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光学测量 > 干涉测量 xD 7]C|8o O rW 任务/系统说明 !IR6
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9 H~n _ 亮点 "
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FTldR;}( •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； 3c%caK •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； >Gu M]qn
iRBfx 具体要求：光源 ` %}RNC AFn7uW!9Gw  mZBo~(} @+DX.9 具体要求：用于准直的消色差透镜 I 6O 1Ws9WU Mfk Z  z!\*Y
=e v^P O|Z #z42C?V  "jCu6Rj d c " ,*h 具体要求：分束器 8EY:t zw M\=2 uKG#  T{'RV0%
?cZlN ! 具体要求：参考光路反射镜 lx i<F DwF hK*  $ Q0n
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e 具体要求：探测器 nFn5v'g pk~WrqK}  ; }t(Wnu. p[cX O= 结果：3D光线追迹 Pz^544\~ou Zc2PepIg  EK'!}OGCG Ss`LLq0LO 结果：场追迹 ]f3>-)$* /tLVX} &
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_4f;<FL 结果：移动样品的场追迹结果 I_BJH'!t W>LR\]Ti@  r
:dT z 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 E_`=7 i
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