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光学测量 > 干涉测量 P<oD*C E.*OA y 任务/系统说明 m(Xr5hw:6 :'Kx?Es
UmMYe4LQR Qpu2RfP 亮点 Wam?(!{mOf ymJw{&^am
Ho*RLVI0U |L#r)$n{1 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; mLdyt-1 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; `'t;BXedz/ [WSIC *|; 具体要求:光源 gG?*Fi G(,~{N|| ~ZIRCTQ" b-gVRf#F 具体要求:用于准直的消色差透镜 ed2&9E>9b "uNxKLDB W-B[_ |I<-x)joIK \?IwR]@y gDBQ\vM8 tUnVdh6L.B 69w"$Vk 具体要求:分束器 q.Mck9R7 +VFwYdW, ^vz@d+\Kd gx.]4v 具体要求:参考光路反射镜 ~#Mx&mZ `cRB!w=KHV c3BL2>c 7l
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JQ4>S<ttJ g0$k_ 具体要求:测试光路反射镜 (KU@hp-\ ${2fr&Tp CR=MjmH nAj2k 具体要求:探测器 q{(&:~M HK.J/Zr 1W7BN~p14 J4X35H=Z 结果:3D光线追迹 }e @-[RJ! |`/uS;O q,Q|Uvpk v%Xe)D 结果:场追迹 I'YotV7 1r4/McB
% j; cXN SW,Po>Y 结果:移动样品的场追迹结果 5Yr$dNe m$g^On |0mI3r 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 #{1fb%L{i
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