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光学测量 > 干涉测量 oUKBb&&O &(H) gjH 任务/系统说明 m
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Z#z 亮点 St~ SiTJU
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3gV&`> @ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； YjX!q]56 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； M0Kh>u
%0~wtZH_! 具体要求：光源 @o3R`ZgC]\ 4B3irHs \Q  O%fp;Y{` w
~L\Ebg 具体要求：用于准直的消色差透镜 .5KC'? C<wj?!v,F[ Kl46CZs#8  4U! .UNi <*r<+S i w~V_y4  |U#w?eE= &JXHDpd$a^ 具体要求：分束器 $cJN9|$6 '4^ V4i  zI2KIXcc
0r$hPmvv8 具体要求：参考光路反射镜 @7HOL-i e` Zg7CaDd  [K)1!KK,L
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?CT^Zegmr 具体要求：测试光路反射镜 $?/Xk%d+ \_I)loPc8  yd2qf
CI,`R&=xO 具体要求：探测器 Nh\8+v*+{ fD#&: )  n;k97>m${x R
!%m5Q?5 结果：3D光线追迹 I>8 @=V~ \'LC C-  (E1>} z$BnEd.y=: 结果：场追迹 PRk%C0` :5cu, &<Gv
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W$t}3R u 结果：移动样品的场追迹结果 xu?QK6 D: -SY:qG3?  Tx!m6B`Y 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ;`of'9|
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