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光学测量 > 干涉测量 5) MS~ii cu/5$m?xx 任务/系统说明 B,=H@[Fj
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 OUNd@o
L');!/: 亮点 |YY_^C`"-
fu]s/'8B
 b8LLr;oQw
vTx2E6 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； x"
L20} •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； Aw5HF34J
t?'!$6 具体要求：光源 C
.~+*"Vw 3S}Pm2D2  DS[#| Kiu_JzD 具体要求：用于准直的消色差透镜 L>R P-x> \hEN4V[ Nu?-0>  20nP/ e <t
\H^H! T
r1?620  aD$v2)RR 3 C<L 具体要求：分束器 l.NEkAYPmH Us0EG\Y  j?x>_#tIY
@dPTk"P 具体要求：参考光路反射镜 $NZ-{d Y{ -RvQB  1N gCw\
G f<'WQ[
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eEp 具体要求：测试光路反射镜 ''\O v EH!
q=&d  .Lsavpo
X6@WwM~qz 具体要求：探测器 NP/Gn6fr n4R(.N 00  sWc*5Rt Yd=>K HVD 结果：3D光线追迹 t? yz E(8*
pI  j;-1J_e5 g9Xu@N;bL 结果：场追迹 vPTM lY?QQ01D
 <4g{ fT0
M$>1L 结果：移动样品的场追迹结果 Z: sg} 1]@}|
 v{ 0= 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 \ b?" b
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