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光学测量 > 干涉测量 OnFx8r:q@% 3OTq 任务/系统说明 j/_@~MJBt
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Rda o 亮点 LyR t o
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;Q>(%"z}; •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； tgE XX- { •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ; =.VKW%U
(NrH)+)J!a 具体要求：光源 sr,8zKM) Tx"}]AyB6  C* Avu ] >-#T 具体要求：用于准直的消色差透镜
_=@9XvNM !/O c )Yk }<`Mn34@  L/9f"%kZ o
ms tJ9 Kt3/C'zu  fdP[{.$?( x"0*U9f 具体要求：分束器 A; Rr#q< mle"!* 
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XmN3[j 具体要求：参考光路反射镜 8$}1| "F /Y|oDfv  CI$pPY<u1
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J@'}lG 具体要求：测试光路反射镜 13(JW
h7mJXS)t|  Z =`\U? ,
Z7? C^m 具体要求：探测器 KA1Z{7UK% , W"Q)cL  # 7K&x.w$ \v.16o bH 结果：3D光线追迹 diN5*CF'~ ~9#[\/;"  zMasA = BW>jD 结果：场追迹 ;7CE{/Bq.p g,/gApa
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}I_/>58 结果：移动样品的场追迹结果 D/pc)3Ofe :{NvBxc[  Wi ]Mp7b 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 $8#zPJR&
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