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光学测量 > 干涉测量 A'"-m)1P 4=p@2g2"H 任务/系统说明 ]R Mb,hJ mTEVFm
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iP 亮点 $ly0h W cztS]dcf>~
u3wL<$2[8 6D9o08 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; v>WB FvyD •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; +?e}<#vd'? org*z!;. 具体要求:光源 PqhlXqX9 aii'}c [$2qna2VP MCAXt1sL&E 具体要求:用于准直的消色差透镜 8!j=vCv &N{zkMf D_aR\ !P" ? ~.Q4c*_b ~N[|bPRmhE mG}k 3e-
z^~U]S3 具体要求:分束器 %UmbDGDWI ]7F)bIG[ &HxT41pku _5h0@^m7y 具体要求:参考光路反射镜 l%bq2,-% >q &L/N5 Ai jUs*n 2 /\~W$.c
GI4oQcJ 6bJ"$ o 具体要求:测试光路反射镜 d
H_2o *eoq=,O AJWLEc4XK W]~ZkQ|P 具体要求:探测器 3YRBI|XO y<uE-4 t>@yv# sbjtL, 结果:3D光线追迹 ./)j5M TA9dkYlE/ mdt
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/Ef4EX0 结果:场追迹 D`fc7m \#_@qHAG
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[w++F~ cqHw^{'8 结果:移动样品的场追迹结果 Vd[2u ;y,NC2Xj :28@J?jjO 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 UR\ZN@O
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