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光学测量 > 干涉测量 0)Uce=t` _
T iuY 任务/系统说明 z[b@ V
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t h 亮点 8E W_V$>R
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a z Cf •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； /)YNs7gR •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； J"!v u.[
")S Fi^] 具体要求：光源 &5\i M^ VEWi_;=J1  7?#J~.d5
?9!6%]2D 具体要求：用于准直的消色差透镜 /Lfm&; Z"/p,A9W9| CS 2 Bo  9B{k , 1
\nXtH}9ZF {j9{n  V LOO8N[o "sS}N%! 具体要求：分束器 ?M8dP%&r &TUWW /?T  NSxoF3
WJ QvB=D& 具体要求：参考光路反射镜 (ceNO4"cZ BL0 {HV!  6c}h(TkB
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 (7vF/7BZ|_
IbT=8l,Li 具体要求：测试光路反射镜 8L, 5Q9
$ vx1c,8  CNih6R
pV9IHs} 具体要求：探测器 p,
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T xe]y] 结果：3D光线追迹 (SWYOMo" IoxgjUa  tR s [ YK Bn^0^J- 结果：场追迹 7S- ys+ ]s] vZ
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pM+ AjPr 结果：移动样品的场追迹结果 ]3x? @'w"R/,n-@  B\=L3eL<D 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 Vp#JS3Y
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