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光学测量 > 干涉测量 LEKE+775 -)J*(7F(6^ 任务/系统说明 Le~D"d8 T>|+cg
PM*lnd#J `mkOjsj & 亮点 ?z`yNx6 -0(+a$P7e
>a@1y8B "j%Gr:a •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; #d8]cm= •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; 34k(:]56|
mC]Krnx 具体要求:光源 _u-tRHh|A v'L"sgW6I gd3MP^O1 @ &c@ 具体要求:用于准直的消色差透镜 \U]<HEc^ 7OZ0;fK 7T X$ un6W|{4] g3n>}\xG> OG IN- 3rh t5n2- g7%vI8Y)@ 具体要求:分束器 t2ui9:g4j n\JSt}A TFc/` 1%.CtTi 具体要求:参考光路反射镜 !H^R_GC g[2[
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:)_P7k`>e/ NnZ_x>R 具体要求:测试光路反射镜 1
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/+l( (>D{"} 具体要求:探测器 [:Odb?+ `F nNM)rW w RTzpG4 (B+zh 结果:3D光线追迹 Th])jQ* 6l?KX QZ-6aq\sgp am
WIA`n= 结果:场追迹 wd:SBU~f5* [aC2ktI
.Wyx#9 `Oi6o[a 结果:移动样品的场追迹结果 (P:.@P~ n]Jfd I ( (mNB]sy 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 wmv/?g
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