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光学测量 > 干涉测量 D+z?wuXk _m'Fr
7 任务/系统说明 Rh{zH~oZ
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aL%AQ B, 亮点 M|qteo
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xp72>*_9& •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ^!z [t\$ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； I'iGt~4$
jvFTR'R)= 具体要求：光源 YmgL zGk` (+ 3Wgl+]/  M8Z2Pg\0 >U*T0FL7 具体要求：用于准直的消色差透镜 q+]h=:5=I [uls8
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Mo @C9Y0  c|62jY"$-2 Q|L9g z[ ? BT"42#7_  YY!6/5*/] #w-xBM
@ 具体要求：分束器 ` `e$AS Pgus42f%  qt
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D] ~MC 具体要求：参考光路反射镜 Z%Zd2
v fasgmi}  5<j%EQN|D
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e0@Y#7N62 具体要求：测试光路反射镜 )!:Lzi MFm"G  g [7#w,o
16i "Yg!* 具体要求：探测器 mAW, ?h h!:~f-@j4  5N*Ux4M y K2^Y]Ku? 结果：3D光线追迹 "=za??\K} ~\3kx]^10  (B-43!C *@ )O7vB 结果：场追迹 B7<Kc mL`5 u f
 0,rTdjH7
\qR %%S 结果：移动样品的场追迹结果 S (N\cw$ %T9 sz4V  1`9xIm*9w 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 k`p74MWu
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