0;XVK  Wn^^Q5U #
]K7 64} 具体要求：探测器
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结果：3D光线追迹 17cW 8\
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Y/0O9}hf 结果：场追迹 A E&n^vdQW 3@] a#>
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3~</lAm; 结果：移动样品的场追迹结果 V@:=}*E XQOprIJ
U  ^,K.)s 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 Af N
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