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光学测量 > 干涉测量 f#~X4 @DH` E- Z6qZ^ 任务/系统说明 ["4sCB@Tr
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Z"spu a5 亮点 &)F8i# M
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76e%&Z G)Q •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； .hI3Uv8[ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 5Fh?YS =
5I #L|+ 具体要求：光源 RmXC
^VQ Y{c_5YYf  L,!3 3`y9V2&b 具体要求：用于准直的消色差透镜 y$6m|5 )$18 a 02g!mJW>}y  );4lM%] eb 8?ig/HSt2 vZEeb j  [x}]sT`#a w!$|IC 具体要求：分束器 8m? 9?OV5 N}ur0 'J0  (r8Rb*OP
J;Y=o B 具体要求：参考光路反射镜 {(mT,}`4 bs-O3w  0bY}<x(;
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om$x ;L6 具体要求：测试光路反射镜 5DgfrX qU!*QZ^y&  sT| $@$bN
I Nca 具体要求：探测器 |\g =ua+h t*<@>] k  ,TrrqCw> T;6 VI|\ 结果：3D光线追迹 *E"QFirk0 c^^[~YW j  yKJKQ 9 b$/TfpNdo 结果：场追迹 bn`1JI@S4 lR5<
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w+ZeVZv!r 结果：移动样品的场追迹结果 Uloa]X=Im8 Xg>nb1e  KPGo*m Y 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 $[ zy|Y(
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