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光学测量 > 干涉测量 #t8{R~y"gv >Hb^P)3 任务/系统说明 5wao1sd# B5V_e!*5F*
7M_U2cd|TD O`GsS{$sS 亮点 _mvxsG n6d9\
,C.:;Ime({ @oF$LMD •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; 9fnA •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; =h6
sPJ >Iewx
Gb> 具体要求:光源 >7`<!YJkK keW~ NM |s#'dS; UUKP" 具体要求:用于准直的消色差透镜 c3*t_!@oC NgCuFL(Ic Yb i%od& W!blAkM%i TC~Q
G$NW 87%*+n:?* .#u_#=g? L9Z;:``p 具体要求:分束器 ,/&'m13b/L jN-vY<?h] {qW~"z*
J`q]6qf# 具体要求:参考光路反射镜 +;g{$da5 ^,F;M`[ s](aNe2j \~d";~Y`
9=w|)p ) )VCzn~uf 具体要求:测试光路反射镜 kg][qn|>J] N"/-0(9[ hmx=
35 &R|/t:DN 具体要求:探测器 i&njqK!wS -LDCBc" |py6pek| y-p70.'{U 结果:3D光线追迹 {U
'd}Q ZvYLL{>}w 72sD0)?A pME{jD
结果:场追迹 FJ*i\Q/D 1Gt/Tq$_b
L-pVltX 4!asT;`' 结果:移动样品的场追迹结果 lnovykR e{;OSk`x /vY_Y3k# 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 }?cGf-c
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