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光学测量 > 干涉测量 {0,b[ ]N 9N][n 任务/系统说明 8i',~[ (_ G>dP_
S<7!<]F- P*KIk~J 亮点 b-ss^UL 7(}'jZ
-Cyo2wk xX-r<:'tmi •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; }U8v
~wcd •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; LDQ,SS, 26p[x'W 具体要求:光源 dFBFXy 0`"oR3JY SnG(/1C8 PA'&]piPl: 具体要求:用于准直的消色差透镜 e,|gr"$/ o8X_uKEI \-yI
dKj rfk{$g x3i}IC =mXC,<] Y\9}LgIvr u\Cf@}5( 具体要求:分束器 Xf4~e(O e*Wk;D& D% j GK L2>e@p\> 具体要求:参考光路反射镜 S]fu
M% $z[S0C m U;W9`JT<.f Q0(6n8i
t+a.,$U M z&/.A 具体要求:测试光路反射镜 8xENzTR :.5l KRL.TLgq) =p_*lC%N 具体要求:探测器 -gvfz&Lz :|n[z jK/S 9)7$U QY LWCFCkx% 结果:3D光线追迹 :EOai%i TR3U<: Zp)=l Td s|WwBT 结果:场追迹 Dnd; N/9 ]L~NYe9
@ZU$W9g `rVru= zoy 结果:移动样品的场追迹结果 5TJd9:\Af estiS by<@\n2B:U 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 l$&~(YE f
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