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光学测量 > 干涉测量 Hh;w\)/%j [&nwB!kt 任务/系统说明 g) v"nNS /N%f78
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%~p_bKd~ jT::o 亮点 kTiQO2H xOT'4v&.
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*"G? 10#!{].#x •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; ,zXL8T •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; a
#@Q.wL qsvUJU 具体要求:光源 h| UT/: |B` -chK 18[f_0@ # |~\K:[T& 具体要求:用于准直的消色差透镜 sF+0v p
WKah$l x(]s#D!) 1.,mNY^UN Ysr{1! K e_1mO 5z ]3={o3[: M8[YW|VkP 具体要求:分束器 "[[fQpe4@ @0
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b,Z&P| M%B[>pONb7 具体要求:测试光路反射镜 *0c
}`| E<\\ 'VF ,O[vxN1X* Xx'>5d> 具体要求:探测器 L//sJe 9d{W/t?NH ;~1r{kXxA" g u|;C 结果:3D光线追迹 8W$="s2 '|d (<.[ 3Aj_,&X.@( rqF PUp 结果:场追迹 /6q/`vx@ xJ"Zg]d{
hf?^#=k^ )K?GAj]Pq 结果:移动样品的场追迹结果 lwY{rWo KPR{5 dt \O7Rjw8 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 vlPE8U=
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