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光学测量 > 干涉测量 V"4Z9Qg} @ma(p y 任务/系统说明 Y 2
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VPUVPq~& 亮点 3"y 6|e/5
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\/NF??k,jk •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； c2 npma]DZ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ,>
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3 t, _{9 具体要求：光源 8-2 `S* ywa*?3?c  /'/I^ ab -R`{]7V 具体要求：用于准直的消色差透镜 `S
{&gl ]\78(_o.zz |mb2<! ag{  P\jGyS j 3 A #Tn7 `%C -7D'?  <S@jf4 Wc3z7xK1@ 具体要求：分束器 H9cPtP~a) [xMa^A>p  6\4-I^=B
!U^{`V jp[ 具体要求：参考光路反射镜 DP ? d C` jj5S + >4  !J`lA
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*%j$i_ 具体要求：测试光路反射镜 4DA34 m( O viS(}v4@  a{5SOe;;
% $!3Pbu i 具体要求：探测器 'Y L [s 1vj/6L  ?8b1 9DMK6 =*mT{q@ 结果：3D光线追迹 3N7H7(IR +EETo):  EYAaK^ & Yd^@Ei9 结果：场追迹 BrV{X&>[i >[}oH2oi
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$<} c[Nm 结果：移动样品的场追迹结果 Zi!Ta"}8 $NXP)Lic)  )- C3z 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 "W| A^@r}
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