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光学测量 > 干涉测量 ZcYxH|Gn !BIq>pO%Ui 任务/系统说明 Ki,]*-XO
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&s_[~g< 亮点 _W@q %L>
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$ •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； XTG*56IzL •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； h:Q*T*p y
:K#'?tH 具体要求：光源 $*N jvr7 Be 68 Fu0  Sl/[9- a) 5%rD7/7N 具体要求：用于准直的消色差透镜 g7EJ yA _bHmcK V44IA[  W~$YKBW RC sQLKqF jQFAlO(E':  ]S[M]-I 7 M =LyrO 具体要求：分束器 + t({:>E n-be8p)-  EEEYNu/4/
^8,HJG,! 具体要求：参考光路反射镜 \S{ise/U }oIA*:5  :EJ+#
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aMj 具体要求：测试光路反射镜 T\eOrWt/ '2vZ%C $  qgbp-A!2zF
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7rVM 具体要求：探测器 f }PT3 cT'D2Yeq  4eMNKIsvY$ Bd*:y qi 结果：3D光线追迹 ?B.>VnYZ/a /~ yk  )mT{w9u })#6 BN 结果：场追迹 R=yn4>I HP}d`C5<R
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GZ 结果：移动样品的场追迹结果 %e.tAl"!$ W-ErzX  ;N6Euiz 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 {x {e ?c!
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