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光学测量 > 干涉测量 d_]zX;_ b v~"_)C 任务/系统说明 WL+I)n8~ 3Jf_3c
YR^J7b\ *#w+*ywVZH 亮点 <Zl}u:(w ~+7q.XL$$K
b+9M? k" ESft:3xyw •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; 7NE"+EP\{2 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; a)/!ifJ; 0ERA(=w5 具体要求:光源 =E,^ +`M 5L'X3g
_f8Wa u# " p<: bPw 具体要求:用于准直的消色差透镜 R#DnV[!\ '1_CMr \ym3YwP4/: |9Q4VY'"; ,C1}gPQ6< V)mitRaV %77v'Pz1 Ko|nF-r_ 具体要求:分束器 EIPNR:6t =W$
f+ UJ* D #?DwOUw 具体要求:参考光路反射镜 XvETys@d '@i0~ B+:/!_ p#go<Y#
[T<nTB# w 8lk@ev=O& 具体要求:测试光路反射镜 e:D8.h+&} |WwC@3) sxkWg> yyB;'4Af 具体要求:探测器 P|*c7+q W;!OxOWZJ 5+Fr/C lLhvpvT 结果:3D光线追迹 pY]T32 @K.{o' nI]8w6eCV cuzU*QW"g 结果:场追迹 A{X:p3$eN AtU%S9
xU<WUfS1 Sy()r 6n 结果:移动样品的场追迹结果 n .is+2t PgHe;^?j m#w1?y)Z@X 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 NhJ]X cfP8
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